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SPUTTERING-SYSTEM / MZ-40800

スパッタリング装置 FC7100キヤノンアネルバ株式会社

12インチ基板に最大5モジュールを載せる、High-kメタルゲート向けのスパッタリング装置です。

2026年10月30日確認

仕様

向いている所：12インチのHigh-kメタルゲート

種類
マルチチャンバー（クラスター）⁠⁠⁠式
基板サイズ
直径12インチ
スパッタ源
—公式資料で確認できず
室の構成
最大5モジュール（エッチング⁠、酸化、加熱のモジュールも搭載可）
到達圧力
—公式資料で確認できず
電源
—公式資料で確認できず
価格
—公式資料で確認できず
搬送
—公式資料で確認できず
基板加熱
—公式資料で確認できず
寸法・⁠⁠⁠質量
—公式資料で確認できず
所要電源
—公式資料で確認できず
主な用途
ロジック、DRAM周辺回路、CMOSイメージセンサー

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

口コミ

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出典（2026年10月30日確認）

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