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半導体洗浄装置バッチ式（ウェットステーション）

ウェーハ自動洗浄装置 SCC-250

PHT株式会社

直径200mm・300mmに使える、ラインに合わせて組むバッチ式の自動洗浄装置。

価格
公開価格なし（見積もり）
主な仕様
対応ウェーハ径直径200mm・300mm
方式
バッチ式（ウェットステーション）
向いている所
ラインに合わせたバッチ洗浄
公式の製品ページを見る比較表で見る

比較表での位置

ウェーハ自動洗浄装置 SCC-250は、半導体洗浄装置のメーカー9社比較⁠の方式がバッチ式（ウェットステーション）の4製品の1つとして載っています。

  • 9社掲載社数
  • 14製品比較表の製品
  • 4製品同じ方式
  • 0製品公開価格あり
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ウェーハ自動洗浄装置 SCC-250​の強みと方式

処理槽の数や並びを、ラインに合わせて作り込むバッチ式の自動洗浄装置です。直径200mmと300mmのシリコンウェーハに使えます。SiCなどの化合物半導体は、仕様を打ち合わせて決めます。

向いている所ラインに合わせたバッチ洗浄

方式：バッチ式（ウェットステーション）

キャリアに並べたウェーハを、薬液と純水の槽に順に浸けて洗います。50枚前後をまとめて流せるので、薬液あたりの処理枚数が多くなります。槽の数と並びは工程に合わせて組みます。

ウェーハ自動洗浄装置 SCC-250​の仕様

方式
バッチ式（ウェットステーション）
方式
バッチ式
対応ウェーハ径
直径200mm・300mm
処理能力
—公式資料で確認できず
洗い方
—公式資料で確認できず
乾燥
—公式資料で確認できず
価格
—公式資料で確認できず
対象の基板
シリコン（SiCなどは別途打ち合わせ）
装置の構成
処理槽はラインに合わせて決める
落とせる粒子
—公式資料で確認できず
使う工程
—公式資料で確認できず

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

ウェーハ自動洗浄装置 SCC-250PHT株式会社バッチ式洗浄装置 BW3700株式会社ジェイ・イー・ティウェットステーション FC-3100株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
方式バッチ式（ウェットステーション）バッチ式（ウェットステーション）バッチ式（ウェットステーション）
方式バッチ式バッチ式ウェットステーション
対応ウェーハ径直径200mm・300mm300mm300mm
処理能力—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず毎時1,000枚
洗い方—公式資料で確認できずリバースフローで液を置換—公式資料で確認できず
乾燥—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず減圧乾燥（HiLPD）、高濃度IPA
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
対象の基板シリコン（SiCなどは別途打ち合わせ）—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
装置の構成処理槽はラインに合わせて決めるウエハ間ピッチ7mm7つの独立モジュール
落とせる粒子—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
使う工程—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず

半導体洗浄装置の14製品を比較表で見る

ウェーハ自動洗浄装置 SCC-250​のよくある質問

Q.ウェーハ自動洗浄装置 SCC-250はどんな人に向いている？
ウェーハ自動洗浄装置 SCC-250は、ラインに合わせたバッチ洗浄に使う人向けです。ウェーハ自動洗浄装置 SCC-250は、処理槽の数や並びを、ラインに合わせて作り込むバッチ式の自動洗浄装置です。
Q.ウェーハ自動洗浄装置 SCC-250の強みは？
ウェーハ自動洗浄装置 SCC-250は、直径200mmと300mmのシリコンウェーハに使えます。SiCなどの化合物半導体は、仕様を打ち合わせて決めます。
Q.ウェーハ自動洗浄装置 SCC-250はどんな方式？
ウェーハ自動洗浄装置 SCC-250の方式はバッチ式（ウェットステーション）で⁠す⁠。キャリアに並べたウェーハを、薬液と純水の槽に順に浸けて洗います。
Q.ウェーハ自動洗浄装置 SCC-250の主な仕様は？
ウェーハ自動洗浄装置 SCC-250の対応ウェーハ径は直径200mm・300mm、方式はバッチ式です。対象の基板はシリコン（SiCなどは別途打ち合わせ）、装置の構成は処理槽はラインに合わせて決める。
Q.ウェーハ自動洗浄装置 SCC-250とバッチ式洗浄装置 BW3700はどっちがいい？
ラインに合わせたバッチ洗浄ならウェーハ自動洗浄装置 SCC-250、設置面積を抑えた300mmのバッチ洗浄ならジェイ・イー・ティのバッチ式洗浄装置 BW3700です。ウェーハ自動洗浄装置 SCC-250の対応ウェーハ径は直径200mm・300mm、方式はバッチ式です。ジェイ・イー・ティのバッチ式洗浄装置 BW3700の対応ウェーハ径は300mm、方式はバッチ式です。
Q.ウェーハ自動洗浄装置 SCC-250とウェットステーション FC-3100はどっちがいい？
ラインに合わせたバッチ洗浄ならウェーハ自動洗浄装置 SCC-250、300mmのバッチ洗浄と減圧IPA乾燥ならSCREENセミコンダクターソリューションズのウェットステーション FC-3100です。ウェーハ自動洗浄装置 SCC-250の対応ウェーハ径は直径200mm・300mm、方式はバッチ式です。SCREENセミコンダクターソリューションズのウェットステーション FC-3100の対応ウェーハ径は300mm、方式はウェットステーションです。
Q.ウェーハ自動洗浄装置 SCC-250はどこのメーカー？
ウェーハ自動洗浄装置 SCC-250はPHT株式会社の製品です。半導体用ウェーハ搬送ロボットとウェーハ洗浄装置を設計・製造する会社です。

口コミ

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    出典
    1. PHT株式会社 公式
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