ロードロックスパッタリング装置 STL5321神港精機株式会社

仕様

向いている所：多層膜の連続成膜

種類

ロードロック・単室式

基板サイズ

トレー最大直径270mm、カセットに標準12枚

スパッタ源

直径100mmカソード3元

室の構成

カセット室、搬送室、成膜室（搬送室と成膜室は常時真空）

到達圧力

—公式資料で確認できず

電源

—公式資料で確認できず

価格

—公式資料で確認できず

搬送

—公式資料で確認できず

基板加熱

—公式資料で確認できず

寸法・⁠⁠⁠質量

—公式資料で確認できず

所要電源

—公式資料で確認できず

主な用途

多層膜

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

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