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ウエハ検査装置電子線式

電子線式ウェーハパターン検査装置 NGR5500

東レエンジニアリング先端半導体MIテクノロジー株式会社

加速電圧50kVの電子線で広い視野の画像を取るウェーハパターン検査装置。

価格
公開価格なし（見積もり）
方式
電子線式
向いている所
多層メモリのパターン検査
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比較表での位置

電子線式ウェーハパターン検査装置 NGR5500は、ウエハ検査装置のメーカー8社比較⁠の方式「電子線式」の1製品の1つとして載っています。

  • 8社掲載社数
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  • 1製品同じ方式
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電子線式ウェーハパターン検査装置 NGR5500​の強みと方式

電子の加速電圧を50kVまで上げた電子線式で、高層化が進むデバイスでも高画質の画像を取れます。広い視野で多点を測るので、パターン検査と寸法計測を同じ装置で進められます。

向いている所多層メモリのパターン検査

方式：電子線式

電子線で撮った画像でパターンの欠陥を見つけ、寸法も測る型です。設計データと比べる方式で、微細なパターンの検査に使います。

電子線式ウェーハパターン検査装置 NGR5500​の仕様

方式
電子線式
検査方式
Die to Database、広視野電子顕微鏡画像
検査の対象
NANDメモリー、DRAMメモリー、ロジック半導体
ウェーハ径
直径300mm（SEMI規格Vノッチウェーハ）
検出感度・分解能
—公式資料で確認できず
検査速度
—公式資料で確認できず
見つける欠陥
パターン欠陥、パターン寸法
価格
—公式資料で確認できず
光源・ビーム
電子線（加速電圧50kV）
外形寸法
—公式資料で確認できず
質量
—公式資料で確認できず

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

電子線式ウェーハパターン検査装置 NGR5500東レエンジニアリング先端半導体MIテクノロジー株式会社ウェーハエッジ自動欠陥検査装置 RXW-1200株式会社オプティマウェハエッジ検査装置 CIELシリーズレーザーテック株式会社
方式電子線式エッジ検査エッジ検査
検査方式Die to Database、広視野電子顕微鏡画像—公式資料で確認できず3D測定機能あり
検査の対象NANDメモリー、DRAMメモリー、ロジック半導体Siウェーハ半導体デバイス工程のウェハ
ウェーハ径直径300mm（SEMI規格Vノッチウェーハ）—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
検出感度・分解能—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
検査速度—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず高スループットモードあり
見つける欠陥パターン欠陥、パターン寸法ウェーハエッジ部の欠陥の検出と分類、寸法計測ウェハエッジ・ベベル部の欠陥
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
光源・ビーム電子線（加速電圧50kV）—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
外形寸法—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
質量—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず

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電子線式ウェーハパターン検査装置 NGR5500​のよくある質問

Q.電子線式ウェーハパターン検査装置 NGR5500はどんな人に向いている？
電子線式ウェーハパターン検査装置 NGR5500は、多層メモリのパターン検査に使う人向けです。電子線式ウェーハパターン検査装置 NGR5500は、電子の加速電圧を50kVまで上げた電子線式で、高層化が進むデバイスでも高画質の画像を取れます。広い視野で多点を測るので、パターン検査と寸法計測を同じ装置で進められます。
Q.電子線式ウェーハパターン検査装置 NGR5500はどんな方式？
電子線式ウェーハパターン検査装置 NGR5500の方式は電子線式です。電子線で撮った画像でパターンの欠陥を見つけ、寸法も測る型です。
Q.電子線式ウェーハパターン検査装置 NGR5500の主な仕様は？
電子線式ウェーハパターン検査装置 NGR5500の検査方式はDie to Database、広視野電子顕微鏡画像、検査の対象はNANDメモリー、DRAMメモリー、ロジック半導体です。ウェーハ径は直径300mm（SEMI規格Vノッチウェーハ）、見つける欠陥はパターン欠陥、パターン寸法です。
Q.電子線式ウェーハパターン検査装置 NGR5500とウェーハエッジ自動欠陥検査装置 RXW-1200はどっちがいい？
多層メモリのパターン検査なら電子線式ウェーハパターン検査装置 NGR5500、ラインに組み込むエッジ検査ならオプティマのウェーハエッジ自動欠陥検査装置 RXW-1200です。電子線式ウェーハパターン検査装置 NGR5500の検査方式はDie to Database、広視野電子顕微鏡画像、検査の対象はNANDメモリー、DRAMメモリー、ロジック半導体です。オプティマのウェーハエッジ自動欠陥検査装置 RXW-1200の検査の対象はSiウェーハ、見つける欠陥はウェーハエッジ部の欠陥の検出と分類、寸法計測です。
Q.電子線式ウェーハパターン検査装置 NGR5500の光源・ビームは？
電子線式ウェーハパターン検査装置 NGR5500の光源・ビームは電子線（加速電圧50kV）⁠で⁠す⁠。クボタのハイブリット型表面欠陥検査装置 K-HB-G100の光源・ビームはレーザー波長405nmです。
Q.電子線式ウェーハパターン検査装置 NGR5500とウェハエッジ検査装置 CIELシリーズはどっちがいい？
多層メモリのパターン検査なら電子線式ウェーハパターン検査装置 NGR5500、エッジ・ベベル部の工程監視ならレーザーテックのウェハエッジ検査装置 CIELシリーズです。電子線式ウェーハパターン検査装置 NGR5500の検査方式はDie to Database、広視野電子顕微鏡画像、検査の対象はNANDメモリー、DRAMメモリー、ロジック半導体です。レーザーテックのウェハエッジ検査装置 CIELシリーズの検査方式は3D測定機能あり、検査の対象は半導体デバイス工程のウェハです。
Q.電子線式ウェーハパターン検査装置 NGR5500のほかに東レエンジニアリング先端半導体MIテクノロジーのウエハ検査装置はある？
あります。東レエンジニアリング先端半導体MIテクノロジーのウエハ検査装置には、電子線式ウェーハパターン検査装置 NGR5500のほかに蛍光検査装置 INSPECTRA PLシリーズ（検査方式はPL蛍光画像による自動検査）があります。
Q.電子線式ウェーハパターン検査装置 NGR5500はどこのメーカー？
電子線式ウェーハパターン検査装置 NGR5500は東レエンジニアリング先端半導体MIテクノロジー株式会社の製品です。電子線式と光学式の半導体ウェーハ検査装置を扱う会社で、本社は神奈川県横浜市にあります。

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    1. 東レエンジニアリング先端半導体MIテクノロジー株式会社 公式
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