イメージ半導体洗浄装置株式会社
SiC対応枚葉洗浄装置
ナノテックラップや
対応ウェーハ径
イメージ半導体洗浄装置
ブラシスクラブプロセッサ BSP
ダイキンロールブラシで
- 価格
- 公開価格なし
（見積もり） - 主な仕様
- 対応ウェーハ径
4インチ・ 6インチ・ 8インチ - 方式
- スクラバー
（ブラシ洗浄） - 向いている所
- 径の
違うウエーハの 両面スクラブ
比較表での位置
ブラシ
- 9社掲載社数
- 14製品比較表の製品
- 3製品同じ方式
- 0製品公開価格あり
ブラシスクラブプロセッサ BSPの強みと方式
表と
向いている所径の
方式：スクラバー（ブラシ洗浄）
回る
ブラシスクラブプロセッサ BSPの仕様
- 方式
- スクラバー
（ブラシ洗浄） - 方式
- 枚葉式
（シングルブラシスクラブ） - 対応ウェーハ径
- 4インチ・
6インチ・ 8インチ - 処理能力
- —公式資料で
確認できず - 洗い方
- ロールブラシで両面、
2流体 - 乾燥
- —公式資料で
確認できず - 価格
- —公式資料で
確認できず - 対象の基板
- —公式資料で
確認できず - 装置の構成
- L/Dと
スクラブ ユニット を2ライン - 落とせる粒子
- —公式資料で
確認できず - 使う工程
- MEMS・LEDの
ウエーハ投入前の パーティクル除去
同じ種類の他社製品との違い
製品の特徴ごとの分類
| ブラシ | SiC対応枚葉洗浄装置 | 研磨後洗浄装置 SC300-CC芝浦 | |
|---|---|---|---|
| 方式 | スクラバー | スクラバー | スクラバー |
| 方式 | 枚葉式 | 枚葉式 | 枚葉式 |
| 対応ウェーハ径 | 4インチ・ | 6インチ・ | 300mm |
| 処理能力 | —公式資料で | 6インチは | —公式資料で |
| 洗い方 | ロールブラシで両面、 | 両面 | 両面自公転 |
| 乾燥 | —公式資料で | スピン乾燥 | 乾かして |
| 価格 | —公式資料で | —公式資料で | —公式資料で |
| 対象の基板 | —公式資料で | SiC | —公式資料で |
| 装置の構成 | L/Dと | 工程ごとに | 研磨機に連結 |
| 落とせる粒子 | —公式資料で | —公式資料で | 19nm以下 |
| 使う工程 | MEMS・LEDの | ラップ・ | 研磨後洗浄 |
ブラシスクラブプロセッサ BSPのよくある質問
Q.ブラシスクラブプロセッサ BSPはどんな人に向いている？
ブラシスクラブプロセッサ BSPは、径の違うウエーハの両面スクラブに使う人向けです。ブラシスクラブプロセッサ BSPは、表と裏を同時にロールブラシで洗うシングルブラシスクラブ 装置です。
Q.ブラシスクラブプロセッサ BSPの強みは？
ブラシスクラブプロセッサ BSPは、4インチと6インチ、6インチと8インチのウエーハを段取り替えなしで流せます。PVAブラシのほか、ウレタンブラシにも替えられます。
Q.ブラシスクラブプロセッサ BSPはどんな方式？
ブラシスクラブプロセッサ BSPの方式はスクラバー（ブラシ洗浄）です。回るブラシでウェーハの表と裏をこすり、大きめのパーティクルを落とします。
Q.ブラシスクラブプロセッサ BSPの主な仕様は？
ブラシスクラブプロセッサ BSPの対応ウェーハ径は4インチ・6インチ・8インチ、方式は枚葉式（シングルブラシスクラブ）です。洗い方はロールブラシで両面、2流体、装置の構成はL/Dとスクラブユニット を2ラインです。
Q.ブラシスクラブプロセッサ BSPとSiC対応枚葉洗浄装置はどっちがいい？
径の違うウエーハの両面スクラブならブラシスクラブプロセッサ BSP、ラップ・研磨後のSiCウエハの洗浄ならナノテックのSiC対応枚葉洗浄装置です。ブラシスクラブプロセッサ BSPの対応ウェーハ径は4インチ・6インチ・8インチ、方式は枚葉式（シングルブラシスクラブ）です。ナノテックのSiC対応枚葉洗浄装置の対応ウェーハ径は6インチ・8インチ、方式は枚葉式です。
Q.ブラシスクラブプロセッサ BSPの使う工程は？
ブラシスクラブプロセッサ BSPの使う工程はMEMS・LEDのウエーハ投入前のパーティクル除去です。ナノテックのSiC対応枚葉洗浄装置の使う工程はラップ・研磨後の洗浄です。
Q.ブラシスクラブプロセッサ BSPと研磨後洗浄装置 SC300-CCはどっちがいい？
径の違うウエーハの両面スクラブならブラシスクラブプロセッサ BSP、研磨機につないだ研磨後洗浄なら芝浦メカトロニクスの研磨後洗浄装置 SC300-CCです。ブラシスクラブプロセッサ BSPの対応ウェーハ径は4インチ・6インチ・8インチ、方式は枚葉式（シングルブラシスクラブ）です。芝浦メカトロニクスの研磨後洗浄装置 SC300-CCの対応ウェーハ径は300mm、方式は枚葉式です。
Q.ブラシスクラブプロセッサ BSPのほかにダイキンファインテック の半導体洗浄装置はある？
あります。ダイキンファインテック の半導体洗浄装置には、ブラシスクラブプロセッサ BSPのほかにウエーハ乾燥機 スピンドライヤー （対応ウェーハ径は3〜8インチ）があります。
Q.ブラシスクラブプロセッサ BSPはどこのメーカー？
ブラシスクラブプロセッサ BSPはダイキンファインテック 株式会社の製品です。奈良県大和郡山市に本社と工場を置き、半導体洗浄装置・MEMS洗浄装置を作る会社です。
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