スピンコータ全自動型（塗布・現像の一体機）

CLEAN TRACK LITHIUS Pro Z

Q: CLEAN TRACK LITHIUS Pro Zはどんな方式？

CLEAN TRACK LITHIUS Pro Zの方式は全自動型（塗布・現像の一体機）です。ロボットがウエハを運び、塗布からベークや現像までを続けて処理する型です。

東京エレクトロン株式会社

10nmノード以細のリソグラフィに使う、300mmウェーハ用のレジスト塗布現像装置です。

価格: 公開価格なし（見積もり）
方式: 全自動型（塗布・現像の一体機）
向いている所: 300mm先端プロセス向けの塗布現像装置

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比較表での位置

CLEAN TRACK LITHIUS Pro Zは、スピンコータのメーカー7社比較⁠の方式が全自動型（塗布・現像の一体機）の6製品の1つとして載っています。

7社掲載社数
13製品比較表の製品
6製品同じ方式
2製品公開価格あり

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CLEAN TRACK LITHIUS Pro Zの強みと方式

10nmノード以細のリソグラフィに使う、300mmウェーハ用のレジスト塗布現像装置です。EUVプロセスを含む先端のリソグラフィに使います。高スループット化を進めた機種で、前の世代のLITHIUS Pro Vから発展させています。

向いている所300mm先端プロセス向けの塗布現像装置

方式：全自動型（塗布・現像の一体機）

ロボットがウエハを運び、塗布からベークや現像までを続けて処理する型です。量産ラインで使います。処理量とユニットの数は工程に合わせて決めます。

CLEAN TRACK LITHIUS Pro Zの仕様

方式: 全自動型（塗布・現像の一体機）
対応基板: 300mmウェーハ
回転数: —公式資料で確認できず
回転精度: —公式資料で確認できず
滴下: —公式資料で確認できず
処理量: —公式資料で確認できず
価格: —公式資料で確認できず
カップの大きさ: —公式資料で確認できず
電源: —公式資料で確認できず
外形寸法: —公式資料で確認できず
質量: —公式資料で確認できず
プログラム: —公式資料で確認できず
基板の固定: —公式資料で確認できず
プロセスユニット: —公式資料で確認できず

同じ種類の他社製品との違い

スピンコータの価格公開価格のある2製品・安い順

製品の特徴ごとの分類

	CLEAN TRACK LITHIUS Pro Z東京エレクトロン株式会社	コータースタンダードモデル株式会社エイ・エス・エイ・ピイ	コーターハイスペックモデル株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
方式	全自動型（塗布・現像の一体機）	全自動型（塗布・現像の一体機）	全自動型（塗布・現像の一体機）
対応基板	300mmウェーハ	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず
回転数	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず
回転精度	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず
滴下	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず
処理量	—公式資料で確認できず	500枚/日以上	1000枚/日以上
価格	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず
カップの大きさ	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず
電源	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず
外形寸法	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず
質量	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず
プログラム	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず
基板の固定	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず
プロセスユニット	—公式資料で確認できず	最大4ステージ	最大7ステージ

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CLEAN TRACK LITHIUS Pro Zのよくある質問

Q.CLEAN TRACK LITHIUS Pro Zはどんな人に向いている？

CLEAN TRACK LITHIUS Pro Zは、300mm先端プロセス向けの塗布現像装置に使う人向けです。CLEAN TRACK LITHIUS Pro Zは、10nmノード以細のリソグラフィに使う、300mmウェーハ用のレジスト塗布現像装置です。

Q.CLEAN TRACK LITHIUS Pro Zの強みは？

CLEAN TRACK LITHIUS Pro Zは、EUVプロセスを含む先端のリソグラフィに使います。高スループット化を進めた機種で、前の世代のLITHIUS Pro Vから発展させています。

Q.CLEAN TRACK LITHIUS Pro Zはどんな方式？

CLEAN TRACK LITHIUS Pro Zの方式は全自動型（塗布・現像の一体機）⁠で⁠す⁠。ロボットがウエハを運び、塗布からベークや現像までを続けて処理する型です。

Q.CLEAN TRACK LITHIUS Pro Zの主な仕様は？

CLEAN TRACK LITHIUS Pro Zの対応基板は300mmウェーハです。

Q.CLEAN TRACK LITHIUS Pro Zとコータースタンダードモデルはどっちがいい？

300mm先端プロセス向けの塗布現像装置ならCLEAN TRACK LITHIUS Pro Z、日に500枚以上を処理する中型の量産機ならエイ・エス・エイ・ピイのコータースタンダードモデルです。CLEAN TRACK LITHIUS Pro Zの対応基板は300mmウェーハです。エイ・エス・エイ・ピイのコータースタンダードモデルの処理量は500枚/日以上、プロセスユニットは最大4ステージです。

Q.CLEAN TRACK LITHIUS Pro Zとコーターハイスペックモデルはどっちがいい？

300mm先端プロセス向けの塗布現像装置ならCLEAN TRACK LITHIUS Pro Z、日に1000枚以上を処理する量産機ならエイ・エス・エイ・ピイのコーターハイスペックモデルです。CLEAN TRACK LITHIUS Pro Zの対応基板は300mmウェーハです。エイ・エス・エイ・ピイのコーターハイスペックモデルの処理量は1000枚/日以上、プロセスユニットは最大7ステージです。

Q.CLEAN TRACK LITHIUS Pro Zはどこのメーカー？

CLEAN TRACK LITHIUS Pro Zは東京エレクトロン株式会社の製品です。東京エレクトロンの主な製品分野は半導体洗浄装置・CVD装置・半導体製造装置・スピンコータです。