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株式会社
昭和真空
MAKER
株式会社
昭和真空
水晶デバイス
用・
光学薄膜用・
電子デバイス
用の
真空
装置を
つくる
会社です。
本社と
相模原工場は
神奈川県相模原市に
あります。
2製品を掲載
2026年10月30日
確認
スパッタ装置
2製品
スパッタリング
装置
SPH-2500T
-Ⅱ
ロードロック
・単室式
スパッタ重合装置
SPP-155TC
ドラム・
カルーセル式
(バッチ)
スパッタ装置の
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出典
(2026年10月30日確認)
株式会社
昭和真空
スパッタリング
装置
SPH-2500T
-Ⅱ
株式会社
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