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ウエハ検査装置外観・表面検査

ウェーハ外観検査装置 ZI-2000

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

直径76mm〜200mmのパターン付きウェーハを比較検査方式で見る外観検査装置。

価格
公開価格なし（見積もり）
方式
外観・表面検査
向いている所
前工程から最終外観までの検査
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比較表での位置

ウェーハ外観検査装置 ZI-2000は、ウエハ検査装置のメーカー8社比較⁠の方式「外観・表面検査」の8製品の1つとして載っています。

  • 8社掲載社数
  • 14製品比較表の製品
  • 8製品同じ方式
  • 0製品公開価格あり
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ウェーハ外観検査装置 ZI-2000​の強みと方式

比較検査方式なので事前の学習画像がいらず、新しいウェーハでもすぐ検査に入れます。ウェーハ前工程の工程内検査から最終外観検査まで使えます。Real-Time ADCで、検査終了と同時に必要な結果だけを確認できます。

向いている所前工程から最終外観までの検査

方式：外観・表面検査

パターン付きウェーハやベアウェーハの外観と表面の欠陥を見つける型です。パターン同士を比べる比較検査、ラインセンサで全面を見る検査、レーザーの散乱光を拾う検査などがあります。

ウェーハ外観検査装置 ZI-2000​の仕様

方式
外観・表面検査
検査方式
比較検査方式（Die to Die、Cell to Cell）
検査の対象
パターン付きウェーハ
ウェーハ径
直径76mm〜200mm
検出感度・分解能
光学分解能1.5μm×1.5μm
検査速度
—公式資料で確認できず
見つける欠陥
—公式資料で確認できず
価格
—公式資料で確認できず
光源・ビーム
RGB 3色LED照明
外形寸法
1,400mm×1,250mm×2,030mm
質量
—公式資料で確認できず

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

ウェーハ外観検査装置 ZI-2000株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズウェーハ外観検査装置 Vi-4207タカノ株式会社ウェーハ表面検査装置 WM-10R+タカノ株式会社
方式外観・表面検査外観・表面検査外観・表面検査
検査方式比較検査方式（Die to Die、Cell to Cell）—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
検査の対象パターン付きウェーハCMOSイメージセンサー、パワーデバイス、RFフィルター、MEMS、ガラス、TAIKOウェーハベアウェーハ
ウェーハ径直径76mm〜200mm2〜8inch4〜12inch
検出感度・分解能光学分解能1.5μm×1.5μm—公式資料で確認できず48nm（Bare-Si）
検査速度—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
見つける欠陥—公式資料で確認できず配線パターン、クラック、異物混入パーティクルなど
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
光源・ビームRGB 3色LED照明—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
外形寸法1,400mm×1,250mm×2,030mmW1880×D1140×H2060mmW1530×D1242×H1955mm
質量—公式資料で確認できず1650kg—公式資料で確認できず

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ウェーハ外観検査装置 ZI-2000​のよくある質問

Q.ウェーハ外観検査装置 ZI-2000はどんな人に向いている？
ウェーハ外観検査装置 ZI-2000は、前工程から最終外観までの検査に使う人向けです。ウェーハ外観検査装置 ZI-2000は、比較検査方式なので事前の学習画像がいらず、新しいウェーハでもすぐ検査に入れます。
Q.ウェーハ外観検査装置 ZI-2000の強みは？
ウェーハ外観検査装置 ZI-2000は、ウェーハ前工程の工程内検査から最終外観検査まで使えます。Real-Time ADCで、検査終了と同時に必要な結果だけを確認できます。
Q.ウェーハ外観検査装置 ZI-2000はどんな方式？
ウェーハ外観検査装置 ZI-2000の方式は外観・表面検査です。パターン付きウェーハやベアウェーハの外観と表面の欠陥を見つける型です。
Q.ウェーハ外観検査装置 ZI-2000の主な仕様は？
ウェーハ外観検査装置 ZI-2000の検査方式は比較検査方式（Die to Die、Cell to Cell⁠）⁠、検査の対象はパターン付きウェーハです。ウェーハ径は直径76mm〜200mm、検出感度・分解能は光学分解能1.5μm×1.5μmです。
Q.ウェーハ外観検査装置 ZI-2000とウェーハ外観検査装置 Vi-4207はどっちがいい？
前工程から最終外観までの検査ならウェーハ外観検査装置 ZI-2000、パワーデバイスやMEMSの外観検査ならタカノのウェーハ外観検査装置 Vi-4207です。ウェーハ外観検査装置 ZI-2000の検査方式は比較検査方式（Die to Die、Cell to Cell⁠）⁠、検査の対象はパターン付きウェーハです。タカノのウェーハ外観検査装置 Vi-4207の検査の対象はCMOSイメージセンサー、パワーデバイス、RFフィルター、MEMS、ガラス、TAIKOウェーハ、ウェーハ径は2〜8inchです。
Q.ウェーハ外観検査装置 ZI-2000の外形寸法は？
ウェーハ外観検査装置 ZI-2000の外形寸法は1,400mm×1,250mm×2,030mmです。タカノのウェーハ外観検査装置 Vi-4207の外形寸法はW1880×D1140×H2060mmです。
Q.ウェーハ外観検査装置 ZI-2000とウェーハ表面検査装置 WM-10R+はどっちがいい？
前工程から最終外観までの検査ならウェーハ外観検査装置 ZI-2000、ベアウェーハのパーティクル管理ならタカノのウェーハ表面検査装置 WM-10R+です。ウェーハ外観検査装置 ZI-2000の検査方式は比較検査方式（Die to Die、Cell to Cell⁠）⁠、検査の対象はパターン付きウェーハです。タカノのウェーハ表面検査装置 WM-10R+の検査の対象はベアウェーハ、ウェーハ径は4〜12inchです。
Q.ウェーハ外観検査装置 ZI-2000のほかにSCREENセミコンダクターソリューションズのウエハ検査装置はある？
あります。SCREENセミコンダクターソリューションズのウエハ検査装置には、ウェーハ外観検査装置 ZI-2000のほかにウェーハ外観検査装置 ZI-3600（検査方式はラインセンサによる全面検査）があります。
Q.ウェーハ外観検査装置 ZI-2000はどこのメーカー？
ウェーハ外観検査装置 ZI-2000は株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズの製品です。SCREENセミコンダクターソリューションズの主な製品分野は半導体洗浄装置・ウエハ検査装置です。

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