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半導体洗浄装置バッチ式（ウェットステーション）

バッチ洗浄装置 EXPEDIUS-⁠i

東京エレクトロン株式会社

1回に最大50枚・毎時1,000枚の300mm用バッチ洗浄装置。

価格
公開価格なし（見積もり）
主な仕様
対応ウェーハ径300mm
方式
バッチ式（ウェットステーション）
向いている所
300mmのバッチ洗浄とSiN選択エッチング
公式の製品ページを見る比較表で見る

比較表での位置

バッチ洗浄装置 EXPEDIUS-iは、半導体洗浄装置のメーカー9社比較⁠の方式がバッチ式（ウェットステーション）の4製品の1つとして載っています。

  • 9社掲載社数
  • 14製品比較表の製品
  • 4製品同じ方式
  • 0製品公開価格あり
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バッチ洗浄装置 EXPEDIUS-i​の強みと方式

SiNの選択エッチングとエッチングの均一性を改善した、300mm用のバッチ洗浄装置です。1回に最大50枚をまとめて処理し、毎時1,000枚を流せます。処理槽を複数並べ、いろいろな薬液処理を組めます。

向いている所300mmのバッチ洗浄とSiN選択エッチング

方式：バッチ式（ウェットステーション）

キャリアに並べたウェーハを、薬液と純水の槽に順に浸けて洗います。50枚前後をまとめて流せるので、薬液あたりの処理枚数が多くなります。槽の数と並びは工程に合わせて組みます。

バッチ洗浄装置 EXPEDIUS-i​の仕様

方式
バッチ式（ウェットステーション）
方式
バッチ式
対応ウェーハ径
300mm
処理能力
毎時1,000枚
洗い方
—公式資料で確認できず
乾燥
New SD2
価格
—公式資料で確認できず
対象の基板
Si
装置の構成
1回に最大50枚、複数の処理槽
落とせる粒子
—公式資料で確認できず
使う工程
前後洗浄、ウェットエッチング、レジスト剥離

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

バッチ洗浄装置 EXPEDIUS-⁠i東京エレクトロン株式会社ウェーハ自動洗浄装置 SCC-250PHT株式会社バッチ式洗浄装置 BW3700株式会社ジェイ・イー・ティ
方式バッチ式（ウェットステーション）バッチ式（ウェットステーション）バッチ式（ウェットステーション）
方式バッチ式バッチ式バッチ式
対応ウェーハ径300mm直径200mm・300mm300mm
処理能力毎時1,000枚—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
洗い方—公式資料で確認できず—公式資料で確認できずリバースフローで液を置換
乾燥New SD2—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
対象の基板Siシリコン（SiCなどは別途打ち合わせ）—公式資料で確認できず
装置の構成1回に最大50枚、複数の処理槽処理槽はラインに合わせて決めるウエハ間ピッチ7mm
落とせる粒子—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
使う工程前後洗浄、ウェットエッチング、レジスト剥離—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず

半導体洗浄装置の14製品を比較表で見る

バッチ洗浄装置 EXPEDIUS-i​のよくある質問

Q.バッチ洗浄装置 EXPEDIUS-iはどんな人に向いている？
バッチ洗浄装置 EXPEDIUS-iは、300mmのバッチ洗浄とSiN選択エッチングに使う人向けです。バッチ洗浄装置 EXPEDIUS-iは、SiNの選択エッチングとエッチングの均一性を改善した、300mm用のバッチ洗浄装置です。
Q.バッチ洗浄装置 EXPEDIUS-iの強みは？
バッチ洗浄装置 EXPEDIUS-iは、1回に最大50枚をまとめて処理し、毎時1,000枚を流せます。処理槽を複数並べ、いろいろな薬液処理を組めます。
Q.バッチ洗浄装置 EXPEDIUS-iはどんな方式？
バッチ洗浄装置 EXPEDIUS-iの方式はバッチ式（ウェットステーション）で⁠す⁠。キャリアに並べたウェーハを、薬液と純水の槽に順に浸けて洗います。
Q.バッチ洗浄装置 EXPEDIUS-iの主な仕様は？
バッチ洗浄装置 EXPEDIUS-iの対応ウェーハ径は300mm、方式はバッチ式です。処理能力は毎時1,000枚、乾燥はNew SD2です。
Q.バッチ洗浄装置 EXPEDIUS-iとウェーハ自動洗浄装置 SCC-250はどっちがいい？
300mmのバッチ洗浄とSiN選択エッチングならバッチ洗浄装置 EXPEDIUS-i、ラインに合わせたバッチ洗浄ならPHTのウェーハ自動洗浄装置 SCC-250です。バッチ洗浄装置 EXPEDIUS-iの対応ウェーハ径は300mm、方式はバッチ式です。PHTのウェーハ自動洗浄装置 SCC-250の対応ウェーハ径は直径200mm・300mm、方式はバッチ式です。
Q.バッチ洗浄装置 EXPEDIUS-iの対象の基板は？
バッチ洗浄装置 EXPEDIUS-iの対象の基板はSiです。PHTのウェーハ自動洗浄装置 SCC-250の対象の基板はシリコン（SiCなどは別途打ち合わせ）で⁠⁠⁠⁠す⁠。
Q.バッチ洗浄装置 EXPEDIUS-iの装置の構成は？
バッチ洗浄装置 EXPEDIUS-iの装置の構成は1回に最大50枚、複数の処理槽です。PHTのウェーハ自動洗浄装置 SCC-250の装置の構成は処理槽はラインに合わせて決める。
Q.バッチ洗浄装置 EXPEDIUS-iとバッチ式洗浄装置 BW3700はどっちがいい？
300mmのバッチ洗浄とSiN選択エッチングならバッチ洗浄装置 EXPEDIUS-i、設置面積を抑えた300mmのバッチ洗浄ならジェイ・イー・ティのバッチ式洗浄装置 BW3700です。バッチ洗浄装置 EXPEDIUS-iの対応ウェーハ径は300mm、方式はバッチ式です。ジェイ・イー・ティのバッチ式洗浄装置 BW3700の対応ウェーハ径は300mm、方式はバッチ式です。
Q.バッチ洗浄装置 EXPEDIUS-iのほかに東京エレクトロンの半導体洗浄装置はある？
あります。東京エレクトロンの半導体洗浄装置には、バッチ洗浄装置 EXPEDIUS-iのほかに枚葉洗浄装置 CELLESTA-i（対応ウェーハ径は300mm）があります。
Q.バッチ洗浄装置 EXPEDIUS-iはどこのメーカー？
バッチ洗浄装置 EXPEDIUS-iは東京エレクトロン株式会社の製品です。半導体製造装置事業を手がける会社です。

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    出典
    1. 東京エレクトロン株式会社 公式
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