スパッタ重合装置 SPP-155TC株式会社昭和真空

仕様

向いている所：樹脂の装飾部品の量産

種類

ドラム・カルーセル式（バッチ）

基板サイズ

直径500mm×高さ1,200mmの範囲

スパッタ源

—公式資料で確認できず

室の構成

バッチ式（⁠カルーセル型）

到達圧力

—公式資料で確認できず

電源

120kW

価格

—公式資料で確認できず

搬送

—公式資料で確認できず

基板加熱

—公式資料で確認できず

寸法・⁠⁠⁠質量

W4,000mm×D4,000mm×H2,700mm、6,200kg

所要電源

AC200〜220V、約160kVA

主な用途

装飾膜（自動車内装部品、ヘッドランプリフレクター）

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

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