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ウエハ検査装置外観・表面検査

ウエハ外観検査装置 AURCA-Sシリーズ

ニデックアドバンステクノロジー株式会社

フルカラー撮像とAI解析で欠陥を見つけ、原因の分析まで行う2D外観検査装置。

価格
公開価格なし（見積もり）
方式
外観・表面検査
向いている所
AIで見逃しと過検出を抑える検査
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比較表での位置

ウエハ外観検査装置 AURCA-Sシリーズは、ウエハ検査装置のメーカー8社比較⁠の方式「外観・表面検査」の8製品の1つとして載っています。

  • 8社掲載社数
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ウエハ外観検査装置 AURCA-Sシリーズの強みと方式

フルカラー撮像とAI解析を組み合わせた2D外観検査装置です。モノクロ画像より情報量が多い画像で、人の目でも見つけにくい欠陥を拾い、過検出を抑えます。検出した欠陥の形や発生原因の分析も、前工程の見直しに使えます。

向いている所AIで見逃しと過検出を抑える検査

方式：外観・表面検査

パターン付きウェーハやベアウェーハの外観と表面の欠陥を見つける型です。パターン同士を比べる比較検査、ラインセンサで全面を見る検査、レーザーの散乱光を拾う検査などがあります。

ウエハ外観検査装置 AURCA-Sシリーズの仕様

方式
外観・表面検査
検査方式
フルカラー高速スキャン、AI解析
検査の対象
ロジックIC、メモリー、LED、CIS、MEMS
ウェーハ径
—公式資料で確認できず
検出感度・分解能
—公式資料で確認できず
検査速度
—公式資料で確認できず
見つける欠陥
プローブマーク、バンプ、TSV、エッジチッピング、接着剤など
価格
—公式資料で確認できず
光源・ビーム
—公式資料で確認できず
外形寸法
—公式資料で確認できず
質量
—公式資料で確認できず

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

ウエハ外観検査装置 AURCA-Sシリーズニデックアドバンステクノロジー株式会社ウェハ表面欠陥検査装置 K-LE-G200株式会社クボタウェーハ外観検査装置 ZI-2000株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
方式外観・表面検査外観・表面検査外観・表面検査
検査方式フルカラー高速スキャン、AI解析レーザー散乱方式、正反射方式比較検査方式（Die to Die、Cell to Cell）
検査の対象ロジックIC、メモリー、LED、CIS、MEMS透明体を含む各種基板パターン付きウェーハ
ウェーハ径—公式資料で確認できず2〜12inch直径76mm〜200mm
検出感度・分解能—公式資料で確認できずPSL50nm相当（オプションでPSL40nm相当）光学分解能1.5μm×1.5μm
検査速度—公式資料で確認できず約181秒/12inch—公式資料で確認できず
見つける欠陥プローブマーク、バンプ、TSV、エッジチッピング、接着剤など—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
光源・ビーム—公式資料で確認できず—公式資料で確認できずRGB 3色LED照明
外形寸法—公式資料で確認できずW1,800×D2,100×H1,985mm1,400mm×1,250mm×2,030mm
質量—公式資料で確認できず約1,200kg—公式資料で確認できず

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ウエハ外観検査装置 AURCA-Sシリーズのよくある質問

Q.ウエハ外観検査装置 AURCA-Sシリーズはどんな人に向いている？
ウエハ外観検査装置 AURCA-Sシリーズは、AIで見逃しと過検出を抑える検査に使う人向けです。ウエハ外観検査装置 AURCA-Sシリーズは、フルカラー撮像とAI解析を組み合わせた2D外観検査装置です。
Q.ウエハ外観検査装置 AURCA-Sシリーズの強みは？
ウエハ外観検査装置 AURCA-Sシリーズは、モノクロ画像より情報量が多い画像で、人の目でも見つけにくい欠陥を拾い、過検出を抑えます。検出した欠陥の形や発生原因の分析も、前工程の見直しに使えます。
Q.ウエハ外観検査装置 AURCA-Sシリーズはどんな方式？
ウエハ外観検査装置 AURCA-Sシリーズの方式は外観・表面検査です。パターン付きウェーハやベアウェーハの外観と表面の欠陥を見つける型です。
Q.ウエハ外観検査装置 AURCA-Sシリーズの主な仕様は？
ウエハ外観検査装置 AURCA-Sシリーズの検査方式はフルカラー高速スキャン、AI解析、検査の対象はロジックIC、メモリー、LED、CIS、MEMSです。見つける欠陥はプローブマーク、バンプ、TSV、エッジチッピング、接着剤などです。
Q.ウエハ外観検査装置 AURCA-Sシリーズとウェハ表面欠陥検査装置 K-LE-G200はどっちがいい？
AIで見逃しと過検出を抑える検査ならウエハ外観検査装置 AURCA-Sシリーズ、検出から顕微鏡レビューまで1台でならクボタのウェハ表面欠陥検査装置 K-LE-G200です。ウエハ外観検査装置 AURCA-Sシリーズの検査方式はフルカラー高速スキャン、AI解析、検査の対象はロジックIC、メモリー、LED、CIS、MEMSです。クボタのウェハ表面欠陥検査装置 K-LE-G200の検査方式はレーザー散乱方式、正反射方式、検査の対象は透明体を含む各種基板です。
Q.ウエハ外観検査装置 AURCA-Sシリーズとウェーハ外観検査装置 ZI-2000はどっちがいい？
AIで見逃しと過検出を抑える検査ならウエハ外観検査装置 AURCA-Sシリーズ、前工程から最終外観までの検査ならSCREENセミコンダクターソリューションズのウェーハ外観検査装置 ZI-2000です。ウエハ外観検査装置 AURCA-Sシリーズの検査方式はフルカラー高速スキャン、AI解析、検査の対象はロジックIC、メモリー、LED、CIS、MEMSです。SCREENセミコンダクターソリューションズのウェーハ外観検査装置 ZI-2000の検査方式は比較検査方式（Die to Die、Cell to Cell⁠）⁠、検査の対象はパターン付きウェーハです。
Q.ウエハ外観検査装置 AURCA-Sシリーズのほかにニデックアドバンステクノロジーのウエハ検査装置はある？
あります。ニデックアドバンステクノロジーのウエハ検査装置には、ウエハ外観検査装置 AURCA-Sシリーズのほかにウエハ外観検査装置 RWi-300MK3（検査方式は高さと外観の同時検査）があります。
Q.ウエハ外観検査装置 AURCA-Sシリーズはどこのメーカー？
ウエハ外観検査装置 AURCA-Sシリーズはニデックアドバンステクノロジー株式会社の製品です。半導体パッケージ検査装置などを手がける会社で、本社・工場は京都府向日市にあります。

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    1. ニデックアドバンステクノロジー株式会社 公式
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