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ウエハ検査装置外観・表面検査

ウェーハ表面検査装置 WM-10R+

タカノ株式会社

4〜12inchのベアウェーハ表面を48nmの感度で検査する装置。

価格
公開価格なし（見積もり）
方式
外観・表面検査
向いている所
ベアウェーハのパーティクル管理
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比較表での位置

ウェーハ表面検査装置 WM-10R+は、ウエハ検査装置のメーカー8社比較⁠の方式「外観・表面検査」の8製品の1つとして載っています。

  • 8社掲載社数
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ウェーハ表面検査装置 WM-10R+の強みと方式

パターンのないウェーハ表面のパーティクルを調べ、装置と工程の管理に使う型です。Bare-Siの最高検出感度は48nm、ウェーハは4〜12inchです。

向いている所ベアウェーハのパーティクル管理

方式：外観・表面検査

パターン付きウェーハやベアウェーハの外観と表面の欠陥を見つける型です。パターン同士を比べる比較検査、ラインセンサで全面を見る検査、レーザーの散乱光を拾う検査などがあります。

ウェーハ表面検査装置 WM-10R+の仕様

方式
外観・表面検査
検査方式
—公式資料で確認できず
検査の対象
ベアウェーハ
ウェーハ径
4〜12inch
検出感度・分解能
48nm（Bare-Si）
検査速度
—公式資料で確認できず
見つける欠陥
パーティクルなど
価格
—公式資料で確認できず
光源・ビーム
—公式資料で確認できず
外形寸法
W1530×D1242×H1955mm
質量
—公式資料で確認できず

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

ウェーハ表面検査装置 WM-10R+タカノ株式会社シリコンウェーハ検査装置 MS-1000株式会社ナノシステムソリューションズウエハ外観検査装置 AURCA-Sシリーズニデックアドバンステクノロジー株式会社
方式外観・表面検査外観・表面検査外観・表面検査
検査方式—公式資料で確認できず光学式、画像処理フルカラー高速スキャン、AI解析
検査の対象ベアウェーハシリコンウェーハ、ガラス基板ロジックIC、メモリー、LED、CIS、MEMS
ウェーハ径4〜12inch—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
検出感度・分解能48nm（Bare-Si）—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
検査速度—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
見つける欠陥パーティクルなどキズ、欠け、クラック、パーティクル、内部欠陥プローブマーク、バンプ、TSV、エッジチッピング、接着剤など
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
光源・ビーム—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
外形寸法W1530×D1242×H1955mm—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
質量—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず

ウエハ検査装置の14製品を比較表で見る

ウェーハ表面検査装置 WM-10R+のよくある質問

Q.ウェーハ表面検査装置 WM-10R+はどんな人に向いている？
ウェーハ表面検査装置 WM-10R+は、ベアウェーハのパーティクル管理に使う人向けです。ウェーハ表面検査装置 WM-10R+は、パターンのないウェーハ表面のパーティクルを調べ、装置と工程の管理に使う型です。Bare-Siの最高検出感度は48nm、ウェーハは4〜12inchです。
Q.ウェーハ表面検査装置 WM-10R+はどんな方式？
ウェーハ表面検査装置 WM-10R+の方式は外観・表面検査です。パターン付きウェーハやベアウェーハの外観と表面の欠陥を見つける型です。
Q.ウェーハ表面検査装置 WM-10R+の主な仕様は？
ウェーハ表面検査装置 WM-10R+の検査の対象はベアウェーハ、ウェーハ径は4〜12inchです。検出感度・分解能は48nm（Bare-Si）、見つける欠陥はパーティクルなどです。
Q.ウェーハ表面検査装置 WM-10R+とシリコンウェーハ検査装置 MS-1000はどっちがいい？
ベアウェーハのパーティクル管理ならウェーハ表面検査装置 WM-10R+、基板の外部欠陥と内部欠陥の検査ならナノシステムソリューションズのシリコンウェーハ検査装置 MS-1000です。ウェーハ表面検査装置 WM-10R+の検査の対象はベアウェーハ、ウェーハ径は4〜12inchです。ナノシステムソリューションズのシリコンウェーハ検査装置 MS-1000の検査方式は光学式、画像処理、検査の対象はシリコンウェーハ、ガラス基板です。
Q.ウェーハ表面検査装置 WM-10R+の外形寸法は？
ウェーハ表面検査装置 WM-10R+の外形寸法はW1530×D1242×H1955mmです。クボタのウェハ表面欠陥検査装置 K-LE-G200の外形寸法はW1,800×D2,100×H1,985mmです。
Q.ウェーハ表面検査装置 WM-10R+とウエハ外観検査装置 AURCA-Sシリーズはどっちがいい？
ベアウェーハのパーティクル管理ならウェーハ表面検査装置 WM-10R+、AIで見逃しと過検出を抑える検査ならニデックアドバンステクノロジーのウエハ外観検査装置 AURCA-Sシリーズです。ウェーハ表面検査装置 WM-10R+の検査の対象はベアウェーハ、ウェーハ径は4〜12inchです。ニデックアドバンステクノロジーのウエハ外観検査装置 AURCA-Sシリーズの検査方式はフルカラー高速スキャン、AI解析、検査の対象はロジックIC、メモリー、LED、CIS、MEMSです。
Q.ウェーハ表面検査装置 WM-10R+のほかにタカノのウエハ検査装置はある？
あります。タカノのウエハ検査装置には、ウェーハ表面検査装置 WM-10R+のほかにウェーハ外観検査装置 Vi-4207（検査の対象はCMOSイメージセンサー、パワーデバイス、RFフィルター、MEMS、ガラス、TAIKOウェーハ）があります。
Q.ウェーハ表面検査装置 WM-10R+はどこのメーカー？
ウェーハ表面検査装置 WM-10R+はタカノ株式会社の製品です。登記上の本店は〒399-4301 長野県上伊那郡宮田村137番地。タカノの主な製品分野はオーニング・ソレノイドアクチュエータ・ウエハ検査装置です。

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    出典
    1. タカノ株式会社 公式
    2. gBizINFO（経済産業省） 法人情報
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