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SPUTTERING-SYSTEM / MZ-40805

スパッタリング装置 CFS-4EP-⁠LL芝浦メカトロニクス株式会社

スパッタ源を最大4個載せる、研究開発用のロードロック式スパッタリング装置です。

2026年10月30日確認

仕様

向いている所：大学・研究機関の成膜研究

種類
ロードロック・単室式
基板サイズ
—公式資料で確認できず
スパッタ源
最大4個（常磁場、強磁場を選べる）
室の構成
ロードロック式
到達圧力
—公式資料で確認できず
電源
—公式資料で確認できず
価格
—公式資料で確認できず
搬送
公転テーブル、自動供給機に対応
基板加熱
最高600℃加熱、水冷
寸法・⁠⁠⁠質量
—公式資料で確認できず
所要電源
—公式資料で確認できず
主な用途
半導体、電子部品、LED、LD、センサー、MEMS

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

口コミ

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出典（2026年10月30日確認）

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