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半導体洗浄装置枚葉式

枚葉式洗浄装置 SU-3400

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

24チャンバで毎時最大1,200枚を処理する300mm用の枚葉式洗浄装置。

価格
公開価格なし（見積もり）
主な仕様
対応ウェーハ径300mm
方式
枚葉式
向いている所
300mmの量産ラインの枚葉洗浄
公式の製品ページを見る比較表で見る

比較表での位置

枚葉式洗浄装置 SU-3400は、半導体洗浄装置のメーカー9社比較⁠の方式「枚葉式」の5製品の1つとして載っています。

  • 9社掲載社数
  • 14製品比較表の製品
  • 5製品同じ方式
  • 0製品公開価格あり
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枚葉式洗浄装置 SU-3400​の強みと方式

24チャンバを6段×4タワーに積んだ、SUシリーズの枚葉式洗浄装置です。毎時最大1,200枚を処理でき、バッチ式に近い処理能力を持ちます。高解像度カメラでチャンバの中を見張る機能も載っています。

向いている所300mmの量産ラインの枚葉洗浄

方式：枚葉式

ウェーハを1枚ずつチャンバーに入れ、回しながら薬液と純水をかけて洗います。1枚ごとに条件をそろえやすく、裏面や端面まで洗えます。チャンバーを何台も積んで処理能力を上げます。

枚葉式洗浄装置 SU-3400​の仕様

方式
枚葉式
方式
枚葉式
対応ウェーハ径
300mm
処理能力
毎時最大1,200枚
洗い方
—公式資料で確認できず
乾燥
—公式資料で確認できず
価格
—公式資料で確認できず
対象の基板
—公式資料で確認できず
装置の構成
最大24チャンバ、6段×4タワー
落とせる粒子
—公式資料で確認できず
使う工程
—公式資料で確認できず

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

枚葉式洗浄装置 SU-3400株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ枚葉洗浄装置 CELLESTA-⁠i東京エレクトロン株式会社スピンソニッククリーナー株式会社プレテック
方式枚葉式枚葉式枚葉式
方式枚葉式枚葉式枚葉式（ウェーハ横置き）
対応ウェーハ径300mm300mm—公式資料で確認できず
処理能力毎時最大1,200枚毎時650枚—公式資料で確認できず
洗い方—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず400kHzファインジェット、非接触
乾燥—公式資料で確認できずHot IPA乾燥洗浄と乾燥を同じステージで行う
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
対象の基板—公式資料で確認できずSi—公式資料で確認できず
装置の構成最大24チャンバ、6段×4タワー—公式資料で確認できず常温で処理（ヒーターなし）
落とせる粒子—公式資料で確認できず—公式資料で確認できずサブミクロン
使う工程—公式資料で確認できず前後洗浄、ウェットエッチングエピ前後、CMP後、成膜前後の洗浄

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枚葉式洗浄装置 SU-3400​のよくある質問

Q.枚葉式洗浄装置 SU-3400はどんな人に向いている？
枚葉式洗浄装置 SU-3400は、300mmの量産ラインの枚葉洗浄に使う人向けです。枚葉式洗浄装置 SU-3400は、24チャンバを6段×4タワーに積んだ、SUシリーズの枚葉式洗浄装置です。
Q.枚葉式洗浄装置 SU-3400の強みは？
枚葉式洗浄装置 SU-3400は、毎時最大1,200枚を処理でき、バッチ式に近い処理能力を持ちます。高解像度カメラでチャンバの中を見張る機能も載っています。
Q.枚葉式洗浄装置 SU-3400はどんな方式？
枚葉式洗浄装置 SU-3400の方式は枚葉式です。ウェーハを1枚ずつチャンバーに入れ、回しながら薬液と純水をかけて洗います。
Q.枚葉式洗浄装置 SU-3400の主な仕様は？
枚葉式洗浄装置 SU-3400の対応ウェーハ径は300mm、方式は枚葉式です。処理能力は毎時最大1,200枚、装置の構成は最大24チャンバ、6段×4タワーです。
Q.枚葉式洗浄装置 SU-3400と枚葉洗浄装置 CELLESTA-iはどっちがいい？
300mmの量産ラインの枚葉洗浄なら枚葉式洗浄装置 SU-3400、300mmの前後洗浄とウェットエッチングなら東京エレクトロンの枚葉洗浄装置 CELLESTA-iです。枚葉式洗浄装置 SU-3400の対応ウェーハ径は300mm、方式は枚葉式です。東京エレクトロンの枚葉洗浄装置 CELLESTA-iの対応ウェーハ径は300mm、方式は枚葉式です。
Q.枚葉式洗浄装置 SU-3400とスピンソニッククリーナーはどっちがいい？
300mmの量産ラインの枚葉洗浄なら枚葉式洗浄装置 SU-3400、エピ・CMP後の非接触洗浄ならプレテックのスピンソニッククリーナーです。枚葉式洗浄装置 SU-3400の対応ウェーハ径は300mm、方式は枚葉式です。プレテックのスピンソニッククリーナーの方式は枚葉式（ウェーハ横置き）、洗い方は400kHzファインジェット、非接触です。
Q.枚葉式洗浄装置 SU-3400のほかにSCREENセミコンダクターソリューションズの半導体洗浄装置はある？
あります。SCREENセミコンダクターソリューションズの半導体洗浄装置には、枚葉式洗浄装置 SU-3400のほかにウェットステーション FC-3100（対応ウェーハ径は300mm）があります。
Q.枚葉式洗浄装置 SU-3400はどこのメーカー？
枚葉式洗浄装置 SU-3400は株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズの製品です。SCREENグループで半導体製造装置を手がける会社で、1983年に枚葉式洗浄装置を開発しています。

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    出典
    1. 株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ 公式
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