イメージ半導体製造装置コータ・
株式会社SCREEN SPE テック
コータ・デベロッパ SK-80EX
株式会社従来の
対応基板径共通案内
イメージ半導体製造装置エッチング装置
DCRエッチング装置 9060
株式会社立体デバイスの
- 価格
- 公開価格なし
（見積もり） - 工程
- エッチング装置
- 向いている所
- 立体構造の
等方性加工
比較表での位置
DCR
- 8社掲載社数
- 10製品比較表の製品
- 4製品同じ工程
- 0製品公開価格あり
DCRエッチング装置 9060の強みと方式
冷却機構と
向いている所立体構造の
工程：エッチング装置
ウエハ上の
DCRエッチング装置 9060の仕様
- 工程
- エッチング装置
- 工程
- 等方性
エッチング - 方式
- DCR、
ドライ環境下の 化学反応 - 対応基板径
- —公式資料で
確認できず - 処理能力
- —公式資料で
確認できず - 設置寸法
- —公式資料で
確認できず - 価格
- —公式資料で
確認できず - 対象材料・用途
- 高
アスペクトの 立体構造 - 装置構成
- 冷却機構と
赤外線 ランプを 同一 リアクター に搭載
シリーズ名の
同じ種類の他社製品との違い
製品の特徴ごとの分類
| DCR | ICP | 高温リン酸 | |
|---|---|---|---|
| 工程 | エッチング装置 | エッチング装置 | エッチング装置 |
| 工程 | 等方性 | ドライエッチング | 窒化膜 |
| 方式 | DCR、 | ICP、 | 枚葉式 |
| 対応基板径 | —公式資料で | 直径2・ | 300mm |
| 処理能力 | —公式資料で | —公式資料で | —公式資料で |
| 設置寸法 | —公式資料で | —公式資料で | —公式資料で |
| 価格 | —公式資料で | —公式資料で | —公式資料で |
| 対象材料・用途 | 高 | GaN、 | 先端 |
| 装置構成 | 冷却機構と | ロードロック | リン酸処理と |
DCRエッチング装置 9060のよくある質問
Q.DCRエッチング装置 9060はどんな人に向いている？
DCRエッチング装置 9060は、立体構造の等方性加工に使う人向けです。DCRエッチング装置 9060は、冷却機構と赤外線ランプを同じ真空リアクターに備えた装置です。温度を短時間で変化させ、原子層レベルの等方性加工を行います。
Q.DCRエッチング装置 9060はどんな方式？
DCRエッチング装置 9060の工程はエッチング装置です。ウエハ上の膜や材料を選んで除去する装置です。
Q.DCRエッチング装置 9060の主な仕様は？
DCRエッチング装置 9060の工程は等方性エッチング、方式はDCR、ドライ環境下の化学反応です。対象材料・用途は高アスペクトの立体構造、装置構成は冷却機構と赤外線ランプを同一リアクターに搭載です。
Q.DCRエッチング装置 9060とICPエッチング装置 RIE-400iPはどっちがいい？
立体構造の等方性加工ならDCRエッチング装置 9060、化合物半導体の微細加工ならサムコのICPエッチング装置 RIE-400iPです。DCRエッチング装置 9060の工程は等方性エッチング、方式はDCR、ドライ環境下の化学反応です。サムコのICPエッチング装置 RIE-400iPの対応基板径は直径2・3・4インチ、工程はドライエッチングです。
Q.DCRエッチング装置 9060と高温リン酸エッチング装置 SC300-HTはどっちがいい？
立体構造の等方性加工ならDCRエッチング装置 9060、ロジックの窒化膜除去なら芝浦メカトロニクスの高温リン酸エッチング装置 SC300-HTです。DCRエッチング装置 9060の工程は等方性エッチング、方式はDCR、ドライ環境下の化学反応です。芝浦メカトロニクスの高温リン酸エッチング装置 SC300-HTの対応基板径は300mm、工程は窒化膜エッチングです。
Q.DCRエッチング装置 9060はどこのメーカー？
DCRエッチング装置 9060は株式会社日立ハイテクの製品です。登記上の本店は〒105-0001 東京都港区虎ノ門1丁目17番1号。半導体製造装置や分析機器などを製造・販売する会社です。
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