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スピンコーター MS-B300は、
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スピンコーター MS-B300の強みと方式
直径
向いている所直径
方式：大型・セミオート型
大きい
スピンコーター MS-B300の仕様
- 方式
- 大型・
セミオート型 - 対応基板
- 直径12インチ、
200× 200mmまで - 回転数
- 20〜5,000rpm
- 回転精度
- ±1rpm
- 滴下
- 滴下装置は
オプション、 2アームまで - 処理量
- —公式資料で
確認できず - 価格
- —公式資料で
確認できず - カップの
大きさ - 内径500mm
- 電源
- AC200〜240V、5A
- 外形寸法
- W545×
H432× D654mm - 質量
- 55kg
- プログラム
- 100ステップ・
10パターン - 基板の固定
- 真
空吸着、 -0.08〜-0.1MPa - プロセス
ユニット - —公式資料で
確認できず
同じ種類の他社製品との違い
製品の特徴ごとの分類
| スピンコーター MS-B300ミカサ | 300mm | スピンコーター ACT-600AⅡ株式会社 | |
|---|---|---|---|
| 方式 | 大型・ | 大型・ | 大型・ |
| 対応基板 | 直径12インチ、 | 300mm | 直径5〜400mm、角 |
| 回転数 | 20〜5,000rpm | —公式資料で | 0〜3,000rpm |
| 回転精度 | ±1rpm | —公式資料で | ±2rpm以下 |
| 滴下 | 滴下装置は | —公式資料で | —公式資料で |
| 処理量 | —公式資料で | —公式資料で | —公式資料で |
| 価格 | —公式資料で | —公式資料で | 3,500,000円〜 |
| カップの | 内径500mm | —公式資料で | 内径600mm |
| 電源 | AC200〜240V、5A | —公式資料で | 基板の |
| 外形寸法 | W545× | —公式資料で | W848× |
| 質量 | 55kg | —公式資料で | —公式資料で |
| プログラム | 100ステップ・ | —公式資料で | 10ステップ・ |
| 基板の固定 | 真 | —公式資料で | 真 |
| プロセス | —公式資料で | —公式資料で | —公式資料で |
スピンコーター MS-B300のよくある質問
Q.スピンコーター MS-B300はどんな人に向いている？
スピンコーター MS-B300は、直径12インチを滴下2アームまでで塗る人向けです。スピンコーター MS-B300は、直径12インチのウエハまで塗れて、滴下装置を2アームまで付けられます。
Q.スピンコーター MS-B300の強みは？
スピンコーター MS-B300の回転は20〜5,000rpmで、回転精度は±1rpmです。電源はAC200〜240Vなので、設置前に電源を確かめます。
Q.スピンコーター MS-B300はどんな方式？
スピンコーター MS-B300の方式は大型・セミオート型です。大きい基板や300mmウェーハを、人が載せて塗る型です。
Q.スピンコーター MS-B300の主な仕様は？
スピンコーター MS-B300の対応基板は直径12インチ、200×200mmまで、回転数は20〜5,000rpmです。回転精度は±1rpm、滴下は滴下装置はオプション、2アームまでです。
Q.スピンコーター MS-B300と300mmマニュアル塗布装置 Litho Spin Cup 1200Cはどっちがいい？
直径12インチを滴下2アームまでで塗るならスピンコーター MS-B300、300mmウェーハをセミオートで塗るならリソテックジャパンの300mmマニュアル塗布装置 Litho Spin Cup 1200Cです。スピンコーター MS-B300の対応基板は直径12インチ、200×200mmまで、回転数は20〜5,000rpmです。リソテックジャパンの300mmマニュアル塗布装置 Litho Spin Cup 1200Cの対応基板は300mmウェーハまでです。
Q.スピンコーター MS-B300のカップの大きさは？
スピンコーター MS-B300のカップの大きさは内径500mmです。アクティブのスピンコーター ACT-600AⅡのカップの大きさは内径600mmです。
Q.スピンコーター MS-B300の電源は？
スピンコーター MS-B300の電源はAC200〜240V、5Aです。アクティブのスピンコーター ACT-600AⅡの電源は基板の大きさと重さで決める。
Q.スピンコーター MS-B300とスピンコーター ACT-600AⅡはどっちがいい？
直径12インチを滴下2アームまでで塗るならスピンコーター MS-B300、キャスターで動かせる直径400mmまでの自立機ならアクティブのスピンコーター ACT-600AⅡです。スピンコーター MS-B300の対応基板は直径12インチ、200×200mmまで、回転数は20〜5,000rpmです。アクティブのスピンコーター ACT-600AⅡの価格は3,500,000円〜、対応基板は直径5〜400mm、角300mmまでです。
Q.スピンコーター MS-B300のほかにミカサのスピンコータはある？
あります。ミカサのスピンコータには、スピンコーター MS-B300のほかにスピンコーター MS-B100（対応基板は直径4インチ、75×75mmまで）があります。
Q.スピンコーター MS-B300はどこのメーカー？
スピンコーター MS-B300はミカサ株式会社の製品です。スピンコーターやマスクアライナーなどの半導体製造・検査装置を扱う会社です。
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