イメージ半導体洗浄装置SCREENセミコンダクターソリューションズ
枚葉式洗浄装置 SU-3400
株式会社24チャンバを
対応ウェーハ径
イメージ半導体洗浄装置枚葉式
枚葉式洗浄装置 HTS-300
株式会社赤外線
- 価格
- 公開価格なし
（見積もり） - 主な仕様
- 対応ウェーハ径
300mm - 方式
- 枚葉式
- 向いている所
- 高温の
薬液で行う ストリップ処理
比較表での位置
枚葉式洗浄装置 HTS-300の強みと方式
赤外線
向いている所高温の
方式：枚葉式
ウェーハを
枚葉式洗浄装置 HTS-300の仕様
- 方式
- 枚葉式
- 方式
- 枚葉式
- 対応ウェーハ径
- 300mm
- 処理能力
- ストリップ
処理は最短30秒 - 洗い方
- 赤外線
ランプで ウエハ上の 薬液を加熱 - 乾燥
- —公式資料で
確認できず - 価格
- —公式資料で
確認できず - 対象の基板
- —公式資料で
確認できず - 装置の構成
- 薬液は
最小150cc、 最高240℃ - 落とせる粒子
- —公式資料で
確認できず - 使う工程
- ストリップ処理
同じ種類の他社製品との違い
製品の特徴ごとの分類
| 枚葉式洗浄装置 HTS-300株式会社 | 枚葉式洗浄装置 SU-3400株式会社 | 枚葉洗浄装置 CELLESTA-i東京 | |
|---|---|---|---|
| 方式 | 枚葉式 | 枚葉式 | 枚葉式 |
| 方式 | 枚葉式 | 枚葉式 | 枚葉式 |
| 対応ウェーハ径 | 300mm | 300mm | 300mm |
| 処理能力 | ストリップ | 毎時 | 毎時 |
| 洗い方 | 赤外線 | —公式資料で | —公式資料で |
| 乾燥 | —公式資料で | —公式資料で | Hot IPA乾燥 |
| 価格 | —公式資料で | —公式資料で | —公式資料で |
| 対象の基板 | —公式資料で | —公式資料で | Si |
| 装置の構成 | 薬液は | 最大24チャンバ、 | —公式資料で |
| 落とせる粒子 | —公式資料で | —公式資料で | —公式資料で |
| 使う工程 | ストリップ処理 | —公式資料で | 前後洗浄、 |
枚葉式洗浄装置 HTS-300のよくある質問
Q.枚葉式洗浄装置 HTS-300はどんな人に向いている？
枚葉式洗浄装置 HTS-300は、高温の薬液で行うストリップ処理に使う人向けです。枚葉式洗浄装置 HTS-300は、赤外線ランプでウエハ上の薬液を熱し、最高240℃で処理する枚葉式洗浄装置です。
Q.枚葉式洗浄装置 HTS-300の強みは？
枚葉式洗浄装置 HTS-300の薬液は最小150ccで済み、ストリップ処理は最短30秒です。ウエハを裏返して処理し、薬液の蒸気が広がるのを防ぎます。
Q.枚葉式洗浄装置 HTS-300はどんな方式？
枚葉式洗浄装置 HTS-300の方式は枚葉式です。ウェーハを1枚ずつチャンバーに入れ、回しながら薬液と純水をかけて洗います。
Q.枚葉式洗浄装置 HTS-300の主な仕様は？
枚葉式洗浄装置 HTS-300の対応ウェーハ径は300mm、方式は枚葉式です。処理能力はストリップ処理は最短30秒、洗い方は赤外線ランプでウエハ上の薬液を加熱です。
Q.枚葉式洗浄装置 HTS-300と枚葉式洗浄装置 SU-3400はどっちがいい？
高温の薬液で行うストリップ処理なら枚葉式洗浄装置 HTS-300、300mmの量産ラインの枚葉洗浄ならSCREENセミコンダクターソリューションズの枚葉式洗浄装置 SU-3400です。枚葉式洗浄装置 HTS-300の対応ウェーハ径は300mm、方式は枚葉式です。SCREENセミコンダクターソリューションズの枚葉式洗浄装置 SU-3400の対応ウェーハ径は300mm、方式は枚葉式です。
Q.枚葉式洗浄装置 HTS-300の装置の構成は？
枚葉式洗浄装置 HTS-300の装置の構成は薬液は最小150cc、最高240℃です。SCREENセミコンダクターソリューションズの枚葉式洗浄装置 SU-3400の装置の構成は最大24チャンバ、6段×4タワーです。
Q.枚葉式洗浄装置 HTS-300の使う工程は？
枚葉式洗浄装置 HTS-300の使う工程はストリップ処理です。東京エレクトロンの枚葉洗浄装置 CELLESTA-iの使う工程は前後洗浄、ウェットエッチングです。
Q.枚葉式洗浄装置 HTS-300と枚葉洗浄装置 CELLESTA-iはどっちがいい？
高温の薬液で行うストリップ処理なら枚葉式洗浄装置 HTS-300、300mmの前後洗浄とウェットエッチングなら東京エレクトロンの枚葉洗浄装置 CELLESTA-iです。枚葉式洗浄装置 HTS-300の対応ウェーハ径は300mm、方式は枚葉式です。東京エレクトロンの枚葉洗浄装置 CELLESTA-iの対応ウェーハ径は300mm、方式は枚葉式です。
Q.枚葉式洗浄装置 HTS-300のほかにジェイ・イー・ティの半導体洗浄装置はある？
あります。ジェイ・イー・ティの半導体洗浄装置には、枚葉式洗浄装置 HTS-300のほかにバッチ式洗浄装置 BW3700（対応ウェーハ径は300mm）があります。
Q.枚葉式洗浄装置 HTS-300はどこのメーカー？
枚葉式洗浄装置 HTS-300は株式会社ジェイ・イー・ティの製品です。岡山県浅口郡里庄町に本社を置き、半導体洗浄装置の開発・設計・製造・販売を行う会社です。
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