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スピンコータ大型・セミオート型

300mmマニュアル塗布装置 Litho Spin Cup 1200C

リソテックジャパン株式会社

300mmウェーハまで塗れるマニュアル、セミオートの塗布装置です。

価格
公開価格なし（見積もり）
方式
大型・セミオート型
向いている所
300mmウェーハをセミオートで塗る
公式の製品ページを見る比較表で見る

比較表での位置

300mmマニュアル塗布装置 Litho Spin Cup 1200Cは、スピンコータのメーカー7社比較⁠の方式「大型・セミオート型」の3製品の1つとして載っています。

  • 7社掲載社数
  • 13製品比較表の製品
  • 3製品同じ方式
  • 2製品公開価格あり
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300mmマニュアル塗布装置 Litho Spin Cup 1200C​の強みと方式

300mmウェーハまで塗れるマニュアル、セミオートの塗布装置です。450mm用のLitho Spin Cup 450Cも同じ系統で出ています。回転数は公式ページに載っていないので、問い合わせで確かめます。

向いている所300mmウェーハをセミオートで塗る

方式：大型・セミオート型

大きい基板や300mmウェーハを、人が載せて塗る型です。床に置く自立機もあり、滴下装置やリンスを足して手順を揃えます。卓上機より場所と電源が大きくなります。

300mmマニュアル塗布装置 Litho Spin Cup 1200C​の仕様

方式
大型・セミオート型
対応基板
300mmウェーハまで
回転数
—公式資料で確認できず
回転精度
—公式資料で確認できず
滴下
—公式資料で確認できず
処理量
—公式資料で確認できず
価格
—公式資料で確認できず
カップの大きさ
—公式資料で確認できず
電源
—公式資料で確認できず
外形寸法
—公式資料で確認できず
質量
—公式資料で確認できず
プログラム
—公式資料で確認できず
基板の固定
—公式資料で確認できず
プロセスユニット
—公式資料で確認できず

同じ種類の他社製品との違い

スピンコータの価格公開価格のある2製品・安い順
  1. スピンコーター ACT-300AⅡ株式会社アクティブ本体900,000円
  2. スピンコーター ACT-600AⅡ株式会社アクティブ3,500,000円〜

製品の特徴ごとの分類

300mmマニュアル塗布装置 Litho Spin Cup 1200Cリソテックジャパン株式会社スピンコーター ACT-600AⅡ株式会社アクティブスピンコーター MS-B300ミカサ株式会社
方式大型・セミオート型大型・セミオート型大型・セミオート型
対応基板300mmウェーハまで直径5〜400mm、角300mmまで直径12インチ、200×200mmまで
回転数—公式資料で確認できず0〜3,000rpm20〜5,000rpm
回転精度—公式資料で確認できず±2rpm以下±1rpm
滴下—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず滴下装置はオプション、2アームまで
処理量—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
価格—公式資料で確認できず3,500,000円〜—公式資料で確認できず
カップの大きさ—公式資料で確認できず内径600mm内径500mm
電源—公式資料で確認できず基板の大きさと重さで決めるAC200〜240V、5A
外形寸法—公式資料で確認できずW848×D962×H986mmW545×H432×D654mm
質量—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず55kg
プログラム—公式資料で確認できず10ステップ・100パターン100ステップ・10パターン
基板の固定—公式資料で確認できず真空吸着、-70〜-80kPa真空吸着、-0.08〜-0.1MPa
プロセスユニット—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず

スピンコータの13製品を比較表で見る

300mmマニュアル塗布装置 Litho Spin Cup 1200C​のよくある質問

Q.300mmマニュアル塗布装置 Litho Spin Cup 1200Cはどんな人に向いている？
300mmマニュアル塗布装置 Litho Spin Cup 1200Cは、300mmウェーハをセミオートで塗る人向けです。300mmマニュアル塗布装置 Litho Spin Cup 1200Cは、300mmウェーハまで塗れるマニュアル、セミオートの塗布装置です。
Q.300mmマニュアル塗布装置 Litho Spin Cup 1200Cの強みは？
300mmマニュアル塗布装置 Litho Spin Cup 1200Cは、450mm用のLitho Spin Cup 450Cも同じ系統で出ています。回転数は公式ページに載っていないので、問い合わせで確かめます。
Q.300mmマニュアル塗布装置 Litho Spin Cup 1200Cはどんな方式？
300mmマニュアル塗布装置 Litho Spin Cup 1200Cの方式は大型・セミオート型です。大きい基板や300mmウェーハを、人が載せて塗る型です。
Q.300mmマニュアル塗布装置 Litho Spin Cup 1200Cの主な仕様は？
300mmマニュアル塗布装置 Litho Spin Cup 1200Cの対応基板は300mmウェーハまでです。
Q.300mmマニュアル塗布装置 Litho Spin Cup 1200Cとスピンコーター ACT-600AⅡはどっちがいい？
300mmウェーハをセミオートで塗るなら300mmマニュアル塗布装置 Litho Spin Cup 1200C、キャスターで動かせる直径400mmまでの自立機ならアクティブのスピンコーター ACT-600AⅡです。300mmマニュアル塗布装置 Litho Spin Cup 1200Cの対応基板は300mmウェーハまでです。アクティブのスピンコーター ACT-600AⅡの価格は3,500,000円〜、対応基板は直径5〜400mm、角300mmまでです。
Q.300mmマニュアル塗布装置 Litho Spin Cup 1200Cとスピンコーター MS-B300はどっちがいい？
300mmウェーハをセミオートで塗るなら300mmマニュアル塗布装置 Litho Spin Cup 1200C、直径12インチを滴下2アームまでで塗るならミカサのスピンコーター MS-B300です。300mmマニュアル塗布装置 Litho Spin Cup 1200Cの対応基板は300mmウェーハまでです。ミカサのスピンコーター MS-B300の対応基板は直径12インチ、200×200mmまで、回転数は20〜5,000rpmです。
Q.300mmマニュアル塗布装置 Litho Spin Cup 1200Cのほかにリソテックジャパンのスピンコータはある？
あります。リソテックジャパンのスピンコータには、300mmマニュアル塗布装置 Litho Spin Cup 1200Cのほかにマニュアル塗布装置 Litho Spin Cup 200C（対応基板は2インチ〜200mmウェーハ）があります。
Q.300mmマニュアル塗布装置 Litho Spin Cup 1200Cはどこのメーカー？
300mmマニュアル塗布装置 Litho Spin Cup 1200Cはリソテックジャパン株式会社の製品です。リソテックジャパンの主な製品分野はスピンコータです。

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    1. リソテックジャパン株式会社 公式
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