クラスタ型スパッタリング装置 INACO株式会社シンクロン

仕様

向いている所：高周波フィルター・MEMSの圧電膜

種類

マルチチャンバー（クラスター）⁠⁠⁠式

基板サイズ

—公式資料で確認できず

スパッタ源

円形全面エロージョンカソード（直径8インチのターゲット）

室の構成

ロードロック、搬送室、スパッタチャンバ標準4室

到達圧力

2.0×10-5未満（単位の記載なし）

電源

RF（13.56MHz）、DC、RF重畳DC

価格

—公式資料で確認できず

搬送

真空ウエハ搬送ロボット

基板加熱

最高600℃

寸法・⁠⁠⁠質量

—公式資料で確認できず

所要電源

—公式資料で確認できず

主な用途

高周波フィルター、MEMSの機能性薄膜、圧電材料

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

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