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半導体洗浄装置枚葉式

枚葉洗浄装置 CELLESTA-⁠i

東京エレクトロン株式会社

毎時650枚・Hot IPA乾燥の300mm用枚葉洗浄装置。

価格
公開価格なし（見積もり）
主な仕様
対応ウェーハ径300mm
方式
枚葉式
向いている所
300mmの前後洗浄とウェットエッチング
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比較表での位置

枚葉洗浄装置 CELLESTA-iは、半導体洗浄装置のメーカー9社比較⁠の方式「枚葉式」の5製品の1つとして載っています。

  • 9社掲載社数
  • 14製品比較表の製品
  • 5製品同じ方式
  • 0製品公開価格あり
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枚葉洗浄装置 CELLESTA-i​の強みと方式

クリーンルームの占有面積を従来装置より大きく減らした、300mmウェーハ用の枚葉洗浄装置です。毎時650枚を処理し、Hot IPAで乾かします。前後洗浄とウェットエッチングに使います。

向いている所300mmの前後洗浄とウェットエッチング

方式：枚葉式

ウェーハを1枚ずつチャンバーに入れ、回しながら薬液と純水をかけて洗います。1枚ごとに条件をそろえやすく、裏面や端面まで洗えます。チャンバーを何台も積んで処理能力を上げます。

枚葉洗浄装置 CELLESTA-i​の仕様

方式
枚葉式
方式
枚葉式
対応ウェーハ径
300mm
処理能力
毎時650枚
洗い方
—公式資料で確認できず
乾燥
Hot IPA乾燥
価格
—公式資料で確認できず
対象の基板
Si
装置の構成
—公式資料で確認できず
落とせる粒子
—公式資料で確認できず
使う工程
前後洗浄、ウェットエッチング

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

枚葉洗浄装置 CELLESTA-⁠i東京エレクトロン株式会社スピンソニッククリーナー株式会社プレテックファイナル洗浄装置 SC300-FC芝浦メカトロニクス株式会社
方式枚葉式枚葉式枚葉式
方式枚葉式枚葉式（ウェーハ横置き）枚葉式
対応ウェーハ径300mm—公式資料で確認できず300mm
処理能力毎時650枚—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
洗い方—公式資料で確認できず400kHzファインジェット、非接触—公式資料で確認できず
乾燥Hot IPA乾燥洗浄と乾燥を同じステージで行う—公式資料で確認できず
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
対象の基板Si—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
装置の構成—公式資料で確認できず常温で処理（ヒーターなし）最大8チャンバー
落とせる粒子—公式資料で確認できずサブミクロン19nm以下
使う工程前後洗浄、ウェットエッチングエピ前後、CMP後、成膜前後の洗浄工程間洗浄、最終洗浄

半導体洗浄装置の14製品を比較表で見る

枚葉洗浄装置 CELLESTA-i​のよくある質問

Q.枚葉洗浄装置 CELLESTA-iはどんな人に向いている？
枚葉洗浄装置 CELLESTA-iは、300mmの前後洗浄とウェットエッチングに使う人向けです。枚葉洗浄装置 CELLESTA-iは、クリーンルームの占有面積を従来装置より大きく減らした、300mmウェーハ用の枚葉洗浄装置です。
Q.枚葉洗浄装置 CELLESTA-iの強みは？
枚葉洗浄装置 CELLESTA-iは、毎時650枚を処理し、Hot IPAで乾かします。前後洗浄とウェットエッチングに使います。
Q.枚葉洗浄装置 CELLESTA-iはどんな方式？
枚葉洗浄装置 CELLESTA-iの方式は枚葉式です。ウェーハを1枚ずつチャンバーに入れ、回しながら薬液と純水をかけて洗います。
Q.枚葉洗浄装置 CELLESTA-iの主な仕様は？
枚葉洗浄装置 CELLESTA-iの対応ウェーハ径は300mm、方式は枚葉式です。処理能力は毎時650枚、乾燥はHot IPA乾燥です。
Q.枚葉洗浄装置 CELLESTA-iとスピンソニッククリーナーはどっちがいい？
300mmの前後洗浄とウェットエッチングなら枚葉洗浄装置 CELLESTA-i、エピ・CMP後の非接触洗浄ならプレテックのスピンソニッククリーナーです。枚葉洗浄装置 CELLESTA-iの対応ウェーハ径は300mm、方式は枚葉式です。プレテックのスピンソニッククリーナーの方式は枚葉式（ウェーハ横置き）、洗い方は400kHzファインジェット、非接触です。
Q.枚葉洗浄装置 CELLESTA-iの使う工程は？
枚葉洗浄装置 CELLESTA-iの使う工程は前後洗浄、ウェットエッチングです。プレテックのスピンソニッククリーナーの使う工程はエピ前後、CMP後、成膜前後の洗浄です。
Q.枚葉洗浄装置 CELLESTA-iとファイナル洗浄装置 SC300-FCはどっちがいい？
300mmの前後洗浄とウェットエッチングなら枚葉洗浄装置 CELLESTA-i、工程間洗浄と最終洗浄なら芝浦メカトロニクスのファイナル洗浄装置 SC300-FCです。枚葉洗浄装置 CELLESTA-iの対応ウェーハ径は300mm、方式は枚葉式です。芝浦メカトロニクスのファイナル洗浄装置 SC300-FCの対応ウェーハ径は300mm、方式は枚葉式です。
Q.枚葉洗浄装置 CELLESTA-iのほかに東京エレクトロンの半導体洗浄装置はある？
あります。東京エレクトロンの半導体洗浄装置には、枚葉洗浄装置 CELLESTA-iのほかにバッチ洗浄装置 EXPEDIUS-i（対応ウェーハ径は300mm）があります。
Q.枚葉洗浄装置 CELLESTA-iはどこのメーカー？
枚葉洗浄装置 CELLESTA-iは東京エレクトロン株式会社の製品です。半導体製造装置事業を手がける会社です。

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    出典
    1. 東京エレクトロン株式会社 公式
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