イメージイメージウエハ検査装置外観・
ウェーハ外観検査装置 ZI-3600
株式会社ラインセンサの
- 価格
- 公開価格なし
（見積もり） - 方式
- 外観・
表面検査 - 向いている所
- 微細欠陥と
マクロ欠陥の 全面検査
比較表での位置
ウェーハ
- 8社掲載社数
- 14製品比較表の製品
- 8製品同じ方式
- 0製品公開価格あり
ウェーハ外観検査装置 ZI-3600の強みと方式
ラインセンサで
向いている
方式：外観・表面検査
パターン
ウェーハ外観検査装置 ZI-3600の仕様
- 方式
- 外観・
表面検査 - 検査方式
- ラインセンサに
よる全面検査 - 検査の対象
- パターン付き
ウェーハ - ウェーハ径
- —公式資料で
確認できず - 検出感度・分解能
- 1μm以下の
微細欠陥 - 検査速度
- 従来モデルの約2倍
- 見つける欠陥
- 微細欠陥から
マクロ欠陥まで - 価格
- —公式資料で
確認できず - 光源・ビーム
- —公式資料で
確認できず - 外形寸法
- —公式資料で
確認できず - 質量
- —公式資料で
確認できず
同じ種類の他社製品との違い
製品の特徴ごとの分類
| ウェーハ | ウェーハ | ウェーハ | |
|---|---|---|---|
| 方式 | 外観・ | 外観・ | 外観・ |
| 検査方式 | ラインセンサに | —公式資料で | —公式資料で |
| 検査の対象 | パターン付き | CMOS | ベアウェーハ |
| ウェーハ径 | —公式資料で | 2〜8inch | 4〜12inch |
| 検出感度・分解能 | 1μm以下の | —公式資料で | 48nm |
| 検査速度 | 従来モデルの約2倍 | —公式資料で | —公式資料で |
| 見つける欠陥 | 微細欠陥から | 配線パターン、 | パーティクルなど |
| 価格 | —公式資料で | —公式資料で | —公式資料で |
| 光源・ビーム | —公式資料で | —公式資料で | —公式資料で |
| 外形寸法 | —公式資料で | W1880× | W1530× |
| 質量 | —公式資料で | 1650kg | —公式資料で |
ウェーハ外観検査装置 ZI-3600のよくある質問
Q.ウェーハ外観検査装置 ZI-3600はどんな人に向いている？
ウェーハ外観検査装置 ZI-3600は、微細欠陥とマクロ欠陥の全面検査に使う人向けです。ウェーハ外観検査装置 ZI-3600は、ラインセンサで全面を見るので、チップサイズや数量に左右されず一定の速さで検査します。
Q.ウェーハ外観検査装置 ZI-3600の強みは？
ウェーハ外観検査装置 ZI-3600は、分解能の違う3種類の対物レンズを載せ、1μm以下の微細欠陥からマクロ欠陥まで1台で見られます。実用の処理能力は従来モデルの約2倍です。
Q.ウェーハ外観検査装置 ZI-3600はどんな方式？
ウェーハ外観検査装置 ZI-3600の方式は外観・表面検査です。パターン付きウェーハやベアウェーハの外観と表面の欠陥を見つける型です。
Q.ウェーハ外観検査装置 ZI-3600の主な仕様は？
ウェーハ外観検査装置 ZI-3600の検査方式はラインセンサによる全面検査、検査の対象はパターン付きウェーハです。検出感度・分解能は1μm以下の微細欠陥、検査速度は従来モデルの約2倍です。
Q.ウェーハ外観検査装置 ZI-3600とウェーハ外観検査装置 Vi-4207はどっちがいい？
微細欠陥とマクロ欠陥の全面検査ならウェーハ外観検査装置 ZI-3600、パワーデバイスやMEMSの外観検査ならタカノのウェーハ外観検査装置 Vi-4207です。ウェーハ外観検査装置 ZI-3600の検査方式はラインセンサによる全面検査、検査の対象はパターン付きウェーハです。タカノのウェーハ外観検査装置 Vi-4207の検査の対象はCMOSイメージセンサー、パワーデバイス、RFフィルター、MEMS、ガラス、TAIKOウェーハ、ウェーハ径は2〜8inchです。
Q.ウェーハ外観検査装置 ZI-3600の見つける欠陥は？
ウェーハ外観検査装置 ZI-3600の見つける欠陥は微細欠陥からマクロ欠陥までです。タカノのウェーハ外観検査装置 Vi-4207の見つける欠陥は配線パターン、クラック、異物混入です。
Q.ウェーハ外観検査装置 ZI-3600とウェーハ表面検査装置 WM-10R+はどっちがいい？
微細欠陥とマクロ欠陥の全面検査ならウェーハ外観検査装置 ZI-3600、ベアウェーハのパーティクル管理ならタカノのウェーハ表面検査装置 WM-10R+です。ウェーハ外観検査装置 ZI-3600の検査方式はラインセンサによる全面検査、検査の対象はパターン付きウェーハです。タカノのウェーハ表面検査装置 WM-10R+の検査の対象はベアウェーハ、ウェーハ径は4〜12inchです。
Q.ウェーハ外観検査装置 ZI-3600のほかにSCREENセミコンダクターソリューションズのウエハ検査装置はある？
あります。SCREENセミコンダクターソリューションズのウエハ検査装置には、ウェーハ外観検査装置 ZI-3600のほかにウェーハ外観検査装置 ZI-2000（検査方式は比較検査方式）があります。
Q.ウェーハ外観検査装置 ZI-3600はどこのメーカー？
ウェーハ外観検査装置 ZI-3600は株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズの製品です。SCREENセミコンダクターソリューションズの主な製品分野は半導体洗浄装置・ウエハ検査装置です。
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