イメージイメージ半導体洗浄装置
ウエーハ乾燥機 スピンドライヤー
ダイキン割れや
- 価格
- 公開価格なし
（見積もり） - 主な仕様
- 対応ウェーハ径
3〜8インチ - 方式
- スピン乾燥機
（スピンドライヤー） - 向いている所
- 割れやすい
ウエーハの スピン乾燥
比較表での位置
ウエーハ乾燥機 スピン
- 9社掲載社数
- 14製品比較表の製品
- 2製品同じ方式
- 0製品公開価格あり
ウエーハ乾燥機 スピンドライヤー の強みと方式
スピン乾燥で
向いている
方式：スピン乾燥機（スピンドライヤー）
洗った
ウエーハ乾燥機 スピンドライヤー の仕様
- 方式
- スピン乾燥機
（スピンドライヤー） - 方式
- スピン乾燥
- 対応ウェーハ径
- 3〜8インチ
- 処理能力
- —公式資料で
確認できず - 洗い方
- —公式資料で
確認できず - 乾燥
- —公式資料で
確認できず - 価格
- —公式資料で
確認できず - 対象の基板
- 厚み
150〜725μm - 装置の構成
- マニュアル型、
インライン型 - 落とせる粒子
- —公式資料で
確認できず - 使う工程
- —公式資料で
確認できず
同じ種類の他社製品との違い
製品の特徴ごとの分類
| ウエーハ乾燥機 スピン | スピン | ファイナル | |
|---|---|---|---|
| 方式 | スピン乾燥機 | スピン乾燥機 | 枚葉式 |
| 方式 | スピン乾燥 | スピン乾燥 | 枚葉式 |
| 対応ウェーハ径 | 3〜8インチ | 300mm以下 | 300mm |
| 処理能力 | —公式資料で | 4キャリア | —公式資料で |
| 洗い方 | —公式資料で | —公式資料で | —公式資料で |
| 乾燥 | —公式資料で | 乾燥 | —公式資料で |
| 価格 | —公式資料で | —公式資料で | —公式資料で |
| 対象の基板 | 厚み | —公式資料で | —公式資料で |
| 装置の構成 | マニュアル型、 | ULPAフィルタ | 最大8チャンバー |
| 落とせる粒子 | —公式資料で | —公式資料で | 19nm以下 |
| 使う工程 | —公式資料で | —公式資料で | 工程間洗浄、 |
ウエーハ乾燥機 スピンドライヤー のよくある質問
Q.ウエーハ乾燥機 スピンドライヤー はどんな人に向いている？
ウエーハ乾燥機 スピンドライヤーは、割れやすいウエーハのスピン乾燥に使う人向けです。ウエーハ乾燥機 スピンドライヤーは、スピン乾燥で起きやすいウエーハの割れやパターン倒壊を、独自のダメージレスシステム で抑える乾燥機です。
Q.ウエーハ乾燥機 スピンドライヤー の強みは？
ウエーハ乾燥機 スピンドライヤーは、3インチから8インチ、厚み150〜725μmのウエーハに使えます。オートバランサー制御で乾燥を短くするオプションもあります。
Q.ウエーハ乾燥機 スピンドライヤー はどんな方式？
ウエーハ乾燥機 スピンドライヤー の方式はスピン乾燥機（スピンドライヤー）です。洗ったウェーハをカセットごと、または1枚ずつ回して、水を飛ばして乾かします。
Q.ウエーハ乾燥機 スピンドライヤー の主な仕様は？
ウエーハ乾燥機 スピンドライヤー の対応ウェーハ径は3〜8インチ、方式はスピン乾燥です。対象の基板は厚み150〜725μm、装置の構成はマニュアル型、インライン型です。
Q.ウエーハ乾燥機 スピンドライヤー とスピンドライヤー SPDシリーズはどっちがいい？
割れやすいウエーハのスピン乾燥ならウエーハ乾燥機 スピンドライヤー、カセットごとのスピン乾燥ならジャパンクリエイトのスピンドライヤー SPDシリーズです。ウエーハ乾燥機 スピンドライヤー の対応ウェーハ径は3〜8インチ、方式はスピン乾燥です。ジャパンクリエイトのスピンドライヤー SPDシリーズの対応ウェーハ径は300mm以下、方式はスピン乾燥（カセットを縦に装填）です。
Q.ウエーハ乾燥機 スピンドライヤー とファイナル洗浄装置 SC300-FCはどっちがいい？
割れやすいウエーハのスピン乾燥ならウエーハ乾燥機 スピンドライヤー、工程間洗浄と最終洗浄なら芝浦メカトロニクスのファイナル洗浄装置 SC300-FCです。ウエーハ乾燥機 スピンドライヤー の対応ウェーハ径は3〜8インチ、方式はスピン乾燥です。芝浦メカトロニクスのファイナル洗浄装置 SC300-FCの対応ウェーハ径は300mm、方式は枚葉式です。
Q.ウエーハ乾燥機 スピンドライヤー のほかにダイキンファインテック の半導体洗浄装置はある？
あります。ダイキンファインテック の半導体洗浄装置には、ウエーハ乾燥機 スピンドライヤー のほかにブラシスクラブプロセッサ BSP（対応ウェーハ径は4インチ・6インチ・8インチ）があります。
Q.ウエーハ乾燥機 スピンドライヤー はどこのメーカー？
ウエーハ乾燥機 スピンドライヤー はダイキンファインテック 株式会社の製品です。奈良県大和郡山市に本社と工場を置き、半導体洗浄装置・MEMS洗浄装置を作る会社です。
同じ分類のほかの型番
イメージイメージイメージ半導体洗浄装置SCREENセミコンダクターソリューションズ
枚葉式洗浄装置 SU-3400
株式会社24チャンバを
対応ウェーハ径
イメージ半導体洗浄装置株式会社
枚葉洗浄装置 CELLESTA-i
東京エレクトロンクリーンルームの
対応ウェーハ径
イメージイメージ同じメーカーのほかの製品ダイキンファインテック 株式会社
イメージ