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ウエハ検査装置外観・表面検査

ウェハ表面欠陥検査装置 K-LE-G200

株式会社クボタ

レーザー式で検査し、顕微鏡でレビューまで行う2〜12inch用の表面欠陥検査装置。

価格
公開価格なし（見積もり）
方式
外観・表面検査
向いている所
検出から顕微鏡レビューまで1台で
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比較表での位置

ウェハ表面欠陥検査装置 K-LE-G200は、ウエハ検査装置のメーカー8社比較⁠の方式「外観・表面検査」の8製品の1つとして載っています。

  • 8社掲載社数
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ウェハ表面欠陥検査装置 K-LE-G200​の強みと方式

レーザー式の検査部と画像式の検査部を1台に組み込み、欠陥の検出から観察までを同じ装置で進めます。12inchを約181秒で検査し、感度はPSL50nm相当です。透明体を含む基板を2〜12inchまで扱います。

向いている所検出から顕微鏡レビューまで1台で

方式：外観・表面検査

パターン付きウェーハやベアウェーハの外観と表面の欠陥を見つける型です。パターン同士を比べる比較検査、ラインセンサで全面を見る検査、レーザーの散乱光を拾う検査などがあります。

ウェハ表面欠陥検査装置 K-LE-G200​の仕様

方式
外観・表面検査
検査方式
レーザー散乱方式、正反射方式
検査の対象
透明体を含む各種基板
ウェーハ径
2〜12inch
検出感度・分解能
PSL50nm相当（オプションでPSL40nm相当）
検査速度
約181秒/12inch
見つける欠陥
—公式資料で確認できず
価格
—公式資料で確認できず
光源・ビーム
—公式資料で確認できず
外形寸法
W1,800×D2,100×H1,985mm
質量
約1,200kg

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

ウェハ表面欠陥検査装置 K-LE-G200株式会社クボタウェーハ外観検査装置 ZI-2000株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズウェーハ外観検査装置 ZI-3600株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
方式外観・表面検査外観・表面検査外観・表面検査
検査方式レーザー散乱方式、正反射方式比較検査方式（Die to Die、Cell to Cell）ラインセンサによる全面検査
検査の対象透明体を含む各種基板パターン付きウェーハパターン付きウェーハ
ウェーハ径2〜12inch直径76mm〜200mm—公式資料で確認できず
検出感度・分解能PSL50nm相当（オプションでPSL40nm相当）光学分解能1.5μm×1.5μm1μm以下の微細欠陥
検査速度約181秒/12inch—公式資料で確認できず従来モデルの約2倍
見つける欠陥—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず微細欠陥からマクロ欠陥まで
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
光源・ビーム—公式資料で確認できずRGB 3色LED照明—公式資料で確認できず
外形寸法W1,800×D2,100×H1,985mm1,400mm×1,250mm×2,030mm—公式資料で確認できず
質量約1,200kg—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず

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ウェハ表面欠陥検査装置 K-LE-G200​のよくある質問

Q.ウェハ表面欠陥検査装置 K-LE-G200はどんな人に向いている？
ウェハ表面欠陥検査装置 K-LE-G200は、検出から顕微鏡レビューまで1台で使う人向けです。ウェハ表面欠陥検査装置 K-LE-G200は、レーザー式の検査部と画像式の検査部を1台に組み込み、欠陥の検出から観察までを同じ装置で進めます。
Q.ウェハ表面欠陥検査装置 K-LE-G200の強みは？
ウェハ表面欠陥検査装置 K-LE-G200は、12inchを約181秒で検査し、感度はPSL50nm相当です。透明体を含む基板を2〜12inchまで扱います。
Q.ウェハ表面欠陥検査装置 K-LE-G200はどんな方式？
ウェハ表面欠陥検査装置 K-LE-G200の方式は外観・表面検査です。パターン付きウェーハやベアウェーハの外観と表面の欠陥を見つける型です。
Q.ウェハ表面欠陥検査装置 K-LE-G200の主な仕様は？
ウェハ表面欠陥検査装置 K-LE-G200の検査方式はレーザー散乱方式、正反射方式、検査の対象は透明体を含む各種基板です。ウェーハ径は2〜12inch、検出感度・分解能はPSL50nm相当（オプションでPSL40nm相当）⁠⁠⁠です。
Q.ウェハ表面欠陥検査装置 K-LE-G200とウェーハ外観検査装置 ZI-2000はどっちがいい？
検出から顕微鏡レビューまで1台でならウェハ表面欠陥検査装置 K-LE-G200、前工程から最終外観までの検査ならSCREENセミコンダクターソリューションズのウェーハ外観検査装置 ZI-2000です。ウェハ表面欠陥検査装置 K-LE-G200の検査方式はレーザー散乱方式、正反射方式、検査の対象は透明体を含む各種基板です。SCREENセミコンダクターソリューションズのウェーハ外観検査装置 ZI-2000の検査方式は比較検査方式（Die to Die、Cell to Cell⁠）⁠、検査の対象はパターン付きウェーハです。
Q.ウェハ表面欠陥検査装置 K-LE-G200の質量は？
ウェハ表面欠陥検査装置 K-LE-G200の質量は約1,200kgです。タカノのウェーハ外観検査装置 Vi-4207の質量は1650kgです。
Q.ウェハ表面欠陥検査装置 K-LE-G200の検査速度は？
ウェハ表面欠陥検査装置 K-LE-G200の検査速度は約181秒/12inchです。SCREENセミコンダクターソリューションズのウェーハ外観検査装置 ZI-3600の検査速度は従来モデルの約2倍です。
Q.ウェハ表面欠陥検査装置 K-LE-G200とウェーハ外観検査装置 ZI-3600はどっちがいい？
検出から顕微鏡レビューまで1台でならウェハ表面欠陥検査装置 K-LE-G200、微細欠陥とマクロ欠陥の全面検査ならSCREENセミコンダクターソリューションズのウェーハ外観検査装置 ZI-3600です。ウェハ表面欠陥検査装置 K-LE-G200の検査方式はレーザー散乱方式、正反射方式、検査の対象は透明体を含む各種基板です。SCREENセミコンダクターソリューションズのウェーハ外観検査装置 ZI-3600の検査方式はラインセンサによる全面検査、検査の対象はパターン付きウェーハです。
Q.ウェハ表面欠陥検査装置 K-LE-G200のほかにクボタのウエハ検査装置はある？
あります。クボタのウエハ検査装置には、ウェハ表面欠陥検査装置 K-LE-G200のほかにハイブリット型表面欠陥検査装置 K-HB-G100（検査方式はレーザー散乱方式、正反射方式、微分干渉顕微鏡）があります。
Q.ウェハ表面欠陥検査装置 K-LE-G200はどこのメーカー？
ウェハ表面欠陥検査装置 K-LE-G200は株式会社クボタの製品です。クボタの主な製品分野はバタフライ弁・産業用エンジン・排水処理装置・芝刈機です。

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    出典
    1. 株式会社クボタ 公式
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