スピンコータ全自動型（塗布・現像の一体機）

コータ・デベロッパ RF-200EX

Q: コータ・デベロッパ RF-200EXはどんな方式？

コータ・デベロッパ RF-200EXの方式は全自動型（塗布・現像の一体機）です。ロボットがウエハを運び、塗布からベークや現像までを続けて処理する型です。

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

150〜200mmのウェーハ専用に設計した機種です。

価格: 公開価格なし（見積もり）
方式: 全自動型（塗布・現像の一体機）
向いている所: 200mm以下のラインに合わせた専用機

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比較表での位置

コータ・デベロッパ RF-200EXは、スピンコータのメーカー7社比較⁠の方式が全自動型（塗布・現像の一体機）の6製品の1つとして載っています。

7社掲載社数
13製品比較表の製品
6製品同じ方式
2製品公開価格あり

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コータ・デベロッパ RF-200EXの強みと方式

150〜200mmのウェーハ専用に設計した機種です。既存装置の置き換えにも、新しい工場にも入れられます。DUVプロセスまで使えます。

向いている所200mm以下のラインに合わせた専用機

方式：全自動型（塗布・現像の一体機）

ロボットがウエハを運び、塗布からベークや現像までを続けて処理する型です。量産ラインで使います。処理量とユニットの数は工程に合わせて決めます。

コータ・デベロッパ RF-200EXの仕様

方式: 全自動型（塗布・現像の一体機）
対応基板: 150〜200mmウェーハ
回転数: —公式資料で確認できず
回転精度: —公式資料で確認できず
滴下: —公式資料で確認できず
処理量: —公式資料で確認できず
価格: —公式資料で確認できず
カップの大きさ: —公式資料で確認できず
電源: —公式資料で確認できず
外形寸法: —公式資料で確認できず
質量: —公式資料で確認できず
プログラム: —公式資料で確認できず
基板の固定: —公式資料で確認できず
プロセスユニット: —公式資料で確認できず

同じ種類の他社製品との違い

スピンコータの価格公開価格のある2製品・安い順

製品の特徴ごとの分類

	コータ・デベロッパ RF-200EX株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ	CLEAN TRACK LITHIUS Pro Z東京エレクトロン株式会社	コータースタンダードモデル株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
方式	全自動型（塗布・現像の一体機）	全自動型（塗布・現像の一体機）	全自動型（塗布・現像の一体機）
対応基板	150〜200mmウェーハ	300mmウェーハ	—公式資料で確認できず
回転数	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず
回転精度	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず
滴下	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず
処理量	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず	500枚/日以上
価格	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず
カップの大きさ	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず
電源	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず
外形寸法	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず
質量	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず
プログラム	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず
基板の固定	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず
プロセスユニット	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず	最大4ステージ

スピンコータの13製品を比較表で見る

コータ・デベロッパ RF-200EXのよくある質問

Q.コータ・デベロッパ RF-200EXはどんな人に向いている？

コータ・デベロッパ RF-200EXは、200mm以下のラインに合わせた専用機に使う人向けです。コータ・デベロッパ RF-200EXは、150〜200mmのウェーハ専用に設計した機種です。

Q.コータ・デベロッパ RF-200EXの強みは？

コータ・デベロッパ RF-200EXは、既存装置の置き換えにも、新しい工場にも入れられます。DUVプロセスまで使えます。

Q.コータ・デベロッパ RF-200EXはどんな方式？

コータ・デベロッパ RF-200EXの方式は全自動型（塗布・現像の一体機）⁠で⁠す⁠。ロボットがウエハを運び、塗布からベークや現像までを続けて処理する型です。

Q.コータ・デベロッパ RF-200EXの主な仕様は？

コータ・デベロッパ RF-200EXの対応基板は150〜200mmウェーハです。

Q.コータ・デベロッパ RF-200EXとCLEAN TRACK LITHIUS Pro Zはどっちがいい？

200mm以下のラインに合わせた専用機ならコータ・デベロッパ RF-200EX、300mm先端プロセス向けの塗布現像装置なら東京エレクトロンのCLEAN TRACK LITHIUS Pro Zです。コータ・デベロッパ RF-200EXの対応基板は150〜200mmウェーハです。東京エレクトロンのCLEAN TRACK LITHIUS Pro Zの対応基板は300mmウェーハです。

Q.コータ・デベロッパ RF-200EXとコータースタンダードモデルはどっちがいい？

200mm以下のラインに合わせた専用機ならコータ・デベロッパ RF-200EX、日に500枚以上を処理する中型の量産機ならエイ・エス・エイ・ピイのコータースタンダードモデルです。コータ・デベロッパ RF-200EXの対応基板は150〜200mmウェーハです。エイ・エス・エイ・ピイのコータースタンダードモデルの処理量は500枚/日以上、プロセスユニットは最大4ステージです。

Q.コータ・デベロッパ RF-200EXのほかにSCREENセミコンダクターソリューションズのスピンコータはある？