スパッタ装置 RAS-1100C株式会社シンクロン

仕様

向いている所：光学薄膜・樹脂基板の多層膜

種類

ドラム・カルーセル式（バッチ）

基板サイズ

基板ドラム直径1,100mm×230mm

スパッタ源

デュアルカソード、18×5インチの平板カソード

室の構成

CH-1（あらびき）、CH-2（14インチTMP×2）

到達圧力

—公式資料で確認できず

電源

ラジカル源はICP RF電源

価格

—公式資料で確認できず

搬送

—公式資料で確認できず

基板加熱

—公式資料で確認できず

寸法・⁠⁠⁠質量

—公式資料で確認できず

所要電源

—公式資料で確認できず

主な用途

光学薄膜、金属膜

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

RASシリーズにはRAS-1100BⅡ・RAS-1600plusもあり、ドラムの大きさとカソードの長さが違います。

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