スピンコータのメーカー7社比較【2026年】

本体900,000円を公式の価格表に載せています。直径150mmまでの丸基板と角110mmまでの角基板を、最大6,000rpmで回せます。安全カバーの穴から回転中に手で滴下できます。

卓上の大きさのまま300mmガラス基板を塗れます。回転は標準で3,000rpmまでで、5,000rpmはオプションです。真空ポンプもオプションなので、見積もりで揃えます。

MS-Bシリーズの中で回転数の上限が高い、8,000rpmまで回せる約10kgの小型機です。直径4インチのウエハや75×75mmの基板を塗る研究室に向きます。滴下装置は付けられないので、手で滴下します。

手軽に手で滴下して塗れる、実験や開発向けのマニュアル機です。ウェーハエッジリンスとバックリンスは標準で付きます。レジストの自動ディスペンサは1系統をオプションで足せます。

直径400mmまでの基板を塗れる、キャスター付きの自立機です。回転は0〜3,000rpmで、大きい基板の重さに合わせて電源とモーターの出力を決めます。価格は3,500,000円〜で、仕様で変わるので見積もりを取ります。

直径12インチのウエハまで塗れて、滴下装置を2アームまで付けられます。回転は20〜5,000rpmで、回転精度は±1rpmです。電源はAC200〜240Vなので、設置前に電源を確かめます。

300mmウェーハまで塗れるマニュアル、セミオートの塗布装置です。450mm用のLitho Spin Cup 450Cも同じ系統で出ています。回転数は公式ページに載っていないので、問い合わせで確かめます。

ダブルハンド搬送ロボットを積み、日に500枚以上を処理する中型の量産機です。プロセスユニットは最大4ステージまで置けます。ハイスペックモデルより装置が小さく収まります。

ダブルハンド搬送ロボットを2台積み、日に1000枚以上を処理します。プロセスユニットは最大7ステージまで増やせます。ロボットとユニットの配置は工程に合わせて決めます。

多関節ロボットがカセットやFoupからウエハを運ぶ枚葉の塗布装置です。オプションで減圧下の塗布も選べます。ベークはホットプレートと真空チャンバーを組み合わせます。

デュアルプロセスラインを並行に動かし、毎時450枚以上を処理します。片方を止めて点検しながら、もう片方で生産を続けられます。量産ラインの停止時間を減らしたい工場向けです。

150〜200mmのウェーハ専用に設計した機種です。既存装置の置き換えにも、新しい工場にも入れられます。DUVプロセスまで使えます。

10nmノード以細のリソグラフィに使う、300mmウェーハ用のレジスト塗布現像装置です。EUVプロセスを含む先端のリソグラフィに使います。高スループット化を進めた機種で、前の世代のLITHIUS Pro Vから発展させています。