RFスパッタ装置 SVC-700RF IIサンユー電子株式会社

仕様

向いている所：絶縁膜・酸化物膜の研究

種類

卓上・研究用小型

基板サイズ

—公式資料で確認できず

スパッタ源

Type-Ⅰは直径2インチ×3源と直径4インチ×1源、Type-Ⅱは直径4インチ×2源と直径6インチ×1源を追加

室の構成

Type-Ⅰは直径230mm×H200mm、SUS製

到達圧力

10-5Pa台

電源

RF 300W、13.56MHz

価格

—公式資料で確認できず

搬送

—公式資料で確認できず

基板加熱

オプションで300℃、600℃

寸法・⁠⁠⁠質量

本体W744mm×D595mm×H1046mm、約140kg

所要電源

単相100V、3kVA

主な用途

絶縁膜、酸化物薄膜

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

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