イメージイメージ半導体洗浄装置
研磨後洗浄装置 SC300-CC
芝浦メカトロニクス研磨機に
- 価格
- 公開価格なし
（見積もり） - 主な仕様
- 対応ウェーハ径
300mm - 方式
- スクラバー
（ブラシ洗浄） - 向いている所
- 研磨機に
つないだ研磨後洗浄
比較表での位置
研磨後洗浄装置 SC300-CCは、
- 9社掲載社数
- 14製品比較表の製品
- 3製品同じ方式
- 0製品公開価格あり
研磨後洗浄装置 SC300-CCの強みと方式
研磨機に
向いている所研磨機に
方式：スクラバー（ブラシ洗浄）
回る
研磨後洗浄装置 SC300-CCの仕様
- 方式
- スクラバー
（ブラシ洗浄） - 方式
- 枚葉式
- 対応ウェーハ径
- 300mm
- 処理能力
- —公式資料で
確認できず - 洗い方
- 両面自公転
ブラシ - 乾燥
- 乾かして
払い出し （ドライアウト） - 価格
- —公式資料で
確認できず - 対象の基板
- —公式資料で
確認できず - 装置の構成
- 研磨機に連結
- 落とせる粒子
- 19nm以下
- 使う工程
- 研磨後洗浄
同じ種類の他社製品との違い
製品の特徴ごとの分類
| 研磨後洗浄装置 SC300-CC芝浦 | ブラシ | SiC対応枚葉洗浄装置 | |
|---|---|---|---|
| 方式 | スクラバー | スクラバー | スクラバー |
| 方式 | 枚葉式 | 枚葉式 | 枚葉式 |
| 対応ウェーハ径 | 300mm | 4インチ・ | 6インチ・ |
| 処理能力 | —公式資料で | —公式資料で | 6インチは |
| 洗い方 | 両面自公転 | ロールブラシで両面、 | 両面 |
| 乾燥 | 乾かして | —公式資料で | スピン乾燥 |
| 価格 | —公式資料で | —公式資料で | —公式資料で |
| 対象の基板 | —公式資料で | —公式資料で | SiC |
| 装置の構成 | 研磨機に連結 | L/Dと | 工程ごとに |
| 落とせる粒子 | 19nm以下 | —公式資料で | —公式資料で |
| 使う工程 | 研磨後洗浄 | MEMS・LEDの | ラップ・ |
研磨後洗浄装置 SC300-CCのよくある質問
Q.研磨後洗浄装置 SC300-CCはどんな人に向いている？
研磨後洗浄装置 SC300-CCは、研磨機につないだ研磨後洗浄に使う人向けです。研磨後洗浄装置 SC300-CCは、研磨機につないで、研磨後のウェーハをそのまま両面自公転ブラシで洗う枚葉式の洗浄装置です。
Q.研磨後洗浄装置 SC300-CCの強みは？
研磨後洗浄装置 SC300-CCは、ウェーハの動線が短くなり、濡れたまま運ぶことで起きる逆汚染を防ぎます。19nm以下の微細パーティクルに対応します。
Q.研磨後洗浄装置 SC300-CCはどんな方式？
研磨後洗浄装置 SC300-CCの方式はスクラバー（ブラシ洗浄）です。回るブラシでウェーハの表と裏をこすり、大きめのパーティクルを落とします。
Q.研磨後洗浄装置 SC300-CCの主な仕様は？
研磨後洗浄装置 SC300-CCの対応ウェーハ径は300mm、方式は枚葉式です。洗い方は両面自公転ブラシ、乾燥は乾かして払い出し（ドライアウト）です。
Q.研磨後洗浄装置 SC300-CCとブラシスクラブプロセッサ BSPはどっちがいい？
研磨機につないだ研磨後洗浄なら研磨後洗浄装置 SC300-CC、径の違うウエーハの両面スクラブならダイキンファインテック のブラシスクラブプロセッサ BSPです。研磨後洗浄装置 SC300-CCの対応ウェーハ径は300mm、方式は枚葉式です。ダイキンファインテック のブラシスクラブプロセッサ BSPの対応ウェーハ径は4インチ・6インチ・8インチ、方式は枚葉式（シングルブラシスクラブ）です。
Q.研磨後洗浄装置 SC300-CCの装置の構成は？
研磨後洗浄装置 SC300-CCの装置の構成は研磨機に連結です。ダイキンファインテック のブラシスクラブプロセッサ BSPの装置の構成はL/Dとスクラブユニット を2ラインです。
Q.研磨後洗浄装置 SC300-CCの使う工程は？
研磨後洗浄装置 SC300-CCの使う工程は研磨後洗浄です。ダイキンファインテック のブラシスクラブプロセッサ BSPの使う工程はMEMS・LEDのウエーハ投入前のパーティクル除去です。
Q.研磨後洗浄装置 SC300-CCとSiC対応枚葉洗浄装置はどっちがいい？
研磨機につないだ研磨後洗浄なら研磨後洗浄装置 SC300-CC、ラップ・研磨後のSiCウエハの洗浄ならナノテックのSiC対応枚葉洗浄装置です。研磨後洗浄装置 SC300-CCの対応ウェーハ径は300mm、方式は枚葉式です。ナノテックのSiC対応枚葉洗浄装置の対応ウェーハ径は6インチ・8インチ、方式は枚葉式です。
Q.研磨後洗浄装置 SC300-CCのほかに芝浦メカトロニクスの半導体洗浄装置はある？
あります。芝浦メカトロニクスの半導体洗浄装置には、研磨後洗浄装置 SC300-CCのほかにファイナル洗浄装置 SC300-FC（対応ウェーハ径は300mm）があります。
Q.研磨後洗浄装置 SC300-CCはどこのメーカー？
研磨後洗浄装置 SC300-CCは芝浦メカトロニクス株式会社の製品です。登記上の本店は〒247-0006 神奈川県横浜市栄区笠間2丁目5番1号。半導体製造装置・FPD製造装置・真空応用装置などを手がける会社です。
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