スパッタリング装置 SPH-2500T-Ⅱ株式会社昭和真空

仕様

向いている所：水晶振動子の電極の量産

種類

ロードロック・単室式

基板サイズ

—公式資料で確認できず

スパッタ源

ターゲットW126mm×H178mm×t6mm

室の構成

仕込室、成膜室の2室

到達圧力

—公式資料で確認できず

電源

—公式資料で確認できず

価格

—公式資料で確認できず

搬送

ラック＆ピニオン方式

基板加熱

—公式資料で確認できず

寸法・⁠⁠⁠質量

W1,100mm×D3,640mm×H1,680mm、1,900kg

所要電源

AC200〜220V（3相）、27kVA

主な用途

電子部品の電極用金属膜（水晶振動子のベース電極）

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

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