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芝浦メカトロニクス
株式会社
MAKER
芝浦メカトロニクス
株式会社
半導体製造装置・
FPD製造装置・
真
空
応用装置などを
手が
ける
会社です。
1製品を掲載
2026年10月28日
確認
スパッタ装置
1製品
スパッタリング
装置
CFS-4EP-LL
ロードロック
・単室式
スパッタ装置の
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8社
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出典
(2026年10月28日確認)
芝浦メカトロニクス
株式会社
高温リン酸
エッチング
装置
SC300-HT
芝浦メカトロニクス
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