スパッタ装置 SC-701MkII ADVANCEサンユー電子株式会社

仕様

向いている所：SEM試料・電極膜の少量成膜

種類

卓上・研究用小型

基板サイズ

—公式資料で確認できず

スパッタ源

直径2インチDCマグネトロン、平板型電極

室の構成

内径直径90mm×奥行90mm、SUS製

到達圧力

—公式資料で確認できず

電源

DC

価格

—公式資料で確認できず

搬送

前面ドア開閉式

基板加熱

—公式資料で確認できず

寸法・⁠⁠⁠質量

本体W160mm×D450mm×H290mm、9kg

所要電源

—公式資料で確認できず

主な用途

電極膜付け、反射薄膜、SEM試料のタングステンコート

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

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