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スピンコーター MS-B100は、
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スピンコーター MS-B100の強みと方式
MS-Bシリーズの
向いている所小さい
方式：卓上型（手動滴下）
実験台に
スピンコーター MS-B100の仕様
- 方式
- 卓上型
（手動滴下） - 対応基板
- 直径4インチ、
75× 75mmまで - 回転数
- 20〜8,000rpm
- 回転精度
- ±1rpm
- 滴下
- 手動、
滴下装置は 付けられない - 処理量
- —公式資料で
確認できず - 価格
- —公式資料で
確認できず - カップの
大きさ - 内径220mm
- 電源
- AC100〜240V、5A
- 外形寸法
- W259×
H246× D330mm - 質量
- 約10kg
- プログラム
- 100ステップ・
10パターン - 基板の固定
- 真
空吸着、 -0.08〜-0.1MPa - プロセス
ユニット - —公式資料で
確認できず
同じ種類の他社製品との違い
製品の特徴ごとの分類
| スピンコーター MS-B100ミカサ | マニュアル | スピンコーター ACT-300AⅡ株式会社 | |
|---|---|---|---|
| 方式 | 卓上型 | 卓上型 | 卓上型 |
| 対応基板 | 直径4インチ、 | 2インチ | 直径5〜150mm、角 |
| 回転数 | 20〜8,000rpm | —公式資料で | 0〜6,000rpm |
| 回転精度 | ±1rpm | —公式資料で | ±1rpm以下 |
| 滴下 | 手動、 | 手動、自動 | 手動、 |
| 処理量 | —公式資料で | —公式資料で | —公式資料で |
| 価格 | —公式資料で | —公式資料で | 本体 |
| カップの | 内径220mm | —公式資料で | 内径300mm |
| 電源 | AC100〜240V、5A | —公式資料で | 100V、 |
| 外形寸法 | W259× | —公式資料で | W350× |
| 質量 | 約10kg | —公式資料で | —公式資料で |
| プログラム | 100ステップ・ | 30ステップ・ | 10ステップ・ |
| 基板の固定 | 真 | 手置き、 | 真 |
| プロセス | —公式資料で | —公式資料で | —公式資料で |
スピンコーター MS-B100のよくある質問
Q.スピンコーター MS-B100はどんな人に向いている？
スピンコーター MS-B100は、小さい基板を8,000rpmまで回す小型機に使う人向けです。スピンコーター MS-B100は、MS-Bシリーズの中で回転数の上限が高い、8,000rpmまで回せる約10kgの小型機です。
Q.スピンコーター MS-B100の強みは？
スピンコーター MS-B100は、直径4インチのウエハや75×75mmの基板を塗る研究室に向きます。滴下装置は付けられないので、手で滴下します。
Q.スピンコーター MS-B100はどんな方式？
スピンコーター MS-B100の方式は卓上型（手動滴下）です。実験台に置いて、基板を1枚ずつ手で載せて滴下する型です。
Q.スピンコーター MS-B100の主な仕様は？
スピンコーター MS-B100の対応基板は直径4インチ、75×75mmまで、回転数は20〜8,000rpmです。回転精度は±1rpm、滴下は手動、滴下装置は付けられない。
Q.スピンコーター MS-B100とマニュアル塗布装置 Litho Spin Cup 200Cはどっちがいい？
小さい基板を8,000rpmまで回す小型機ならスピンコーター MS-B100、手で滴下もできる200mmまでのマニュアル機ならリソテックジャパンのマニュアル塗布装置 Litho Spin Cup 200Cです。スピンコーター MS-B100の対応基板は直径4インチ、75×75mmまで、回転数は20〜8,000rpmです。リソテックジャパンのマニュアル塗布装置 Litho Spin Cup 200Cの対応基板は2インチ〜200mmウェーハ、滴下は手動、自動ディスペンサ1系統はオプションです。
Q.スピンコーター MS-B100のカップの大きさは？
スピンコーター MS-B100のカップの大きさは内径220mmです。アクティブのスピンコーター ACT-300AⅡのカップの大きさは内径300mmです。
Q.スピンコーター MS-B100の電源は？
スピンコーター MS-B100の電源はAC100〜240V、5Aです。アクティブのスピンコーター ACT-300AⅡの電源は100V、10Aです。
Q.スピンコーター MS-B100とスピンコーター ACT-300AⅡはどっちがいい？
小さい基板を8,000rpmまで回す小型機ならスピンコーター MS-B100、本体価格を公開した直径150mmまでの卓上機ならアクティブのスピンコーター ACT-300AⅡです。スピンコーター MS-B100の対応基板は直径4インチ、75×75mmまで、回転数は20〜8,000rpmです。アクティブのスピンコーター ACT-300AⅡの価格は本体900,000円、対応基板は直径5〜150mm、角110mmまでです。
Q.スピンコーター MS-B100のほかにミカサのスピンコータはある？
あります。ミカサのスピンコータには、スピンコーター MS-B100のほかにスピンコーター MS-B300（対応基板は直径12インチ、200×200mmまで）があります。
Q.スピンコーター MS-B100はどこのメーカー？
スピンコーター MS-B100はミカサ株式会社の製品です。スピンコーターやマスクアライナーなどの半導体製造・検査装置を扱う会社です。
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