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半導体洗浄装置バッチ式（ウェットステーション）

バッチ式洗浄装置 BW3700

株式会社ジェイ・イー・ティ

ウエハ間ピッチ7mmで処理する300mm用のバッチ式洗浄装置。

価格
公開価格なし（見積もり）
主な仕様
対応ウェーハ径300mm
方式
バッチ式（ウェットステーション）
向いている所
設置面積を抑えた300mmのバッチ洗浄
公式の製品ページを見る比較表で見る

比較表での位置

バッチ式洗浄装置 BW3700は、半導体洗浄装置のメーカー9社比較⁠の方式がバッチ式（ウェットステーション）の4製品の1つとして載っています。

  • 9社掲載社数
  • 14製品比較表の製品
  • 4製品同じ方式
  • 0製品公開価格あり
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バッチ式洗浄装置 BW3700​の強みと方式

ウエハの間隔を7mmに詰めて処理するバッチ式洗浄装置です。設置面積が小さく、工場の中に置く台数を増やせます。薬液と純水の槽を1つずつにした構成にもできます。

向いている所設置面積を抑えた300mmのバッチ洗浄

方式：バッチ式（ウェットステーション）

キャリアに並べたウェーハを、薬液と純水の槽に順に浸けて洗います。50枚前後をまとめて流せるので、薬液あたりの処理枚数が多くなります。槽の数と並びは工程に合わせて組みます。

バッチ式洗浄装置 BW3700​の仕様

方式
バッチ式（ウェットステーション）
方式
バッチ式
対応ウェーハ径
300mm
処理能力
—公式資料で確認できず
洗い方
リバースフローで液を置換
乾燥
—公式資料で確認できず
価格
—公式資料で確認できず
対象の基板
—公式資料で確認できず
装置の構成
ウエハ間ピッチ7mm
落とせる粒子
—公式資料で確認できず
使う工程
—公式資料で確認できず

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

バッチ式洗浄装置 BW3700株式会社ジェイ・イー・ティウェットステーション FC-3100株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズバッチ洗浄装置 EXPEDIUS-⁠i東京エレクトロン株式会社
方式バッチ式（ウェットステーション）バッチ式（ウェットステーション）バッチ式（ウェットステーション）
方式バッチ式ウェットステーションバッチ式
対応ウェーハ径300mm300mm300mm
処理能力—公式資料で確認できず毎時1,000枚毎時1,000枚
洗い方リバースフローで液を置換—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
乾燥—公式資料で確認できず減圧乾燥（HiLPD）、高濃度IPANew SD2
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
対象の基板—公式資料で確認できず—公式資料で確認できずSi
装置の構成ウエハ間ピッチ7mm7つの独立モジュール1回に最大50枚、複数の処理槽
落とせる粒子—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
使う工程—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず前後洗浄、ウェットエッチング、レジスト剥離

半導体洗浄装置の14製品を比較表で見る

バッチ式洗浄装置 BW3700​のよくある質問

Q.バッチ式洗浄装置 BW3700はどんな人に向いている？
バッチ式洗浄装置 BW3700は、設置面積を抑えた300mmのバッチ洗浄に使う人向けです。バッチ式洗浄装置 BW3700は、ウエハの間隔を7mmに詰めて処理するバッチ式洗浄装置です。
Q.バッチ式洗浄装置 BW3700の強みは？
バッチ式洗浄装置 BW3700は、設置面積が小さく、工場の中に置く台数を増やせます。薬液と純水の槽を1つずつにした構成にもできます。
Q.バッチ式洗浄装置 BW3700はどんな方式？
バッチ式洗浄装置 BW3700の方式はバッチ式（ウェットステーション）で⁠す⁠。キャリアに並べたウェーハを、薬液と純水の槽に順に浸けて洗います。
Q.バッチ式洗浄装置 BW3700の主な仕様は？
バッチ式洗浄装置 BW3700の対応ウェーハ径は300mm、方式はバッチ式です。洗い方はリバースフローで液を置換、装置の構成はウエハ間ピッチ7mmです。
Q.バッチ式洗浄装置 BW3700とウェットステーション FC-3100はどっちがいい？
設置面積を抑えた300mmのバッチ洗浄ならバッチ式洗浄装置 BW3700、300mmのバッチ洗浄と減圧IPA乾燥ならSCREENセミコンダクターソリューションズのウェットステーション FC-3100です。バッチ式洗浄装置 BW3700の対応ウェーハ径は300mm、方式はバッチ式です。SCREENセミコンダクターソリューションズのウェットステーション FC-3100の対応ウェーハ径は300mm、方式はウェットステーションです。
Q.バッチ式洗浄装置 BW3700とバッチ洗浄装置 EXPEDIUS-iはどっちがいい？
設置面積を抑えた300mmのバッチ洗浄ならバッチ式洗浄装置 BW3700、300mmのバッチ洗浄とSiN選択エッチングなら東京エレクトロンのバッチ洗浄装置 EXPEDIUS-iです。バッチ式洗浄装置 BW3700の対応ウェーハ径は300mm、方式はバッチ式です。東京エレクトロンのバッチ洗浄装置 EXPEDIUS-iの対応ウェーハ径は300mm、方式はバッチ式です。
Q.バッチ式洗浄装置 BW3700のほかにジェイ・イー・ティの半導体洗浄装置はある？
あります。ジェイ・イー・ティの半導体洗浄装置には、バッチ式洗浄装置 BW3700のほかに枚葉式洗浄装置 HTS-300（対応ウェーハ径は300mm）があります。
Q.バッチ式洗浄装置 BW3700はどこのメーカー？
バッチ式洗浄装置 BW3700は株式会社ジェイ・イー・ティの製品です。岡山県浅口郡里庄町に本社を置き、半導体洗浄装置の開発・設計・製造・販売を行う会社です。

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    出典
    1. 株式会社ジェイ・イー・ティ 公式
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