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半導体洗浄装置バッチ式（ウェットステーション）

ウェットステーション FC-3100

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

毎時1,000枚を処理し、減圧IPA乾燥を備えた300mm用のウェットステーション。

価格
公開価格なし（見積もり）
主な仕様
対応ウェーハ径300mm
方式
バッチ式（ウェットステーション）
向いている所
300mmのバッチ洗浄と減圧IPA乾燥
公式の製品ページを見る比較表で見る

比較表での位置

ウェットステーション FC-3100は、半導体洗浄装置のメーカー9社比較⁠の方式がバッチ式（ウェットステーション）の4製品の1つとして載っています。

  • 9社掲載社数
  • 14製品比較表の製品
  • 4製品同じ方式
  • 0製品公開価格あり
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ウェットステーション FC-3100​の強みと方式

減圧乾燥システムHiLPDで、キャリアN2を使わずに高濃度IPAを送って乾かすウェットステーションです。毎時1,000枚を処理でき、ウォータマークを大きく抑えます。本体は7つの独立モジュールを組み合わせた作りです。

向いている所300mmのバッチ洗浄と減圧IPA乾燥

方式：バッチ式（ウェットステーション）

キャリアに並べたウェーハを、薬液と純水の槽に順に浸けて洗います。50枚前後をまとめて流せるので、薬液あたりの処理枚数が多くなります。槽の数と並びは工程に合わせて組みます。

ウェットステーション FC-3100​の仕様

方式
バッチ式（ウェットステーション）
方式
ウェットステーション
対応ウェーハ径
300mm
処理能力
毎時1,000枚
洗い方
—公式資料で確認できず
乾燥
減圧乾燥（HiLPD）、高濃度IPA
価格
—公式資料で確認できず
対象の基板
—公式資料で確認できず
装置の構成
7つの独立モジュール
落とせる粒子
—公式資料で確認できず
使う工程
—公式資料で確認できず

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

ウェットステーション FC-3100株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズバッチ洗浄装置 EXPEDIUS-⁠i東京エレクトロン株式会社ウェーハ自動洗浄装置 SCC-250PHT株式会社
方式バッチ式（ウェットステーション）バッチ式（ウェットステーション）バッチ式（ウェットステーション）
方式ウェットステーションバッチ式バッチ式
対応ウェーハ径300mm300mm直径200mm・300mm
処理能力毎時1,000枚毎時1,000枚—公式資料で確認できず
洗い方—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
乾燥減圧乾燥（HiLPD）、高濃度IPANew SD2—公式資料で確認できず
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
対象の基板—公式資料で確認できずSiシリコン（SiCなどは別途打ち合わせ）
装置の構成7つの独立モジュール1回に最大50枚、複数の処理槽処理槽はラインに合わせて決める
落とせる粒子—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
使う工程—公式資料で確認できず前後洗浄、ウェットエッチング、レジスト剥離—公式資料で確認できず

半導体洗浄装置の14製品を比較表で見る

ウェットステーション FC-3100​のよくある質問

Q.ウェットステーション FC-3100はどんな人に向いている？
ウェットステーション FC-3100は、300mmのバッチ洗浄と減圧IPA乾燥に使う人向けです。ウェットステーション FC-3100は、減圧乾燥システムHiLPDで、キャリアN2を使わずに高濃度IPAを送って乾かすウェットステーションです。
Q.ウェットステーション FC-3100の強みは？
ウェットステーション FC-3100は、毎時1,000枚を処理でき、ウォータマークを大きく抑えます。本体は7つの独立モジュールを組み合わせた作りです。
Q.ウェットステーション FC-3100はどんな方式？
ウェットステーション FC-3100の方式はバッチ式（ウェットステーション）で⁠す⁠。キャリアに並べたウェーハを、薬液と純水の槽に順に浸けて洗います。
Q.ウェットステーション FC-3100の主な仕様は？
ウェットステーション FC-3100の対応ウェーハ径は300mm、方式はウェットステーションです。処理能力は毎時1,000枚、乾燥は減圧乾燥（HiLPD）、高濃度IPAです。
Q.ウェットステーション FC-3100とバッチ洗浄装置 EXPEDIUS-iはどっちがいい？
300mmのバッチ洗浄と減圧IPA乾燥ならウェットステーション FC-3100、300mmのバッチ洗浄とSiN選択エッチングなら東京エレクトロンのバッチ洗浄装置 EXPEDIUS-iです。ウェットステーション FC-3100の対応ウェーハ径は300mm、方式はウェットステーションです。東京エレクトロンのバッチ洗浄装置 EXPEDIUS-iの対応ウェーハ径は300mm、方式はバッチ式です。
Q.ウェットステーション FC-3100の装置の構成は？
ウェットステーション FC-3100の装置の構成は7つの独立モジュールです。東京エレクトロンのバッチ洗浄装置 EXPEDIUS-iの装置の構成は1回に最大50枚、複数の処理槽です。
Q.ウェットステーション FC-3100とウェーハ自動洗浄装置 SCC-250はどっちがいい？
300mmのバッチ洗浄と減圧IPA乾燥ならウェットステーション FC-3100、ラインに合わせたバッチ洗浄ならPHTのウェーハ自動洗浄装置 SCC-250です。ウェットステーション FC-3100の対応ウェーハ径は300mm、方式はウェットステーションです。PHTのウェーハ自動洗浄装置 SCC-250の対応ウェーハ径は直径200mm・300mm、方式はバッチ式です。
Q.ウェットステーション FC-3100のほかにSCREENセミコンダクターソリューションズの半導体洗浄装置はある？
あります。SCREENセミコンダクターソリューションズの半導体洗浄装置には、ウェットステーション FC-3100のほかに枚葉式洗浄装置 SU-3400（対応ウェーハ径は300mm）があります。
Q.ウェットステーション FC-3100はどこのメーカー？
ウェットステーション FC-3100は株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズの製品です。SCREENグループで半導体製造装置を手がける会社で、1983年に枚葉式洗浄装置を開発しています。

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    対応ウェーハ径300mm

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    対応ウェーハ径6インチ・8インチ

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    出典
    1. 株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ 公式
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