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半導体洗浄装置スピン乾燥機（スピンドライヤー）

スピンドライヤー SPDシリーズ

ジャパンクリエイト株式会社

300mm以下のウエハーをカセットごと乾かすスピンドライヤー。

価格
公開価格なし（見積もり）
主な仕様
対応ウェーハ径300mm以下
方式
スピン乾燥機（スピンドライヤー）
向いている所
カセットごとのスピン乾燥
公式の製品ページを見る比較表で見る

比較表での位置

スピンドライヤー SPDシリーズは、半導体洗浄装置のメーカー9社比較⁠の方式がスピン乾燥機（スピンドライヤー）の2製品の1つとして載っています。

  • 9社掲載社数
  • 14製品比較表の製品
  • 2製品同じ方式
  • 0製品公開価格あり
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スピンドライヤー SPDシリーズの強みと方式

ウエハーをカセットごと縦に入れて回す、手動装填のスピンドライヤーです。4キャリア型が基本で、8インチと12インチは2キャリア型です。乾燥の回転数は0〜1200rpmの間で変えられます。

向いている所カセットごとのスピン乾燥

方式：スピン乾燥機（スピンドライヤー）

洗ったウェーハをカセットごと、または1枚ずつ回して、水を飛ばして乾かします。洗浄装置とは別に置き、手で入れる型とラインに組み込む型があります。ウォータマークや割れを出さない回し方が大事です。

スピンドライヤー SPDシリーズの仕様

方式
スピン乾燥機（スピンドライヤー）
方式
スピン乾燥（カセットを縦に装填）
対応ウェーハ径
300mm以下
処理能力
4キャリア（8インチ・12インチは2キャリア）
洗い方
—公式資料で確認できず
乾燥
乾燥0〜1200rpm
価格
—公式資料で確認できず
対象の基板
—公式資料で確認できず
装置の構成
ULPAフィルタ0.1μm
落とせる粒子
—公式資料で確認できず
使う工程
—公式資料で確認できず

型式はSPD400・500・600・800・1200。

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

スピンドライヤー SPDシリーズジャパンクリエイト株式会社ウエーハ乾燥機 スピンドライヤーダイキンファインテック株式会社ファイナル洗浄装置 SC300-FC芝浦メカトロニクス株式会社
方式スピン乾燥機（スピンドライヤー）スピン乾燥機（スピンドライヤー）枚葉式
方式スピン乾燥（カセットを縦に装填）スピン乾燥枚葉式
対応ウェーハ径300mm以下3〜8インチ300mm
処理能力4キャリア（8インチ・12インチは2キャリア）—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
洗い方—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
乾燥乾燥0〜1200rpm—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
対象の基板—公式資料で確認できず厚み150〜725μm—公式資料で確認できず
装置の構成ULPAフィルタ0.1μmマニュアル型、インライン型最大8チャンバー
落とせる粒子—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず19nm以下
使う工程—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず工程間洗浄、最終洗浄

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スピンドライヤー SPDシリーズのよくある質問

Q.スピンドライヤー SPDシリーズはどんな人に向いている？
スピンドライヤー SPDシリーズは、カセットごとのスピン乾燥に使う人向けです。スピンドライヤー SPDシリーズは、ウエハーをカセットごと縦に入れて回す、手動装填のスピンドライヤーです。
Q.スピンドライヤー SPDシリーズの強みは？
スピンドライヤー SPDシリーズは、4キャリア型が基本で、8インチと12インチは2キャリア型です。乾燥の回転数は0〜1200rpmの間で変えられます。
Q.スピンドライヤー SPDシリーズはどんな方式？
スピンドライヤー SPDシリーズの方式はスピン乾燥機（スピンドライヤー）⁠で⁠す⁠。洗ったウェーハをカセットごと、または1枚ずつ回して、水を飛ばして乾かします。
Q.スピンドライヤー SPDシリーズの主な仕様は？
スピンドライヤー SPDシリーズの対応ウェーハ径は300mm以下、方式はスピン乾燥（カセットを縦に装填）⁠で⁠す⁠。処理能力は4キャリア（8インチ・12インチは2キャリア）、乾燥は乾燥0〜1200rpmです。
Q.スピンドライヤー SPDシリーズとウエーハ乾燥機 スピンドライヤーはどっちがいい？
カセットごとのスピン乾燥ならスピンドライヤー SPDシリーズ、割れやすいウエーハのスピン乾燥ならダイキンファインテックのウエーハ乾燥機 スピンドライヤーです。スピンドライヤー SPDシリーズの対応ウェーハ径は300mm以下、方式はスピン乾燥（カセットを縦に装填）⁠で⁠す⁠。ダイキンファインテックのウエーハ乾燥機 スピンドライヤーの対応ウェーハ径は3〜8インチ、方式はスピン乾燥です。
Q.スピンドライヤー SPDシリーズの装置の構成は？
スピンドライヤー SPDシリーズの装置の構成はULPAフィルタ0.1μmです。ダイキンファインテックのウエーハ乾燥機 スピンドライヤーの装置の構成はマニュアル型、インライン型です。
Q.スピンドライヤー SPDシリーズとファイナル洗浄装置 SC300-FCはどっちがいい？
カセットごとのスピン乾燥ならスピンドライヤー SPDシリーズ、工程間洗浄と最終洗浄なら芝浦メカトロニクスのファイナル洗浄装置 SC300-FCです。スピンドライヤー SPDシリーズの対応ウェーハ径は300mm以下、方式はスピン乾燥（カセットを縦に装填）⁠で⁠す⁠。芝浦メカトロニクスのファイナル洗浄装置 SC300-FCの対応ウェーハ径は300mm、方式は枚葉式です。
Q.スピンドライヤー SPDシリーズはどこのメーカー？
スピンドライヤー SPDシリーズはジャパンクリエイト株式会社の製品です。ジャパンクリエイトの主な製品分野は半導体洗浄装置です。

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    対応ウェーハ径300mm

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    対応ウェーハ径300mm

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    対応ウェーハ径300mm

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    出典
    1. ジャパンクリエイト株式会社 公式
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