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ウエハ検査装置エッジ検査

ウェーハエッジ自動欠陥検査装置 RXW-1200

株式会社オプティマ

Siウェーハのエッジ欠陥の検出・分類と寸法計測を行うインライン検査装置。

価格
公開価格なし（見積もり）
方式
エッジ検査
向いている所
ラインに組み込むエッジ検査
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比較表での位置

ウェーハエッジ自動欠陥検査装置 RXW-1200は、ウエハ検査装置のメーカー8社比較⁠の方式「エッジ検査」の2製品の1つとして載っています。

  • 8社掲載社数
  • 14製品比較表の製品
  • 2製品同じ方式
  • 0製品公開価格あり
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ウェーハエッジ自動欠陥検査装置 RXW-1200​の強みと方式

ウェーハ端部の欠陥の検出と分類に、決めた部位の寸法計測まで加えたインライン検査装置です。Siウェーハの製造工程とデバイス製造工程の両方で使います。

向いている所ラインに組み込むエッジ検査

方式：エッジ検査

ウェーハの縁とベベル部に絞って欠陥を見つける型です。欠陥の分類や寸法計測、3D測定までできる機種があります。

ウェーハエッジ自動欠陥検査装置 RXW-1200​の仕様

方式
エッジ検査
検査方式
—公式資料で確認できず
検査の対象
Siウェーハ
ウェーハ径
—公式資料で確認できず
検出感度・分解能
—公式資料で確認できず
検査速度
—公式資料で確認できず
見つける欠陥
ウェーハエッジ部の欠陥の検出と分類、寸法計測
価格
—公式資料で確認できず
光源・ビーム
—公式資料で確認できず
外形寸法
—公式資料で確認できず
質量
—公式資料で確認できず

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

ウェーハエッジ自動欠陥検査装置 RXW-1200株式会社オプティマウェハエッジ検査装置 CIELシリーズレーザーテック株式会社ハイブリット型表面欠陥検査装置 K-HB-G100株式会社クボタ
方式エッジ検査エッジ検査SiC・GaN用
検査方式—公式資料で確認できず3D測定機能ありレーザー散乱方式、正反射方式、微分干渉顕微鏡
検査の対象Siウェーハ半導体デバイス工程のウェハSi、SiC、LT、LN、サファイア、SiC/Siなど
ウェーハ径—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず4・6・8inch
検出感度・分解能—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
検査速度—公式資料で確認できず高スループットモードあり約91秒（6inch、10umピッチ）
見つける欠陥ウェーハエッジ部の欠陥の検出と分類、寸法計測ウェハエッジ・ベベル部の欠陥パーティクル、スクラッチ、ピット、バンプなど
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
光源・ビーム—公式資料で確認できず—公式資料で確認できずレーザー波長405nm
外形寸法—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
質量—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず

ウエハ検査装置の14製品を比較表で見る

ウェーハエッジ自動欠陥検査装置 RXW-1200​のよくある質問

Q.ウェーハエッジ自動欠陥検査装置 RXW-1200はどんな人に向いている？
ウェーハエッジ自動欠陥検査装置 RXW-1200は、ラインに組み込むエッジ検査に使う人向けです。ウェーハエッジ自動欠陥検査装置 RXW-1200は、ウェーハ端部の欠陥の検出と分類に、決めた部位の寸法計測まで加えたインライン検査装置です。Siウェーハの製造工程とデバイス製造工程の両方で使います。
Q.ウェーハエッジ自動欠陥検査装置 RXW-1200はどんな方式？
ウェーハエッジ自動欠陥検査装置 RXW-1200の方式はエッジ検査です。ウェーハの縁とベベル部に絞って欠陥を見つける型です。
Q.ウェーハエッジ自動欠陥検査装置 RXW-1200の主な仕様は？
ウェーハエッジ自動欠陥検査装置 RXW-1200の検査の対象はSiウェーハ、見つける欠陥はウェーハエッジ部の欠陥の検出と分類、寸法計測です。
Q.ウェーハエッジ自動欠陥検査装置 RXW-1200とウェハエッジ検査装置 CIELシリーズはどっちがいい？
ラインに組み込むエッジ検査ならウェーハエッジ自動欠陥検査装置 RXW-1200、エッジ・ベベル部の工程監視ならレーザーテックのウェハエッジ検査装置 CIELシリーズです。ウェーハエッジ自動欠陥検査装置 RXW-1200の検査の対象はSiウェーハ、見つける欠陥はウェーハエッジ部の欠陥の検出と分類、寸法計測です。レーザーテックのウェハエッジ検査装置 CIELシリーズの検査方式は3D測定機能あり、検査の対象は半導体デバイス工程のウェハです。
Q.ウェーハエッジ自動欠陥検査装置 RXW-1200とハイブリット型表面欠陥検査装置 K-HB-G100はどっちがいい？
ラインに組み込むエッジ検査ならウェーハエッジ自動欠陥検査装置 RXW-1200、SiCや透明基板の表面欠陥検査ならクボタのハイブリット型表面欠陥検査装置 K-HB-G100です。ウェーハエッジ自動欠陥検査装置 RXW-1200の検査の対象はSiウェーハ、見つける欠陥はウェーハエッジ部の欠陥の検出と分類、寸法計測です。クボタのハイブリット型表面欠陥検査装置 K-HB-G100の検査方式はレーザー散乱方式、正反射方式、微分干渉顕微鏡、検査の対象はSi、SiC、LT、LN、サファイア、SiC/Siなどです。
Q.ウェーハエッジ自動欠陥検査装置 RXW-1200はどこのメーカー？
ウェーハエッジ自動欠陥検査装置 RXW-1200は株式会社オプティマの製品です。半導体ウェーハ検査装置・測定装置の開発、製造及び販売を行う会社です。

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    出典
    1. 株式会社オプティマ 公式
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