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スピンコータ大型・セミオート型

スピンコーター ACT-600AⅡ

株式会社アクティブ

直径400mmまでの基板を塗れる、キャスター付きの自立機です。

価格
3,500,000円〜
方式
大型・セミオート型
向いている所
キャスターで動かせる直径400mmまでの自立機
公式の製品ページを見る比較表で見る

比較表での位置

スピンコーター ACT-600AⅡは、スピンコータのメーカー7社比較⁠の方式「大型・セミオート型」の3製品の1つとして載っています。

  • 7社掲載社数
  • 13製品比較表の製品
  • 3製品同じ方式
  • 2製品公開価格あり
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スピンコーター ACT-600AⅡの強みと方式

直径400mmまでの基板を塗れる、キャスター付きの自立機です。回転は0〜3,000rpmで、大きい基板の重さに合わせて電源とモーターの出力を決めます。価格は3,500,000円〜で、仕様で変わるので見積もりを取ります。

向いている所キャスターで動かせる直径400mmまでの自立機

方式：大型・セミオート型

大きい基板や300mmウェーハを、人が載せて塗る型です。床に置く自立機もあり、滴下装置やリンスを足して手順を揃えます。卓上機より場所と電源が大きくなります。

スピンコーター ACT-600AⅡの仕様

方式
大型・セミオート型
対応基板
直径5〜400mm、角300mmまで
回転数
0〜3,000rpm
回転精度
±2rpm以下
滴下
—公式資料で確認できず
処理量
—公式資料で確認できず
価格
3,500,000円〜
カップの大きさ
内径600mm
電源
基板の大きさと重さで決める
外形寸法
W848×D962×H986mm
質量
—公式資料で確認できず
プログラム
10ステップ・100パターン
基板の固定
真空吸着、-70〜-80kPa
プロセスユニット
—公式資料で確認できず

同じ種類の他社製品との違い

スピンコータの価格公開価格のある2製品・安い順
  1. スピンコーター ACT-300AⅡ株式会社アクティブ本体900,000円
  2. スピンコーター ACT-600AⅡ株式会社アクティブ3,500,000円〜

製品の特徴ごとの分類

スピンコーター ACT-600AⅡ株式会社アクティブスピンコーター MS-B300ミカサ株式会社300mmマニュアル塗布装置 Litho Spin Cup 1200Cリソテックジャパン株式会社
方式大型・セミオート型大型・セミオート型大型・セミオート型
対応基板直径5〜400mm、角300mmまで直径12インチ、200×200mmまで300mmウェーハまで
回転数0〜3,000rpm20〜5,000rpm—公式資料で確認できず
回転精度±2rpm以下±1rpm—公式資料で確認できず
滴下—公式資料で確認できず滴下装置はオプション、2アームまで—公式資料で確認できず
処理量—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
価格3,500,000円〜—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
カップの大きさ内径600mm内径500mm—公式資料で確認できず
電源基板の大きさと重さで決めるAC200〜240V、5A—公式資料で確認できず
外形寸法W848×D962×H986mmW545×H432×D654mm—公式資料で確認できず
質量—公式資料で確認できず55kg—公式資料で確認できず
プログラム10ステップ・100パターン100ステップ・10パターン—公式資料で確認できず
基板の固定真空吸着、-70〜-80kPa真空吸着、-0.08〜-0.1MPa—公式資料で確認できず
プロセスユニット—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず

スピンコータの13製品を比較表で見る

スピンコーター ACT-600AⅡのよくある質問

Q.スピンコーター ACT-600AⅡの値段はいくら？
スピンコーター ACT-600AⅡの価格は3,500,000円〜です。スピンコータで公開価格のある2製品のうち、安いほうから2番目です。
Q.スピンコーター ACT-600AⅡはどんな人に向いている？
スピンコーター ACT-600AⅡは、キャスターで動かせる直径400mmまでの自立機に使う人向けです。スピンコーター ACT-600AⅡは、直径400mmまでの基板を塗れる、キャスター付きの自立機です。
Q.スピンコーター ACT-600AⅡの強みは？
スピンコーター ACT-600AⅡの回転は0〜3,000rpmで、大きい基板の重さに合わせて電源とモーターの出力を決めます。価格は3,500,000円〜で、仕様で変わるので見積もりを取ります。
Q.スピンコーター ACT-600AⅡはどんな方式？
スピンコーター ACT-600AⅡの方式は大型・セミオート型です。大きい基板や300mmウェーハを、人が載せて塗る型です。
Q.スピンコーター ACT-600AⅡの主な仕様は？
スピンコーター ACT-600AⅡの対応基板は直径5〜400mm、角300mmまで、回転数は0〜3,000rpmです。回転精度は±2rpm以下、カップの大きさは内径600mmです。
Q.スピンコーター ACT-600AⅡとスピンコーター MS-B300はどっちがいい？
キャスターで動かせる直径400mmまでの自立機ならスピンコーター ACT-600AⅡ、直径12インチを滴下2アームまでで塗るならミカサのスピンコーター MS-B300です。スピンコーター ACT-600AⅡの価格は3,500,000円〜、対応基板は直径5〜400mm、角300mmまでです。ミカサのスピンコーター MS-B300の対応基板は直径12インチ、200×200mmまで、回転数は20〜5,000rpmです。
Q.スピンコーター ACT-600AⅡの電源は？
スピンコーター ACT-600AⅡの電源は基板の大きさと重さで決める。ミカサのスピンコーター MS-B300の電源はAC200〜240V、5Aです。
Q.スピンコーター ACT-600AⅡと300mmマニュアル塗布装置 Litho Spin Cup 1200Cはどっちがいい？
キャスターで動かせる直径400mmまでの自立機ならスピンコーター ACT-600AⅡ、300mmウェーハをセミオートで塗るならリソテックジャパンの300mmマニュアル塗布装置 Litho Spin Cup 1200Cです。スピンコーター ACT-600AⅡの価格は3,500,000円〜、対応基板は直径5〜400mm、角300mmまでです。リソテックジャパンの300mmマニュアル塗布装置 Litho Spin Cup 1200Cの対応基板は300mmウェーハまでです。
Q.スピンコーター ACT-600AⅡのほかにアクティブのスピンコータはある？
あります。アクティブのスピンコータには、スピンコーター ACT-600AⅡのほかにスピンコーター ACT-300AⅡ（価格は本体900,000円）があります。
Q.スピンコーター ACT-600AⅡはどこのメーカー？
スピンコーター ACT-600AⅡは株式会社アクティブの製品です。スピンコーターの設計・製作・販売と、理化学機器の販売をする会社です。

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