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ウエハ検査装置SiC・GaN用

SiCウェハ欠陥検査/レビュー装置 SICA108

レーザーテック株式会社

SiCウェハの表面欠陥と内部の結晶欠陥を同時に検査し、レビューと分類まで行う装置。

価格
公開価格なし（見積もり）
方式
SiC・GaN用
向いている所
SiCウェハの出荷・受入検査
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比較表での位置

SiCウェハ欠陥検査/レビュー装置 SICA108は、ウエハ検査装置のメーカー8社比較⁠の方式「SiC・GaN用」の3製品の1つとして載っています。

  • 8社掲載社数
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  • 3製品同じ方式
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SiCウェハ欠陥検査/レビュー装置 SICA108​の強みと方式

表面検査とPL検査を同時に行い、表面の欠陥とウェハ内部の結晶欠陥を1台で見つけます。SiCウェハとエピウェハの出荷・受入検査や、研磨・エピ成長の工程管理に使います。AGVやOHTでの自動搬送にも合わせられます。

向いている所SiCウェハの出荷・受入検査

方式：SiC・GaN用

SiCやGaNなど透明な基板で起きる欠陥を見る型です。PLの蛍光画像で内部の結晶欠陥を見る装置と、レーザーと顕微鏡を組み合わせて表面を見る装置があります。

SiCウェハ欠陥検査/レビュー装置 SICA108​の仕様

方式
SiC・GaN用
検査方式
表面検査、PL検査の同時検査
検査の対象
SiCウェハ、エピウェハ
ウェーハ径
—公式資料で確認できず
検出感度・分解能
—公式資料で確認できず
検査速度
—公式資料で確認できず
見つける欠陥
表面欠陥、基底面内転位（BPD）、積層欠陥（SF）
価格
—公式資料で確認できず
光源・ビーム
—公式資料で確認できず
外形寸法
—公式資料で確認できず
質量
—公式資料で確認できず

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

SiCウェハ欠陥検査/レビュー装置 SICA108レーザーテック株式会社ハイブリット型表面欠陥検査装置 K-HB-G100株式会社クボタ蛍光検査装置 INSPECTRA PLシリーズ東レエンジニアリング先端半導体MIテクノロジー株式会社
方式SiC・GaN用SiC・GaN用SiC・GaN用
検査方式表面検査、PL検査の同時検査レーザー散乱方式、正反射方式、微分干渉顕微鏡PL蛍光画像による自動検査
検査の対象SiCウェハ、エピウェハSi、SiC、LT、LN、サファイア、SiC/SiなどSiCウェーハ、チップ
ウェーハ径—公式資料で確認できず4・6・8inch2〜8inch
検出感度・分解能—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず画素分解能0.325um〜
検査速度—公式資料で確認できず約91秒（6inch、10umピッチ）15分（4inchウェーハ、5x PL検査時）
見つける欠陥表面欠陥、基底面内転位（BPD）、積層欠陥（SF）パーティクル、スクラッチ、ピット、バンプなど基底面転位（BPD）、積層欠陥（SF）⁠な⁠ど⁠の結晶欠陥、パターン外観不良
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
光源・ビーム—公式資料で確認できずレーザー波長405nm—公式資料で確認できず
外形寸法—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
質量—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず

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SiCウェハ欠陥検査/レビュー装置 SICA108​のよくある質問

Q.SiCウェハ欠陥検査/レビュー装置 SICA108はどんな人に向いている？
SiCウェハ欠陥検査/レビュー装置 SICA108は、SiCウェハの出荷・受入検査に使う人向けです。SiCウェハ欠陥検査/レビュー装置 SICA108は、表面検査とPL検査を同時に行い、表面の欠陥とウェハ内部の結晶欠陥を1台で見つけます。
Q.SiCウェハ欠陥検査/レビュー装置 SICA108の強みは？
SiCウェハ欠陥検査/レビュー装置 SICA108は、SiCウェハとエピウェハの出荷・受入検査や、研磨・エピ成長の工程管理に使います。AGVやOHTでの自動搬送にも合わせられます。
Q.SiCウェハ欠陥検査/レビュー装置 SICA108はどんな方式？
SiCウェハ欠陥検査/レビュー装置 SICA108の方式はSiC・GaN用です。SiCやGaNなど透明な基板で起きる欠陥を見る型です。
Q.SiCウェハ欠陥検査/レビュー装置 SICA108の主な仕様は？
SiCウェハ欠陥検査/レビュー装置 SICA108の検査方式は表面検査、PL検査の同時検査、検査の対象はSiCウェハ、エピウェハです。見つける欠陥は表面欠陥、基底面内転位（BPD）、積層欠陥（SF）⁠で⁠⁠⁠⁠す⁠。
Q.SiCウェハ欠陥検査/レビュー装置 SICA108とハイブリット型表面欠陥検査装置 K-HB-G100はどっちがいい？
SiCウェハの出荷・受入検査ならSiCウェハ欠陥検査/レビュー装置 SICA108、SiCや透明基板の表面欠陥検査ならクボタのハイブリット型表面欠陥検査装置 K-HB-G100です。SiCウェハ欠陥検査/レビュー装置 SICA108の検査方式は表面検査、PL検査の同時検査、検査の対象はSiCウェハ、エピウェハです。クボタのハイブリット型表面欠陥検査装置 K-HB-G100の検査方式はレーザー散乱方式、正反射方式、微分干渉顕微鏡、検査の対象はSi、SiC、LT、LN、サファイア、SiC/Siなどです。
Q.SiCウェハ欠陥検査/レビュー装置 SICA108と蛍光検査装置 INSPECTRA PLシリーズはどっちがいい？
SiCウェハの出荷・受入検査ならSiCウェハ欠陥検査/レビュー装置 SICA108、SiC・GaNパワーデバイスの結晶欠陥なら東レエンジニアリング先端半導体MIテクノロジーの蛍光検査装置 INSPECTRA PLシリーズです。SiCウェハ欠陥検査/レビュー装置 SICA108の検査方式は表面検査、PL検査の同時検査、検査の対象はSiCウェハ、エピウェハです。東レエンジニアリング先端半導体MIテクノロジーの蛍光検査装置 INSPECTRA PLシリーズの検査方式はPL蛍光画像による自動検査、検査の対象はSiCウェーハ、チップです。
Q.SiCウェハ欠陥検査/レビュー装置 SICA108のほかにレーザーテックのウエハ検査装置はある？
あります。レーザーテックのウエハ検査装置には、SiCウェハ欠陥検査/レビュー装置 SICA108のほかにウェハエッジ検査装置 CIELシリーズ（検査方式は3D測定機能あり）があります。
Q.SiCウェハ欠陥検査/レビュー装置 SICA108はどこのメーカー？
SiCウェハ欠陥検査/レビュー装置 SICA108はレーザーテック株式会社の製品です。レーザーテックの主な製品分野はウエハ検査装置です。

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    1. レーザーテック株式会社 公式
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