マルチチャンバスパッタリング装置 STM4415神港精機株式会社

仕様

向いている所：開発から試作までの多層膜

種類

マルチチャンバー（クラスター）⁠⁠⁠式

基板サイズ

ウェハ直径76.2〜203.2mm、ガラス・セラミック板は対角203mmまで

スパッタ源

—公式資料で確認できず

室の構成

マルチチャンバ（各室を別々に保守できる）

到達圧力

—公式資料で確認できず

電源

—公式資料で確認できず

価格

—公式資料で確認できず

搬送

—公式資料で確認できず

基板加熱

—公式資料で確認できず

寸法・⁠⁠⁠質量

—公式資料で確認できず

所要電源

—公式資料で確認できず

主な用途

半導体、FPD、MEMS、先端表面実装

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

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