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半導体製造装置エッチング装置

高温リン酸エッチング装置 SC300-HT

芝浦メカトロニクス株式会社

窒化膜を除去する枚葉式高温リン酸エッチング装置です。

価格
公開価格なし（見積もり）
主な仕様
対応基板径300mm
工程
エッチング装置
向いている所
ロジックの窒化膜除去
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比較表での位置

高温リン酸エッチング装置 SC300-HTは、半導体製造装置のメーカー8社比較の工程「エッチング装置」の4製品の1つとして載っています。

  • 8社掲載社数
  • 10製品比較表の製品
  • 4製品同じ工程
  • 0製品公開価格あり
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高温リン酸エッチング装置 SC300-HT​の強みと方式

近接ヒーターでウエハ面内のエッチング量を制御する装置です。リン酸中のシリコン濃度を制御して下地ロスを抑え、後洗浄まで一体で処理します。

向いている所ロジックの窒化膜除去

工程：エッチング装置

ウエハ上の膜や材料を選んで除去する装置です。ガスによるドライ加工と薬液によるウェット加工を分け、加工方向・下地への影響・対象材料を確かめます。

高温リン酸エッチング装置 SC300-HT​の仕様

工程
エッチング装置
工程
窒化膜エッチング
方式
枚葉式ウェットエッチング
対応基板径
300mm
処理能力
—公式資料で確認できず
設置寸法
—公式資料で確認できず
価格
—公式資料で確認できず
対象材料・用途
先端ロジックの窒化膜
装置構成
リン酸処理と後洗浄を一体化

シリーズ名のSC300-HTで掲載しています。詳細構成はメーカーと確認します。

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

高温リン酸エッチング装置 SC300-HT芝浦メカトロニクス株式会社プラズマエッチング装置 Tactras東京エレクトロン株式会社DCRエッチング装置 9060株式会社日立ハイテク
工程エッチング装置エッチング装置エッチング装置
工程窒化膜エッチングドライエッチング等方性エッチング
方式枚葉式ウェットエッチングプラズマエッチングDCR、ドライ環境下の化学反応
対応基板径300mm300mm—公式資料で確認できず
処理能力—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
設置寸法—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
対象材料・用途先端ロジックの窒化膜—公式資料で確認できず高アスペクトの立体構造
装置構成リン酸処理と後洗浄を一体化最大6つのエッチングチャンバー冷却機構と赤外線ランプを同一リアクターに搭載

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高温リン酸エッチング装置 SC300-HT​のよくある質問

Q.高温リン酸エッチング装置 SC300-HTはどんな人に向いている？
高温リン酸エッチング装置 SC300-HTは、ロジックの窒化膜除去に使う人向けです。高温リン酸エッチング装置 SC300-HTは、近接ヒーターでウエハ面内のエッチング量を制御する装置です。リン酸中のシリコン濃度を制御して下地ロスを抑え、後洗浄まで一体で処理します。
Q.高温リン酸エッチング装置 SC300-HTはどんな方式？
高温リン酸エッチング装置 SC300-HTの工程はエッチング装置です。ウエハ上の膜や材料を選んで除去する装置です。
Q.高温リン酸エッチング装置 SC300-HTの主な仕様は？
高温リン酸エッチング装置 SC300-HTの対応基板径は300mm、工程は窒化膜エッチングです。方式は枚葉式ウェットエッチング、対象材料・用途は先端ロジックの窒化膜です。
Q.高温リン酸エッチング装置 SC300-HTとプラズマエッチング装置 Tactrasはどっちがいい？
ロジックの窒化膜除去なら高温リン酸エッチング装置 SC300-HT、量産ラインのプラズマ加工なら東京エレクトロンのプラズマエッチング装置 Tactrasです。高温リン酸エッチング装置 SC300-HTの対応基板径は300mm、工程は窒化膜エッチングです。東京エレクトロンのプラズマエッチング装置 Tactrasの対応基板径は300mm、工程はドライエッチングです。
Q.高温リン酸エッチング装置 SC300-HTの装置構成は？
高温リン酸エッチング装置 SC300-HTの装置構成はリン酸処理と後洗浄を一体化です。東京エレクトロンのプラズマエッチング装置 Tactrasの装置構成は最大6つのエッチングチャンバーです。
Q.高温リン酸エッチング装置 SC300-HTとDCRエッチング装置 9060はどっちがいい？
ロジックの窒化膜除去なら高温リン酸エッチング装置 SC300-HT、立体構造の等方性加工なら日立ハイテクのDCRエッチング装置 9060です。高温リン酸エッチング装置 SC300-HTの対応基板径は300mm、工程は窒化膜エッチングです。日立ハイテクのDCRエッチング装置 9060の工程は等方性エッチング、方式はDCR、ドライ環境下の化学反応です。
Q.高温リン酸エッチング装置 SC300-HTはどこのメーカー？
高温リン酸エッチング装置 SC300-HTは芝浦メカトロニクス株式会社の製品です。登記上の本店は〒247-0006 神奈川県横浜市栄区笠間2丁目5番1号。半導体製造装置・FPD製造装置・真空応用装置などを手がける会社です。

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