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ウエハ検査装置外観・表面検査

シリコンウェーハ検査装置 MS-1000

株式会社ナノシステムソリューションズ

シリコンウェーハやガラス基板の外部欠陥と内部欠陥を光学式で検査する装置。

価格
公開価格なし（見積もり）
方式
外観・表面検査
向いている所
基板の外部欠陥と内部欠陥の検査
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比較表での位置

シリコンウェーハ検査装置 MS-1000は、ウエハ検査装置のメーカー8社比較⁠の方式「外観・表面検査」の8製品の1つとして載っています。

  • 8社掲載社数
  • 14製品比較表の製品
  • 8製品同じ方式
  • 0製品公開価格あり
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シリコンウェーハ検査装置 MS-1000​の強みと方式

シリコンウェーハやガラス基板の外部欠陥に加えて、基板内部の欠陥も透過や反射で見つけます。キズ、欠け、クラック、パーティクルなど、実際の欠陥に合わせて検出方法を決めます。製造はナノシステムソリューションズで、ブイ・テクノロジーの製品ページにも載っています。

向いている所基板の外部欠陥と内部欠陥の検査

方式：外観・表面検査

パターン付きウェーハやベアウェーハの外観と表面の欠陥を見つける型です。パターン同士を比べる比較検査、ラインセンサで全面を見る検査、レーザーの散乱光を拾う検査などがあります。

シリコンウェーハ検査装置 MS-1000​の仕様

方式
外観・表面検査
検査方式
光学式、画像処理
検査の対象
シリコンウェーハ、ガラス基板
ウェーハ径
—公式資料で確認できず
検出感度・分解能
—公式資料で確認できず
検査速度
—公式資料で確認できず
見つける欠陥
キズ、欠け、クラック、パーティクル、内部欠陥
価格
—公式資料で確認できず
光源・ビーム
—公式資料で確認できず
外形寸法
—公式資料で確認できず
質量
—公式資料で確認できず

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

シリコンウェーハ検査装置 MS-1000株式会社ナノシステムソリューションズウエハ外観検査装置 AURCA-Sシリーズニデックアドバンステクノロジー株式会社ウエハ外観検査装置 RWi-300MK3ニデックアドバンステクノロジー株式会社
方式外観・表面検査外観・表面検査外観・表面検査
検査方式光学式、画像処理フルカラー高速スキャン、AI解析高さ（3D）⁠と⁠外⁠観（2D）⁠の⁠同⁠時⁠検⁠⁠⁠⁠⁠⁠⁠査
検査の対象シリコンウェーハ、ガラス基板ロジックIC、メモリー、LED、CIS、MEMSCuピラーバンプ、金バンプ、低段差バンプ、マイクロバンプ
ウェーハ径—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
検出感度・分解能—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
検査速度—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
見つける欠陥キズ、欠け、クラック、パーティクル、内部欠陥プローブマーク、バンプ、TSV、エッジチッピング、接着剤など—公式資料で確認できず
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
光源・ビーム—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
外形寸法—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
質量—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず

ウエハ検査装置の14製品を比較表で見る

シリコンウェーハ検査装置 MS-1000​のよくある質問

Q.シリコンウェーハ検査装置 MS-1000はどんな人に向いている？
シリコンウェーハ検査装置 MS-1000は、基板の外部欠陥と内部欠陥の検査に使う人向けです。シリコンウェーハ検査装置 MS-1000は、シリコンウェーハやガラス基板の外部欠陥に加えて、基板内部の欠陥も透過や反射で見つけます。
Q.シリコンウェーハ検査装置 MS-1000の強みは？
シリコンウェーハ検査装置 MS-1000は、キズ、欠け、クラック、パーティクルなど、実際の欠陥に合わせて検出方法を決めます。製造はナノシステムソリューションズで、ブイ・テクノロジーの製品ページにも載っています。
Q.シリコンウェーハ検査装置 MS-1000はどんな方式？
シリコンウェーハ検査装置 MS-1000の方式は外観・表面検査です。パターン付きウェーハやベアウェーハの外観と表面の欠陥を見つける型です。
Q.シリコンウェーハ検査装置 MS-1000の主な仕様は？
シリコンウェーハ検査装置 MS-1000の検査方式は光学式、画像処理、検査の対象はシリコンウェーハ、ガラス基板です。見つける欠陥はキズ、欠け、クラック、パーティクル、内部欠陥です。
Q.シリコンウェーハ検査装置 MS-1000とウエハ外観検査装置 AURCA-Sシリーズはどっちがいい？
基板の外部欠陥と内部欠陥の検査ならシリコンウェーハ検査装置 MS-1000、AIで見逃しと過検出を抑える検査ならニデックアドバンステクノロジーのウエハ外観検査装置 AURCA-Sシリーズです。シリコンウェーハ検査装置 MS-1000の検査方式は光学式、画像処理、検査の対象はシリコンウェーハ、ガラス基板です。ニデックアドバンステクノロジーのウエハ外観検査装置 AURCA-Sシリーズの検査方式はフルカラー高速スキャン、AI解析、検査の対象はロジックIC、メモリー、LED、CIS、MEMSです。
Q.シリコンウェーハ検査装置 MS-1000とウエハ外観検査装置 RWi-300MK3はどっちがいい？
基板の外部欠陥と内部欠陥の検査ならシリコンウェーハ検査装置 MS-1000、バンプの量産全数検査ならニデックアドバンステクノロジーのウエハ外観検査装置 RWi-300MK3です。シリコンウェーハ検査装置 MS-1000の検査方式は光学式、画像処理、検査の対象はシリコンウェーハ、ガラス基板です。ニデックアドバンステクノロジーのウエハ外観検査装置 RWi-300MK3の検査方式は高さ（3D）⁠と⁠外⁠観（2D）の同時検査、検査の対象はCuピラーバンプ、金バンプ、低段差バンプ、マイクロバンプです。
Q.シリコンウェーハ検査装置 MS-1000はどこのメーカー？
シリコンウェーハ検査装置 MS-1000は株式会社ナノシステムソリューションズの製品です。2004年12月に創業し、独自の光学技術を使った露光装置や外観検査装置を手がける会社です。

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