イメージイメージ半導体製造装置塗布現像装置
コータ・デベロッパ SK-80EX
株式会社小径基板向けの
- 価格
- 公開価格なし
（見積もり） - 主な仕様
- 対応基板径共通案内
100〜200mm - 工程
- 塗布現像装置
- 向いている所
- 小径ウエハの
塗布・現像
比較表での位置
コータ・
- 8社掲載社数
- 10製品比較表の製品
- 2製品同じ工程
- 0製品公開価格あり
コータ・デベロッパ SK-80EXの強みと方式
従来の
向いている所小径ウエハの
工程：塗布現像装置
パターンを
コータ・デベロッパ SK-80EXの仕様
- 工程
- 塗布現像装置
- 工程
- 塗布・現像
- 方式
- コータ・
デベロッパ - 対応基板径
- 共通案内
100〜200mm - 処理能力
- —公式資料で
確認できず - 設置寸法
- —公式資料で
確認できず - 価格
- —公式資料で
確認できず - 対象材料・用途
- —公式資料で
確認できず - 装置構成
- 従来
60・ 80シリーズと レシピ互換
基板径は
同じ種類の他社製品との違い
製品の特徴ごとの分類
| コータ・ | 塗布現像装置 LITHIUS Pro DICE東京エレクトロン | スパッタリング | |
|---|---|---|---|
| 工程 | 塗布現像装置 | 塗布現像装置 | 成膜装置 |
| 工程 | 塗布・現像 | 塗布・現像 | 成膜 |
| 方式 | コータ・ | レジスト塗布・現像 | マルチチャンバー式 |
| 対応基板径 | 共通案内 | 300mm | —公式資料で |
| 処理能力 | —公式資料で | インライン | —公式資料で |
| 設置寸法 | —公式資料で | —公式資料で | —公式資料で |
| 価格 | —公式資料で | —公式資料で | —公式資料で |
| 対象材料・用途 | —公式資料で | High NA EUV、 | ロジック、 |
| 装置構成 | 従来 | —公式資料で | 最大12モジュール |
コータ・デベロッパ SK-80EXのよくある質問
Q.コータ・デベロッパ SK-80EXはどんな人に向いている？
コータ・デベロッパ SK-80EXは、小径ウエハの塗布・現像に使う人向けです。コータ・デベロッパ SK-80EXは、従来の60・80シリーズとプロセスレシピデータの互換性を保つ装置です。薄ウエハや厚基板など、基板特性に合わせたオプションを選べます。
Q.コータ・デベロッパ SK-80EXはどんな方式？
コータ・デベロッパ SK-80EXの工程は塗布現像装置です。パターンを作るためのレジスト塗布と現像を担う装置です。
Q.コータ・デベロッパ SK-80EXの主な仕様は？
コータ・デベロッパ SK-80EXの対応基板径は共通案内100〜200mm、工程は塗布・現像です。方式はコータ・デベロッパ、装置構成は従来60・80シリーズとレシピ互換です。
Q.コータ・デベロッパ SK-80EXと塗布現像装置 LITHIUS Pro DICEはどっちがいい？
小径ウエハの塗布・現像ならコータ・デベロッパ SK-80EX、先端リソグラフィの塗布・現像なら東京エレクトロンの塗布現像装置 LITHIUS Pro DICEです。コータ・デベロッパ SK-80EXの対応基板径は共通案内100〜200mm、工程は塗布・現像です。東京エレクトロンの塗布現像装置 LITHIUS Pro DICEの対応基板径は300mm、工程は塗布・現像です。
Q.コータ・デベロッパ SK-80EXとスパッタリング装置 ENTRON-EXXはどっちがいい？
小径ウエハの塗布・現像ならコータ・デベロッパ SK-80EX、ロジック・メモリの金属膜形成ならアルバックのスパッタリング装置 ENTRON-EXXです。コータ・デベロッパ SK-80EXの対応基板径は共通案内100〜200mm、工程は塗布・現像です。アルバックのスパッタリング装置 ENTRON-EXXの工程は成膜、方式はマルチチャンバー式スパッタリングです。
Q.コータ・デベロッパ SK-80EXはどこのメーカー？
コータ・デベロッパ SK-80EXは株式会社SCREEN SPE テックの製品です。登記上の本店は〒612-8486 京都府京都市伏見区羽束師古川町322番地。主に小径ウエハ向けの半導体製造装置を開発・設計・製造するSCREENグループの会社です。
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