光学膜用スパッタ成膜装置 NSC-⁠15株式会社オプトラン

仕様

向いている所：スマホ・車載の光学膜の量産

種類

ドラム・カルーセル式（バッチ）

基板サイズ

基板ホルダ13〜22枚から選べる

スパッタ源

デュアルカソード、ロータリ式

室の構成

ロードロック室W500mm×D800mm×H2890mm、成膜室直径1650mm×H1200mm

到達圧力

—公式資料で確認できず

電源

反応源はICP（誘導結合プラズマ）

価格

—公式資料で確認できず

搬送

直径1500mmのドラム式、毎分10〜100回転

基板加熱

—公式資料で確認できず

寸法・⁠⁠⁠質量

—公式資料で確認できず

所要電源

—公式資料で確認できず

主な用途

スマートフォン、自動車の光学膜

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

NSCシリーズにはNSC-2350・NSC-2500もあり、成膜室とドラムの大きさが違います。

同じ分類のほかの型番

スパッタ装置の14製品を比較表で見る