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スピンコータ卓上型（手動滴下）

マニュアル塗布装置 Litho Spin Cup 200C

リソテックジャパン株式会社

手軽に手で滴下して塗れる、実験や開発向けのマニュアル機です。

価格
公開価格なし（見積もり）
方式
卓上型（手動滴下）
向いている所
手で滴下もできる200mmまでのマニュアル機
公式の製品ページを見る比較表で見る

比較表での位置

マニュアル塗布装置 Litho Spin Cup 200Cは、スピンコータのメーカー7社比較⁠の方式「卓上型（手動滴下）」の4製品の1つとして載っています。

  • 7社掲載社数
  • 13製品比較表の製品
  • 4製品同じ方式
  • 2製品公開価格あり
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マニュアル塗布装置 Litho Spin Cup 200C​の強みと方式

手軽に手で滴下して塗れる、実験や開発向けのマニュアル機です。ウェーハエッジリンスとバックリンスは標準で付きます。レジストの自動ディスペンサは1系統をオプションで足せます。

向いている所手で滴下もできる200mmまでのマニュアル機

方式：卓上型（手動滴下）

実験台に置いて、基板を1枚ずつ手で載せて滴下する型です。回転数と時間をプログラムに入れて、膜厚の条件を探します。研究開発や少量の試作でよく使います。

マニュアル塗布装置 Litho Spin Cup 200C​の仕様

方式
卓上型（手動滴下）
対応基板
2インチ〜200mmウェーハ
回転数
—公式資料で確認できず
回転精度
—公式資料で確認できず
滴下
手動、自動ディスペンサ1系統はオプション
処理量
—公式資料で確認できず
価格
—公式資料で確認できず
カップの大きさ
—公式資料で確認できず
電源
—公式資料で確認できず
外形寸法
—公式資料で確認できず
質量
—公式資料で確認できず
プログラム
30ステップ・50プログラム
基板の固定
手置き、センタリングガイド付き
プロセスユニット
—公式資料で確認できず

同じ種類の他社製品との違い

スピンコータの価格公開価格のある2製品・安い順
  1. スピンコーター ACT-300AⅡ株式会社アクティブ本体900,000円
  2. スピンコーター ACT-600AⅡ株式会社アクティブ3,500,000円〜

製品の特徴ごとの分類

マニュアル塗布装置 Litho Spin Cup 200Cリソテックジャパン株式会社スピンコーター ACT-300AⅡ株式会社アクティブ卓上型マニュアルスピンコータージャパンクリエイト株式会社
方式卓上型（手動滴下）卓上型（手動滴下）卓上型（手動滴下）
対応基板2インチ〜200mmウェーハ直径5〜150mm、角110mmまで300mmガラス基板
回転数—公式資料で確認できず0〜6,000rpm0〜3,000rpm、5,000rpmはオプション
回転精度—公式資料で確認できず±1rpm以下±1rpm
滴下手動、自動ディスペンサ1系統はオプション手動、回転中も滴下できる—公式資料で確認できず
処理量—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
価格—公式資料で確認できず本体900,000円—公式資料で確認できず
カップの大きさ—公式資料で確認できず内径300mmインナー直径270mm、外カップ直径360mm
電源—公式資料で確認できず100V、10A200V、100Vは15Aトランスがオプション
外形寸法—公式資料で確認できずW350×D450×H325mmW420×D500×H335
質量—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
プログラム30ステップ・50プログラム10ステップ・100パターン10プログラム・50ステップ
基板の固定手置き、センタリングガイド付き真空吸着、-70〜-80kPa真空吸着、-50kPa
プロセスユニット—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず

スピンコータの13製品を比較表で見る

マニュアル塗布装置 Litho Spin Cup 200C​のよくある質問

Q.マニュアル塗布装置 Litho Spin Cup 200Cはどんな人に向いている？
マニュアル塗布装置 Litho Spin Cup 200Cは、手で滴下もできる200mmまでのマニュアル機に使う人向けです。マニュアル塗布装置 Litho Spin Cup 200Cは、手軽に手で滴下して塗れる、実験や開発向けのマニュアル機です。
Q.マニュアル塗布装置 Litho Spin Cup 200Cの強みは？
マニュアル塗布装置 Litho Spin Cup 200Cは、ウェーハエッジリンスとバックリンスは標準で付きます。レジストの自動ディスペンサは1系統をオプションで足せます。
Q.マニュアル塗布装置 Litho Spin Cup 200Cはどんな方式？
マニュアル塗布装置 Litho Spin Cup 200Cの方式は卓上型（手動滴下）⁠で⁠す⁠。実験台に置いて、基板を1枚ずつ手で載せて滴下する型です。
Q.マニュアル塗布装置 Litho Spin Cup 200Cの主な仕様は？
マニュアル塗布装置 Litho Spin Cup 200Cの対応基板は2インチ〜200mmウェーハ、滴下は手動、自動ディスペンサ1系統はオプションです。プログラムは30ステップ・50プログラム、基板の固定は手置き、センタリングガイド付きです。
Q.マニュアル塗布装置 Litho Spin Cup 200Cとスピンコーター ACT-300AⅡはどっちがいい？
手で滴下もできる200mmまでのマニュアル機ならマニュアル塗布装置 Litho Spin Cup 200C、本体価格を公開した直径150mmまでの卓上機ならアクティブのスピンコーター ACT-300AⅡです。マニュアル塗布装置 Litho Spin Cup 200Cの対応基板は2インチ〜200mmウェーハ、滴下は手動、自動ディスペンサ1系統はオプションです。アクティブのスピンコーター ACT-300AⅡの価格は本体900,000円、対応基板は直径5〜150mm、角110mmまでです。
Q.マニュアル塗布装置 Litho Spin Cup 200Cと卓上型マニュアルスピンコーターはどっちがいい？
手で滴下もできる200mmまでのマニュアル機ならマニュアル塗布装置 Litho Spin Cup 200C、300mmガラス基板を卓上で塗るならジャパンクリエイトの卓上型マニュアルスピンコーターです。マニュアル塗布装置 Litho Spin Cup 200Cの対応基板は2インチ〜200mmウェーハ、滴下は手動、自動ディスペンサ1系統はオプションです。ジャパンクリエイトの卓上型マニュアルスピンコーターの対応基板は300mmガラス基板、回転数は0〜3,000rpm、5,000rpmはオプションです。
Q.マニュアル塗布装置 Litho Spin Cup 200Cのほかにリソテックジャパンのスピンコータはある？
あります。リソテックジャパンのスピンコータには、マニュアル塗布装置 Litho Spin Cup 200Cのほかに300mmマニュアル塗布装置 Litho Spin Cup 1200C（対応基板は300mmウェーハまで⁠）⁠があります。
Q.マニュアル塗布装置 Litho Spin Cup 200Cはどこのメーカー？
マニュアル塗布装置 Litho Spin Cup 200Cはリソテックジャパン株式会社の製品です。リソテックジャパンの主な製品分野はスピンコータです。

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