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スピンソニッククリーナー の強みと方式
ブラシを
向いている
方式：枚葉式
ウェーハを
スピンソニッククリーナー の仕様
- 方式
- 枚葉式
- 方式
- 枚葉式
（ウェーハ横置き） - 対応ウェーハ径
- —公式資料で
確認できず - 処理能力
- —公式資料で
確認できず - 洗い方
- 400kHz
ファインジェット、 非接触 - 乾燥
- 洗浄と
乾燥を 同じステージで行う - 価格
- —公式資料で
確認できず - 対象の基板
- —公式資料で
確認できず - 装置の構成
- 常温で処理
（ヒーターなし） - 落とせる粒子
- サブミクロン
- 使う工程
- エピ前後、
CMP後、 成膜前後の洗浄
同じ種類の他社製品との違い
製品の特徴ごとの分類
| スピンソニック | ファイナル | 枚葉式洗浄装置 HTS-300株式会社 | |
|---|---|---|---|
| 方式 | 枚葉式 | 枚葉式 | 枚葉式 |
| 方式 | 枚葉式 | 枚葉式 | 枚葉式 |
| 対応ウェーハ径 | —公式資料で | 300mm | 300mm |
| 処理能力 | —公式資料で | —公式資料で | ストリップ |
| 洗い方 | 400kHz | —公式資料で | 赤外線 |
| 乾燥 | 洗浄と | —公式資料で | —公式資料で |
| 価格 | —公式資料で | —公式資料で | —公式資料で |
| 対象の基板 | —公式資料で | —公式資料で | —公式資料で |
| 装置の構成 | 常温で処理 | 最大8チャンバー | 薬液は |
| 落とせる粒子 | サブミクロン | 19nm以下 | —公式資料で |
| 使う工程 | エピ前後、 | 工程間洗浄、 | ストリップ処理 |
スピンソニッククリーナー のよくある質問
Q.スピンソニッククリーナー はどんな人に向いている？
スピンソニッククリーナーは、エピ・CMP後の非接触洗浄に使う人向けです。スピンソニッククリーナーは、ブラシを使わず、400kHzのファインジェットでウェーハの両面を同時に洗う枚葉式です。
Q.スピンソニッククリーナー の強みは？
スピンソニッククリーナーは、常温で処理するのでヒーターを使わず、消費電力を抑えます。洗浄から乾燥まで1つのステージで済みます。
Q.スピンソニッククリーナー はどんな方式？
スピンソニッククリーナー の方式は枚葉式です。ウェーハを1枚ずつチャンバーに入れ、回しながら薬液と純水をかけて洗います。
Q.スピンソニッククリーナー の主な仕様は？
スピンソニッククリーナー の方式は枚葉式（ウェーハ横置き）、洗い方は400kHzファインジェット、非接触です。乾燥は洗浄と乾燥を同じステージで行う、装置の構成は常温で処理（ヒーターなし）です。
Q.スピンソニッククリーナー とファイナル洗浄装置 SC300-FCはどっちがいい？
エピ・CMP後の非接触洗浄ならスピンソニッククリーナー、工程間洗浄と最終洗浄なら芝浦メカトロニクスのファイナル洗浄装置 SC300-FCです。スピンソニッククリーナー の方式は枚葉式（ウェーハ横置き）、洗い方は400kHzファインジェット、非接触です。芝浦メカトロニクスのファイナル洗浄装置 SC300-FCの対応ウェーハ径は300mm、方式は枚葉式です。
Q.スピンソニッククリーナー の落とせる粒子は？
スピンソニッククリーナー の落とせる粒子はサブミクロンです。芝浦メカトロニクスのファイナル洗浄装置 SC300-FCの落とせる粒子は19nm以下です。
Q.スピンソニッククリーナー の使う工程は？
スピンソニッククリーナー の使う工程はエピ前後、CMP後、成膜前後の洗浄です。芝浦メカトロニクスのファイナル洗浄装置 SC300-FCの使う工程は工程間洗浄、最終洗浄です。
Q.スピンソニッククリーナー と枚葉式洗浄装置 HTS-300はどっちがいい？
エピ・CMP後の非接触洗浄ならスピンソニッククリーナー、高温の薬液で行うストリップ処理ならジェイ・イー・ティの枚葉式洗浄装置 HTS-300です。スピンソニッククリーナー の方式は枚葉式（ウェーハ横置き）、洗い方は400kHzファインジェット、非接触です。ジェイ・イー・ティの枚葉式洗浄装置 HTS-300の対応ウェーハ径は300mm、方式は枚葉式です。
Q.スピンソニッククリーナー はどこのメーカー？
スピンソニッククリーナー は株式会社プレテックの製品です。東京都府中市に本社を置き、半導体・フォトマスク向けの洗浄装置を手がける会社です。
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