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スピンコータ全自動型（塗布・現像の一体機）

コーター ハイスペックモデル

株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

ダブルハンド搬送ロボットを2台積み、日に1000枚以上を処理します。

価格
公開価格なし（見積もり）
方式
全自動型（塗布・現像の一体機）
向いている所
日に1000枚以上を処理する量産機
公式の製品ページを見る比較表で見る

比較表での位置

コーター ハイスペックモデルは、スピンコータのメーカー7社比較⁠の方式が全自動型（塗布・現像の一体機）の6製品の1つとして載っています。

  • 7社掲載社数
  • 13製品比較表の製品
  • 6製品同じ方式
  • 2製品公開価格あり
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コーター ハイスペックモデルの強みと方式

ダブルハンド搬送ロボットを2台積み、日に1000枚以上を処理します。プロセスユニットは最大7ステージまで増やせます。ロボットとユニットの配置は工程に合わせて決めます。

向いている所日に1000枚以上を処理する量産機

方式：全自動型（塗布・現像の一体機）

ロボットがウエハを運び、塗布からベークや現像までを続けて処理する型です。量産ラインで使います。処理量とユニットの数は工程に合わせて決めます。

コーター ハイスペックモデルの仕様

方式
全自動型（塗布・現像の一体機）
対応基板
—公式資料で確認できず
回転数
—公式資料で確認できず
回転精度
—公式資料で確認できず
滴下
—公式資料で確認できず
処理量
1000枚/日以上
価格
—公式資料で確認できず
カップの大きさ
—公式資料で確認できず
電源
—公式資料で確認できず
外形寸法
—公式資料で確認できず
質量
—公式資料で確認できず
プログラム
—公式資料で確認できず
基板の固定
—公式資料で確認できず
プロセスユニット
最大7ステージ

同じ種類の他社製品との違い

スピンコータの価格公開価格のある2製品・安い順
  1. スピンコーター ACT-300AⅡ株式会社アクティブ本体900,000円
  2. スピンコーター ACT-600AⅡ株式会社アクティブ3,500,000円〜

製品の特徴ごとの分類

コーター ハイスペックモデル株式会社エイ・エス・エイ・ピイ自動レジスト塗布装置ジャパンクリエイト株式会社コータ・デベロッパ DT-3000株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
方式全自動型（塗布・現像の一体機）全自動型（塗布・現像の一体機）全自動型（塗布・現像の一体機）
対応基板—公式資料で確認できず直径300mmまでのウエハ—公式資料で確認できず
回転数—公式資料で確認できず標準で最大5,000rpm—公式資料で確認できず
回転精度—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
滴下—公式資料で確認できずディスペンサー、圧送タンク—公式資料で確認できず
処理量1000枚/日以上—公式資料で確認できず毎時450枚以上
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
カップの大きさ—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
電源—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
外形寸法—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
質量—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
プログラム—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
基板の固定—公式資料で確認できずエッジクランプ、静電、ベルヌーイなど—公式資料で確認できず
プロセスユニット最大7ステージ—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず

スピンコータの13製品を比較表で見る

コーター ハイスペックモデルのよくある質問

Q.コーター ハイスペックモデルはどんな人に向いている？
コーター ハイスペックモデルは、日に1000枚以上を処理する量産機に使う人向けです。コーター ハイスペックモデルは、ダブルハンド搬送ロボットを2台積み、日に1000枚以上を処理します。
Q.コーター ハイスペックモデルの強みは？
コーター ハイスペックモデルのプロセスユニットは最大7ステージまで増やせます。ロボットとユニットの配置は工程に合わせて決めます。
Q.コーター ハイスペックモデルはどんな方式？
コーター ハイスペックモデルの方式は全自動型（塗布・現像の一体機）⁠で⁠す⁠。ロボットがウエハを運び、塗布からベークや現像までを続けて処理する型です。
Q.コーター ハイスペックモデルの主な仕様は？
コーター ハイスペックモデルの処理量は1000枚/日以上、プロセスユニットは最大7ステージです。
Q.コーター ハイスペックモデルと自動レジスト塗布装置はどっちがいい？
日に1000枚以上を処理する量産機ならコーター ハイスペックモデル、カセットから多関節ロボットで運ぶ量産機ならジャパンクリエイトの自動レジスト塗布装置です。コーター ハイスペックモデルの処理量は1000枚/日以上、プロセスユニットは最大7ステージです。ジャパンクリエイトの自動レジスト塗布装置の対応基板は直径300mmまでのウエハ、回転数は標準で最大5,000rpmです。
Q.コーター ハイスペックモデルとコータ・デベロッパ DT-3000はどっちがいい？
日に1000枚以上を処理する量産機ならコーター ハイスペックモデル、デュアルラインで毎時450枚以上を処理ならSCREENセミコンダクターソリューションズのコータ・デベロッパ DT-3000です。コーター ハイスペックモデルの処理量は1000枚/日以上、プロセスユニットは最大7ステージです。SCREENセミコンダクターソリューションズのコータ・デベロッパ DT-3000の処理量は毎時450枚以上です。
Q.コーター ハイスペックモデルのほかにエイ・エス・エイ・ピイのスピンコータはある？
あります。エイ・エス・エイ・ピイのスピンコータには、コーター ハイスペックモデルのほかにコーター スタンダードモデル（処理量は500枚/日以上）があります。
Q.コーター ハイスペックモデルはどこのメーカー？
コーター ハイスペックモデルは株式会社エイ・エス・エイ・ピイの製品です。エイ・エス・エイ・ピイの主な製品分野はスピンコータです。

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    出典
    1. 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ 公式
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