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スピンコータ全自動型（塗布・現像の一体機）

コーター スタンダードモデル

株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

ダブルハンド搬送ロボットを積み、日に500枚以上を処理する中型の量産機です。

価格
公開価格なし（見積もり）
方式
全自動型（塗布・現像の一体機）
向いている所
日に500枚以上を処理する中型の量産機
公式の製品ページを見る比較表で見る

比較表での位置

コーター スタンダードモデルは、スピンコータのメーカー7社比較⁠の方式が全自動型（塗布・現像の一体機）の6製品の1つとして載っています。

  • 7社掲載社数
  • 13製品比較表の製品
  • 6製品同じ方式
  • 2製品公開価格あり
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コーター スタンダードモデルの強みと方式

ダブルハンド搬送ロボットを積み、日に500枚以上を処理する中型の量産機です。プロセスユニットは最大4ステージまで置けます。ハイスペックモデルより装置が小さく収まります。

向いている所日に500枚以上を処理する中型の量産機

方式：全自動型（塗布・現像の一体機）

ロボットがウエハを運び、塗布からベークや現像までを続けて処理する型です。量産ラインで使います。処理量とユニットの数は工程に合わせて決めます。

コーター スタンダードモデルの仕様

方式
全自動型（塗布・現像の一体機）
対応基板
—公式資料で確認できず
回転数
—公式資料で確認できず
回転精度
—公式資料で確認できず
滴下
—公式資料で確認できず
処理量
500枚/日以上
価格
—公式資料で確認できず
カップの大きさ
—公式資料で確認できず
電源
—公式資料で確認できず
外形寸法
—公式資料で確認できず
質量
—公式資料で確認できず
プログラム
—公式資料で確認できず
基板の固定
—公式資料で確認できず
プロセスユニット
最大4ステージ

同じ種類の他社製品との違い

スピンコータの価格公開価格のある2製品・安い順
  1. スピンコーター ACT-300AⅡ株式会社アクティブ本体900,000円
  2. スピンコーター ACT-600AⅡ株式会社アクティブ3,500,000円〜

製品の特徴ごとの分類

コーター スタンダードモデル株式会社エイ・エス・エイ・ピイ自動レジスト塗布装置ジャパンクリエイト株式会社コータ・デベロッパ DT-3000株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
方式全自動型（塗布・現像の一体機）全自動型（塗布・現像の一体機）全自動型（塗布・現像の一体機）
対応基板—公式資料で確認できず直径300mmまでのウエハ—公式資料で確認できず
回転数—公式資料で確認できず標準で最大5,000rpm—公式資料で確認できず
回転精度—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
滴下—公式資料で確認できずディスペンサー、圧送タンク—公式資料で確認できず
処理量500枚/日以上—公式資料で確認できず毎時450枚以上
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
カップの大きさ—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
電源—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
外形寸法—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
質量—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
プログラム—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
基板の固定—公式資料で確認できずエッジクランプ、静電、ベルヌーイなど—公式資料で確認できず
プロセスユニット最大4ステージ—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず

スピンコータの13製品を比較表で見る

コーター スタンダードモデルのよくある質問

Q.コーター スタンダードモデルはどんな人に向いている？
コーター スタンダードモデルは、日に500枚以上を処理する中型の量産機に使う人向けです。コーター スタンダードモデルは、ダブルハンド搬送ロボットを積み、日に500枚以上を処理する中型の量産機です。
Q.コーター スタンダードモデルの強みは？
コーター スタンダードモデルのプロセスユニットは最大4ステージまで置けます。ハイスペックモデルより装置が小さく収まります。
Q.コーター スタンダードモデルはどんな方式？
コーター スタンダードモデルの方式は全自動型（塗布・現像の一体機）⁠で⁠す⁠。ロボットがウエハを運び、塗布からベークや現像までを続けて処理する型です。
Q.コーター スタンダードモデルの主な仕様は？
コーター スタンダードモデルの処理量は500枚/日以上、プロセスユニットは最大4ステージです。
Q.コーター スタンダードモデルと自動レジスト塗布装置はどっちがいい？
日に500枚以上を処理する中型の量産機ならコーター スタンダードモデル、カセットから多関節ロボットで運ぶ量産機ならジャパンクリエイトの自動レジスト塗布装置です。コーター スタンダードモデルの処理量は500枚/日以上、プロセスユニットは最大4ステージです。ジャパンクリエイトの自動レジスト塗布装置の対応基板は直径300mmまでのウエハ、回転数は標準で最大5,000rpmです。
Q.コーター スタンダードモデルとコータ・デベロッパ DT-3000はどっちがいい？
日に500枚以上を処理する中型の量産機ならコーター スタンダードモデル、デュアルラインで毎時450枚以上を処理ならSCREENセミコンダクターソリューションズのコータ・デベロッパ DT-3000です。コーター スタンダードモデルの処理量は500枚/日以上、プロセスユニットは最大4ステージです。SCREENセミコンダクターソリューションズのコータ・デベロッパ DT-3000の処理量は毎時450枚以上です。
Q.コーター スタンダードモデルのほかにエイ・エス・エイ・ピイのスピンコータはある？
あります。エイ・エス・エイ・ピイのスピンコータには、コーター スタンダードモデルのほかにコーター ハイスペックモデル（処理量は1000枚/日以上）があります。
Q.コーター スタンダードモデルはどこのメーカー？
コーター スタンダードモデルは株式会社エイ・エス・エイ・ピイの製品です。エイ・エス・エイ・ピイの主な製品分野はスピンコータです。

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    出典
    1. 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ 公式
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