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ウエハ検査装置エッジ検査

ウェハエッジ検査装置 CIELシリーズ

レーザーテック株式会社

ウェハエッジとベベル部の欠陥を分類し、3D測定もできる検査装置。

価格
公開価格なし（見積もり）
方式
エッジ検査
向いている所
エッジ・ベベル部の工程監視
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比較表での位置

ウェハエッジ検査装置 CIELシリーズは、ウエハ検査装置のメーカー8社比較⁠の方式「エッジ検査」の2製品の1つとして載っています。

  • 8社掲載社数
  • 14製品比較表の製品
  • 2製品同じ方式
  • 0製品公開価格あり
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ウェハエッジ検査装置 CIELシリーズの強みと方式

ウェハの縁とベベル部に絞って欠陥を見つけ、種類まで分けるエッジ検査装置です。3D測定の結果をプロセス改善に使えます。高スループットモードがあり、用途に合わせて切り替えます。

向いている所エッジ・ベベル部の工程監視

方式：エッジ検査

ウェーハの縁とベベル部に絞って欠陥を見つける型です。欠陥の分類や寸法計測、3D測定までできる機種があります。

ウェハエッジ検査装置 CIELシリーズの仕様

方式
エッジ検査
検査方式
3D測定機能あり
検査の対象
半導体デバイス工程のウェハ
ウェーハ径
—公式資料で確認できず
検出感度・分解能
—公式資料で確認できず
検査速度
高スループットモードあり
見つける欠陥
ウェハエッジ・ベベル部の欠陥
価格
—公式資料で確認できず
光源・ビーム
—公式資料で確認できず
外形寸法
—公式資料で確認できず
質量
—公式資料で確認できず

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

ウェハエッジ検査装置 CIELシリーズレーザーテック株式会社ウェーハエッジ自動欠陥検査装置 RXW-1200株式会社オプティマハイブリット型表面欠陥検査装置 K-HB-G100株式会社クボタ
方式エッジ検査エッジ検査SiC・GaN用
検査方式3D測定機能あり—公式資料で確認できずレーザー散乱方式、正反射方式、微分干渉顕微鏡
検査の対象半導体デバイス工程のウェハSiウェーハSi、SiC、LT、LN、サファイア、SiC/Siなど
ウェーハ径—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず4・6・8inch
検出感度・分解能—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
検査速度高スループットモードあり—公式資料で確認できず約91秒（6inch、10umピッチ）
見つける欠陥ウェハエッジ・ベベル部の欠陥ウェーハエッジ部の欠陥の検出と分類、寸法計測パーティクル、スクラッチ、ピット、バンプなど
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
光源・ビーム—公式資料で確認できず—公式資料で確認できずレーザー波長405nm
外形寸法—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
質量—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず

ウエハ検査装置の14製品を比較表で見る

ウェハエッジ検査装置 CIELシリーズのよくある質問

Q.ウェハエッジ検査装置 CIELシリーズはどんな人に向いている？
ウェハエッジ検査装置 CIELシリーズは、エッジ・ベベル部の工程監視に使う人向けです。ウェハエッジ検査装置 CIELシリーズは、ウェハの縁とベベル部に絞って欠陥を見つけ、種類まで分けるエッジ検査装置です。
Q.ウェハエッジ検査装置 CIELシリーズの強みは？
ウェハエッジ検査装置 CIELシリーズは、3D測定の結果をプロセス改善に使えます。高スループットモードがあり、用途に合わせて切り替えます。
Q.ウェハエッジ検査装置 CIELシリーズはどんな方式？
ウェハエッジ検査装置 CIELシリーズの方式はエッジ検査です。ウェーハの縁とベベル部に絞って欠陥を見つける型です。
Q.ウェハエッジ検査装置 CIELシリーズの主な仕様は？
ウェハエッジ検査装置 CIELシリーズの検査方式は3D測定機能あり、検査の対象は半導体デバイス工程のウェハです。検査速度は高スループットモードあり、見つける欠陥はウェハエッジ・ベベル部の欠陥です。
Q.ウェハエッジ検査装置 CIELシリーズとウェーハエッジ自動欠陥検査装置 RXW-1200はどっちがいい？
エッジ・ベベル部の工程監視ならウェハエッジ検査装置 CIELシリーズ、ラインに組み込むエッジ検査ならオプティマのウェーハエッジ自動欠陥検査装置 RXW-1200です。ウェハエッジ検査装置 CIELシリーズの検査方式は3D測定機能あり、検査の対象は半導体デバイス工程のウェハです。オプティマのウェーハエッジ自動欠陥検査装置 RXW-1200の検査の対象はSiウェーハ、見つける欠陥はウェーハエッジ部の欠陥の検出と分類、寸法計測です。
Q.ウェハエッジ検査装置 CIELシリーズとハイブリット型表面欠陥検査装置 K-HB-G100はどっちがいい？
エッジ・ベベル部の工程監視ならウェハエッジ検査装置 CIELシリーズ、SiCや透明基板の表面欠陥検査ならクボタのハイブリット型表面欠陥検査装置 K-HB-G100です。ウェハエッジ検査装置 CIELシリーズの検査方式は3D測定機能あり、検査の対象は半導体デバイス工程のウェハです。クボタのハイブリット型表面欠陥検査装置 K-HB-G100の検査方式はレーザー散乱方式、正反射方式、微分干渉顕微鏡、検査の対象はSi、SiC、LT、LN、サファイア、SiC/Siなどです。
Q.ウェハエッジ検査装置 CIELシリーズのほかにレーザーテックのウエハ検査装置はある？
あります。レーザーテックのウエハ検査装置には、ウェハエッジ検査装置 CIELシリーズのほかにSiCウェハ欠陥検査/レビュー装置 SICA108（検査方式は表面検査、PL検査の同時検査）があります。
Q.ウェハエッジ検査装置 CIELシリーズはどこのメーカー？
ウェハエッジ検査装置 CIELシリーズはレーザーテック株式会社の製品です。レーザーテックの主な製品分野はウエハ検査装置です。

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    出典
    1. レーザーテック株式会社 公式
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