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スピンコータ全自動型（塗布・現像の一体機）

自動レジスト塗布装置

ジャパンクリエイト株式会社

多関節ロボットがカセットやFoupからウエハを運ぶ枚葉の塗布装置です。

価格
公開価格なし（見積もり）
方式
全自動型（塗布・現像の一体機）
向いている所
カセットから多関節ロボットで運ぶ量産機
公式の製品ページを見る比較表で見る

比較表での位置

自動レジスト塗布装置は、スピンコータのメーカー7社比較⁠の方式が全自動型（塗布・現像の一体機）の6製品の1つとして載っています。

  • 7社掲載社数
  • 13製品比較表の製品
  • 6製品同じ方式
  • 2製品公開価格あり
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自動レジスト塗布装置の強みと方式

多関節ロボットがカセットやFoupからウエハを運ぶ枚葉の塗布装置です。オプションで減圧下の塗布も選べます。ベークはホットプレートと真空チャンバーを組み合わせます。

向いている所カセットから多関節ロボットで運ぶ量産機

方式：全自動型（塗布・現像の一体機）

ロボットがウエハを運び、塗布からベークや現像までを続けて処理する型です。量産ラインで使います。処理量とユニットの数は工程に合わせて決めます。

自動レジスト塗布装置の仕様

方式
全自動型（塗布・現像の一体機）
対応基板
直径300mmまでのウエハ
回転数
標準で最大5,000rpm
回転精度
—公式資料で確認できず
滴下
ディスペンサー、圧送タンク
処理量
—公式資料で確認できず
価格
—公式資料で確認できず
カップの大きさ
—公式資料で確認できず
電源
—公式資料で確認できず
外形寸法
—公式資料で確認できず
質量
—公式資料で確認できず
プログラム
—公式資料で確認できず
基板の固定
エッジクランプ、静電、ベルヌーイなど
プロセスユニット
—公式資料で確認できず

同じ種類の他社製品との違い

スピンコータの価格公開価格のある2製品・安い順
  1. スピンコーター ACT-300AⅡ株式会社アクティブ本体900,000円
  2. スピンコーター ACT-600AⅡ株式会社アクティブ3,500,000円〜

製品の特徴ごとの分類

自動レジスト塗布装置ジャパンクリエイト株式会社コータ・デベロッパ DT-3000株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズコータ・デベロッパ RF-200EX株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
方式全自動型（塗布・現像の一体機）全自動型（塗布・現像の一体機）全自動型（塗布・現像の一体機）
対応基板直径300mmまでのウエハ—公式資料で確認できず150〜200mmウェーハ
回転数標準で最大5,000rpm—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
回転精度—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
滴下ディスペンサー、圧送タンク—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
処理量—公式資料で確認できず毎時450枚以上—公式資料で確認できず
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
カップの大きさ—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
電源—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
外形寸法—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
質量—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
プログラム—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
基板の固定エッジクランプ、静電、ベルヌーイなど—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
プロセスユニット—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず

スピンコータの13製品を比較表で見る

自動レジスト塗布装置のよくある質問

Q.自動レジスト塗布装置はどんな人に向いている？
自動レジスト塗布装置は、カセットから多関節ロボットで運ぶ量産機に使う人向けです。自動レジスト塗布装置は、多関節ロボットがカセットやFoupからウエハを運ぶ枚葉の塗布装置です。
Q.自動レジスト塗布装置の強みは？
自動レジスト塗布装置は、オプションで減圧下の塗布も選べます。ベークはホットプレートと真空チャンバーを組み合わせます。
Q.自動レジスト塗布装置はどんな方式？
自動レジスト塗布装置の方式は全自動型（塗布・現像の一体機）⁠で⁠す⁠。ロボットがウエハを運び、塗布からベークや現像までを続けて処理する型です。
Q.自動レジスト塗布装置の主な仕様は？
自動レジスト塗布装置の対応基板は直径300mmまでのウエハ、回転数は標準で最大5,000rpmです。滴下はディスペンサー、圧送タンク、基板の固定はエッジクランプ、静電、ベルヌーイなどです。
Q.自動レジスト塗布装置とコータ・デベロッパ DT-3000はどっちがいい？
カセットから多関節ロボットで運ぶ量産機なら自動レジスト塗布装置、デュアルラインで毎時450枚以上を処理ならSCREENセミコンダクターソリューションズのコータ・デベロッパ DT-3000です。自動レジスト塗布装置の対応基板は直径300mmまでのウエハ、回転数は標準で最大5,000rpmです。SCREENセミコンダクターソリューションズのコータ・デベロッパ DT-3000の処理量は毎時450枚以上です。
Q.自動レジスト塗布装置とコータ・デベロッパ RF-200EXはどっちがいい？
カセットから多関節ロボットで運ぶ量産機なら自動レジスト塗布装置、200mm以下のラインに合わせた専用機ならSCREENセミコンダクターソリューションズのコータ・デベロッパ RF-200EXです。自動レジスト塗布装置の対応基板は直径300mmまでのウエハ、回転数は標準で最大5,000rpmです。SCREENセミコンダクターソリューションズのコータ・デベロッパ RF-200EXの対応基板は150〜200mmウェーハです。
Q.自動レジスト塗布装置のほかにジャパンクリエイトのスピンコータはある？
あります。ジャパンクリエイトのスピンコータには、自動レジスト塗布装置のほかに卓上型マニュアルスピンコーター（対応基板は300mmガラス基板⁠）⁠があります。
Q.自動レジスト塗布装置はどこのメーカー？
自動レジスト塗布装置はジャパンクリエイト株式会社の製品です。埼玉県所沢市に本社と工場を置き、ウエハ洗浄機・エッチング装置・スピンドライヤーを自社で作る会社です。

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    出典
    1. ジャパンクリエイト株式会社 公式
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