イメージイメージ半導体洗浄装置枚葉式
ファイナル洗浄装置 SC300-FC
芝浦メカトロニクス19nm以下の
- 価格
- 公開価格なし
（見積もり） - 主な仕様
- 対応ウェーハ径
300mm - 方式
- 枚葉式
- 向いている所
- 工程間洗浄と
最終洗浄
比較表での位置
ファイナル
- 9社掲載社数
- 14製品比較表の製品
- 5製品同じ方式
- 0製品公開価格あり
ファイナル洗浄装置 SC300-FCの強みと方式
ウェーハの
向いている
方式：枚葉式
ウェーハを
ファイナル洗浄装置 SC300-FCの仕様
- 方式
- 枚葉式
- 方式
- 枚葉式
- 対応ウェーハ径
- 300mm
- 処理能力
- —公式資料で
確認できず - 洗い方
- —公式資料で
確認できず - 乾燥
- —公式資料で
確認できず - 価格
- —公式資料で
確認できず - 対象の基板
- —公式資料で
確認できず - 装置の構成
- 最大8チャンバー
- 落とせる粒子
- 19nm以下
- 使う工程
- 工程間洗浄、
最終洗浄
同じ種類の他社製品との違い
製品の特徴ごとの分類
| ファイナル | 枚葉式洗浄装置 HTS-300株式会社 | 枚葉式洗浄装置 SU-3400株式会社 | |
|---|---|---|---|
| 方式 | 枚葉式 | 枚葉式 | 枚葉式 |
| 方式 | 枚葉式 | 枚葉式 | 枚葉式 |
| 対応ウェーハ径 | 300mm | 300mm | 300mm |
| 処理能力 | —公式資料で | ストリップ | 毎時 |
| 洗い方 | —公式資料で | 赤外線 | —公式資料で |
| 乾燥 | —公式資料で | —公式資料で | —公式資料で |
| 価格 | —公式資料で | —公式資料で | —公式資料で |
| 対象の基板 | —公式資料で | —公式資料で | —公式資料で |
| 装置の構成 | 最大8チャンバー | 薬液は | 最大24チャンバ、 |
| 落とせる粒子 | 19nm以下 | —公式資料で | —公式資料で |
| 使う工程 | 工程間洗浄、 | ストリップ処理 | —公式資料で |
ファイナル洗浄装置 SC300-FCのよくある質問
Q.ファイナル洗浄装置 SC300-FCはどんな人に向いている？
ファイナル洗浄装置 SC300-FCは、工程間洗浄と最終洗浄に使う人向けです。ファイナル洗浄装置 SC300-FCは、ウェーハの保持機構を新しくし、端面の清浄度まで上げた枚葉式の最終洗浄装置です。
Q.ファイナル洗浄装置 SC300-FCの強みは？
ファイナル洗浄装置 SC300-FCは、19nm以下の微細パーティクルに対応します。最大8チャンバーまで組めます。
Q.ファイナル洗浄装置 SC300-FCはどんな方式？
ファイナル洗浄装置 SC300-FCの方式は枚葉式です。ウェーハを1枚ずつチャンバーに入れ、回しながら薬液と純水をかけて洗います。
Q.ファイナル洗浄装置 SC300-FCの主な仕様は？
ファイナル洗浄装置 SC300-FCの対応ウェーハ径は300mm、方式は枚葉式です。装置の構成は最大8チャンバー、落とせる粒子は19nm以下です。
Q.ファイナル洗浄装置 SC300-FCと枚葉式洗浄装置 HTS-300はどっちがいい？
工程間洗浄と最終洗浄ならファイナル洗浄装置 SC300-FC、高温の薬液で行うストリップ処理ならジェイ・イー・ティの枚葉式洗浄装置 HTS-300です。ファイナル洗浄装置 SC300-FCの対応ウェーハ径は300mm、方式は枚葉式です。ジェイ・イー・ティの枚葉式洗浄装置 HTS-300の対応ウェーハ径は300mm、方式は枚葉式です。
Q.ファイナル洗浄装置 SC300-FCの使う工程は？
ファイナル洗浄装置 SC300-FCの使う工程は工程間洗浄、最終洗浄です。ジェイ・イー・ティの枚葉式洗浄装置 HTS-300の使う工程はストリップ処理です。
Q.ファイナル洗浄装置 SC300-FCと枚葉式洗浄装置 SU-3400はどっちがいい？
工程間洗浄と最終洗浄ならファイナル洗浄装置 SC300-FC、300mmの量産ラインの枚葉洗浄ならSCREENセミコンダクターソリューションズの枚葉式洗浄装置 SU-3400です。ファイナル洗浄装置 SC300-FCの対応ウェーハ径は300mm、方式は枚葉式です。SCREENセミコンダクターソリューションズの枚葉式洗浄装置 SU-3400の対応ウェーハ径は300mm、方式は枚葉式です。
Q.ファイナル洗浄装置 SC300-FCのほかに芝浦メカトロニクスの半導体洗浄装置はある？
あります。芝浦メカトロニクスの半導体洗浄装置には、ファイナル洗浄装置 SC300-FCのほかに研磨後洗浄装置 SC300-CC（対応ウェーハ径は300mm）があります。
Q.ファイナル洗浄装置 SC300-FCはどこのメーカー？
ファイナル洗浄装置 SC300-FCは芝浦メカトロニクス株式会社の製品です。登記上の本店は〒247-0006 神奈川県横浜市栄区笠間2丁目5番1号。半導体製造装置・FPD製造装置・真空応用装置などを手がける会社です。
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